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公开(公告)号：CN1831478B
公开(公告)日：2013-06-12
申请号：CN200610074737.3
申请日：2006-02-28
Applicant: 索尼株式会社
IPC: G01C19/5663
CPC classification number: B81B3/0067 , B81B2201/0285 , B81B2203/0118 , G01C19/5663 , G01P15/0802
Abstract: 本发明公开了一种振动陀螺传感器包括：支撑衬底，在该支撑衬底上形成具有多个焊接区的布线图案；以及安装在该支撑衬底的表面上的振动元件。该振动元件包括：具有安装表面的基底部分，在该安装表面上形成多个终端；以及振动器部件，在振动器部件以悬臂的方式从该基底部分的一侧整体地突出，并且具有与该基底部分的安装表面共面的面向衬底的表面。该振动器部件具有按顺序在该面向衬底的表面上形成的第一电极层、压电层和第二电极层。而且，在该振动器部件的基底端形成加强件，以便该振动器部件的截面面积向着基底部分逐渐增加。
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公开(公告)号：CN101676729A
公开(公告)日：2010-03-24
申请号：CN200910173782.8
申请日：2009-09-16
Applicant: 索尼株式会社
Inventor： 稻熊辉往
CPC classification number: G01C19/5607
Abstract: 本发明公开了一种角速度传感器元件、角速度传感器和电子设备，其中，该角速度传感器元件包括：主体，具有三个振动器部，包括以第一相位振动的振动器部和以与第一相位相反的第二相位振动的振动器部；第一检测压电层，检测以第一相位振动的振动器部的振动；第二检测压电层，检测以第一相位振动的振动器部的振动；以及驱动压电层，使以第二相位振动的振动器部振动，第一检测压电层形成在以第一相位振动的振动器部上，第二检测压电层形成在以第一相位振动的振动器部上并与第一检测压电层分离设置，驱动压电层形成在以第二相位振动的振动器部上并与第一检测压电层和第二检测压电层分离设置。通过本发明，能够提供具有稳定的灵敏度特性和较低PSRR的角速度传感器。
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公开(公告)号：CN101620236A
公开(公告)日：2010-01-06
申请号：CN200910151588.X
申请日：2009-07-03
Applicant: 索尼株式会社
IPC: G01P9/04 , H01L41/113 , H01L41/22
CPC classification number: G01C19/5628 , G01C19/5621
Abstract: 本发明公开了角速度传感器及其制造方法。该角速度传感器包括第一层、压电层和第二层。第一层具有第一主面和第二主面，并包括振动部和支持振动部的基底部。压电层形成在第一层的第一主面上。第二层在与第一层的第二主面侧上整体接合至基底部。通过本发明，可以提供灵敏度特性优异并实现生产力提高的角速度传感器及其制造方法。
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公开(公告)号：CN101173957A
公开(公告)日：2008-05-07
申请号：CN200710164369.6
申请日：2007-10-30
Applicant: 索尼株式会社
Abstract: 本发明提供了一种可抑制向支撑臂部的基部的振动泄漏，并可较强抵抗噪声的三音叉型的角速度传感器及电子机器。在本发明的角速度传感器中，在三个臂部(12A～12C)中，两个外侧臂部(12A、12B)以同相进行激励，中央臂部(12C)通过外侧臂部振动的反作用以和外侧臂部反相进行激励。而且，将各臂部沿与压电功能层(15A～15C)的形成面垂直的方向进行激励，并基于与臂部的上述压电功能层的形成面相平行的方向的振动来检测角速度。由此，在臂部间所产生的转距相互抵消，并可降低向基部传递的振动。而且，通过沿与压电功能层的形成面垂直方向对臂部进行激励，可以维持稳定的激励状态，并可构成对干扰有较强抵制的角速度传感器。
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公开(公告)号：CN1831478A
公开(公告)日：2006-09-13
申请号：CN200610074737.3
申请日：2006-02-28
Applicant: 索尼株式会社
IPC: G01C19/56
CPC classification number: B81B3/0067 , B81B2201/0285 , B81B2203/0118 , G01C19/5663 , G01P15/0802
Abstract: 本发明公开了一种振动陀螺传感器包括：支撑衬底，在该支撑衬底上形成具有多个焊接区的布线图案；以及安装在该支撑衬底的表面上的振动元件。该振动元件包括：具有安装表面的基底部分，在该安装表面上形成多个终端；以及振动器部件，在振动器部件以悬臂的方式从该基底部分的一侧整体地突出，并且具有与该基底部分的安装表面共面的面向衬底的表面。该振动器部件具有按顺序在该面向衬底的表面上形成的第一电极层、压电层和第二电极层。而且，在该振动器部件的基底端形成加强件，以便该振动器部件的截面面积向着基底部分逐渐增加。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1196108C
公开(公告)日：2005-04-06
申请号：CN98126336.4
申请日：1998-12-25
Applicant: 索尼株式会社
Inventor： 稻熊辉往
IPC: G11B5/39
CPC classification number: G11B5/3903 , G11B5/1272 , G11B5/17 , G11B5/48 , G11B5/53
Abstract: 一种可用自动布线机把其接线端子容易地连接到支承基板的端子上的磁头和一种生产率高的制造该磁头的方法。在该磁头中，导电部分在一对芯块(2，3)的结合面上形成，并从其上突出来。沿其厚度方向切割这些导电部分，将得到的切割面用作接线端子(17，18)。
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公开(公告)号：CN1969168A
公开(公告)日：2007-05-23
申请号：CN200680000321.5
申请日：2006-02-23
Applicant: 索尼株式会社
CPC classification number: G01C19/5663 , G01C19/5656
Abstract: 一种振动型陀螺传感器，其中，通过简单的构造获得了尺寸降低和高Q值。所述振动型陀螺传感器(1)包括支撑衬底(2)和安装在所述支撑衬底的表面(2－1)上的振动元件(20)，在所述支撑衬底上安装了电路元件，并且形成了具有多个连接盘(4)的线路图案。振动元件(20)包括基座部分(22)和振动器部分(23)，所述基座部分具有其上形成了多个与所述连接盘连接的端子(25)的安装表面(22－2)，所述振动器部分具有与所述衬底相对的表面，第一电极层(27)在其上从所述基座部分(22)的侧缘以悬臂方式与之成一体突出，所述振动器部分还具有与所述基座部分(22)的安装表面平齐的表面，在所述第一电极层上形成压电层(28)，并形成第二电极层(29、30)。通过金属突起(26)将每一端子(25)接合至连接盘(4)，由此将振动元件(20)安装到支撑衬底(2)上。
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公开(公告)号：CN1837751A
公开(公告)日：2006-09-27
申请号：CN200610079363.4
申请日：2006-03-06
Applicant: 索尼株式会社
CPC classification number: G01C19/5663 , G01C19/5783
Abstract: 本发明公开了一种振动陀螺传感器。所述振动陀螺传感器包括支撑衬底，在该支撑衬底上形成具有多个焊接区的布线图案，以及安装在该支撑衬底的表面上的振动元件，其中至少两个振动元件被安装在该支撑衬底上，用于检测不同轴方向上的振动。
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公开(公告)号：CN1251459A
公开(公告)日：2000-04-26
申请号：CN99123120.1
申请日：1999-10-21
Applicant: 索尼株式会社
Inventor： 稻熊辉往
Abstract: 一种磁致电阻效应型磁头包括一对表现出改善的抗磨损特性和抗热特性的磁屏蔽件。防护磁头的磁致电阻效应元件4的磁头的磁屏蔽件中至少一个包括由Co型非晶材料制成的软磁薄膜6。软磁薄膜6通过利用具有反向锥形的开口的抗蚀剂膜48和去除(lift-off)工艺形成。可选择的是,第一抗蚀剂膜48a和突出于第一抗蚀剂膜48a之外进入开口中的第二抗蚀剂膜48b可与去除(lift-off)工艺一起使用。
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公开(公告)号：CN1221171A
公开(公告)日：1999-06-30
申请号：CN98126336.4
申请日：1998-12-25
Applicant: 索尼株式会社
Inventor： 稻熊辉往
IPC: G11B5/39
CPC classification number: G11B5/3903 , G11B5/1272 , G11B5/17 , G11B5/48 , G11B5/53
Abstract: 一种可用自动布线机把其接线端子容易地连接到支承基板的端子上的磁头和一种生产率高的制造该磁头的方法。在该磁头中,导电部分在一对芯块(2,3)的结合面上形成,并从其上突出来。沿其厚度方向切割这些导电部分,将得到的切割面用作接线端子(17,18)。
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