角速度传感器及电子机器

    公开(公告)号:CN101173957B

    公开(公告)日:2011-12-21

    申请号:CN200710164369.6

    申请日:2007-10-30

    Abstract: 本发明提供了一种可抑制向支撑臂部的基部的振动泄漏,并可较强抵抗噪声的三音叉型的角速度传感器及电子机器。在本发明的角速度传感器中,在三个臂部(12A~12C)中,两个外侧臂部(12A、12B)以同相进行激励,中央臂部(12C)通过外侧臂部振动的反作用以和外侧臂部反相进行激励。而且,将各臂部沿与压电功能层(15A~15C)的形成面垂直的方向进行激励,并基于与臂部的上述压电功能层的形成面相平行的方向的振动来检测角速度。由此,在臂部间所产生的转距相互抵消,并可降低向基部传递的振动。而且,通过沿与压电功能层的形成面垂直方向对臂部进行激励,可以维持稳定的激励状态,并可构成对干扰有较强抵制的角速度传感器。

    振动型陀螺传感器
    4.
    发明授权

    公开(公告)号:CN1969168B

    公开(公告)日:2010-06-16

    申请号:CN200680000321.5

    申请日:2006-02-23

    CPC classification number: G01C19/5663 G01C19/5656

    Abstract: 一种振动型陀螺传感器,其中,通过简单的构造获得了尺寸降低和高Q值。所述振动型陀螺传感器(1)包括支撑衬底(2)和安装在所述支撑衬底的表面(2-1)上的振动元件(20),在所述支撑衬底上安装了电路元件,并且形成了具有多个连接盘(4)的线路图案。振动元件(20)包括基座部分(22)和振动器部分(23),所述基座部分具有其上形成了多个与所述连接盘连接的端子(25)的安装表面(22-2),所述振动器部分具有与所述衬底相对的表面,第一电极层(27)在其上从所述基座部分(22)的侧缘以悬臂方式与之成一体突出,所述振动器部分还具有与所述基座部分(22)的安装表面平齐的表面,在所述第一电极层上形成压电层(28),并形成第二电极层(29、30)。通过金属突起(26)将每一端子(25)接合至连接盘(4),由此将振动元件(20)安装到支撑衬底(2)上。

    振动陀螺传感器和调节振动陀螺传感器的方法

    公开(公告)号:CN1828224A

    公开(公告)日:2006-09-06

    申请号:CN200610073968.2

    申请日:2006-03-06

    CPC classification number: G01C19/5663 Y10T29/49002

    Abstract: 本发明公开了一种包括振动陀螺传感器元件的振动陀螺传感器,该振动陀螺传感器元件包括悬臂振动器,该悬臂振动器在第一表面上包括压电膜、驱动电极和一对检测电极,以及在其上安装该振动陀螺传感器元件的支撑基底。将该振动陀螺传感器元件安装在该支撑基底上以使该悬臂振动器的第一表面面对该支撑基底。将除了该悬臂振动器的第一表面之外的区域界定为激光加工区域,在该激光加工区域中将形成用于调节该悬臂振动器的振动特性的凹陷。

    角速度传感器及电子机器

    公开(公告)号:CN101173957A

    公开(公告)日:2008-05-07

    申请号:CN200710164369.6

    申请日:2007-10-30

    Abstract: 本发明提供了一种可抑制向支撑臂部的基部的振动泄漏,并可较强抵抗噪声的三音叉型的角速度传感器及电子机器。在本发明的角速度传感器中,在三个臂部(12A~12C)中,两个外侧臂部(12A、12B)以同相进行激励,中央臂部(12C)通过外侧臂部振动的反作用以和外侧臂部反相进行激励。而且,将各臂部沿与压电功能层(15A~15C)的形成面垂直的方向进行激励,并基于与臂部的上述压电功能层的形成面相平行的方向的振动来检测角速度。由此,在臂部间所产生的转距相互抵消,并可降低向基部传递的振动。而且,通过沿与压电功能层的形成面垂直方向对臂部进行激励,可以维持稳定的激励状态,并可构成对干扰有较强抵制的角速度传感器。

    振动型陀螺传感器
    8.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1969168A

    公开(公告)日:2007-05-23

    申请号:CN200680000321.5

    申请日:2006-02-23

    CPC classification number: G01C19/5663 G01C19/5656

    Abstract: 一种振动型陀螺传感器,其中,通过简单的构造获得了尺寸降低和高Q值。所述振动型陀螺传感器(1)包括支撑衬底(2)和安装在所述支撑衬底的表面(2-1)上的振动元件(20),在所述支撑衬底上安装了电路元件,并且形成了具有多个连接盘(4)的线路图案。振动元件(20)包括基座部分(22)和振动器部分(23),所述基座部分具有其上形成了多个与所述连接盘连接的端子(25)的安装表面(22-2),所述振动器部分具有与所述衬底相对的表面,第一电极层(27)在其上从所述基座部分(22)的侧缘以悬臂方式与之成一体突出,所述振动器部分还具有与所述基座部分(22)的安装表面平齐的表面,在所述第一电极层上形成压电层(28),并形成第二电极层(29、30)。通过金属突起(26)将每一端子(25)接合至连接盘(4),由此将振动元件(20)安装到支撑衬底(2)上。

    外部共振器型半导体激光器

    公开(公告)号:CN1890848A

    公开(公告)日:2007-01-03

    申请号:CN200480035897.6

    申请日:2004-11-30

    Abstract: 本发明提供外部共振器型半导体激光器,其提供与常规的外部共振器型半导体激光器相比具有更大的输出和更优良的单模式特性。外部共振器型半导体激光器包括激光二极管(11)、窗玻璃(16)、光栅和透镜,并具有一些改进。第一种改进是,窗玻璃(16)相对于激光二极管(11)的光发射表面(19)倾斜预定的角度。第二种改进是,激光二极管(11)等的配置被调整使得S波被施加到光栅。第三种改进是,激光二极管(11)被配置为使得当输出功率为45mW或更低时抑制扭曲的产生。其它改进是,分别将激光二极管(11)的光发射表面的反射率、透镜的数值孔径、外部共振器长度和光栅的一阶光反射率设置为最佳值。

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