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公开(公告)号：CN1848473A
公开(公告)日：2006-10-18
申请号：CN200610082066.5
申请日：2006-03-06
Applicant: 索尼株式会社
IPC: H01L41/083 , H01L41/18 , H01L41/22
Abstract: 需要一种能够提高生产率和产量而不降低压电特性的压电元件及其制造方法。压电元件提供有衬底、设置在衬底上的第一电极膜、设置在第一电极膜上的压电膜和设置在压电膜上的第二电极膜。该压电膜具有由多个结晶化的压电薄膜构成的叠置结构。通过形成压电薄膜的膜形成步骤和热处理压电薄膜以影响结晶化的结晶化热处理步骤的重复循环来形成具有预定厚度的压电薄膜。以这种方式，可制造在膜厚度方向上显示出均匀结晶度的压电膜。
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