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公开(公告)号：CN1831478A
公开(公告)日：2006-09-13
申请号：CN200610074737.3
申请日：2006-02-28
Applicant: 索尼株式会社
IPC: G01C19/56
CPC classification number: B81B3/0067 , B81B2201/0285 , B81B2203/0118 , G01C19/5663 , G01P15/0802
Abstract: 本发明公开了一种振动陀螺传感器包括：支撑衬底，在该支撑衬底上形成具有多个焊接区的布线图案；以及安装在该支撑衬底的表面上的振动元件。该振动元件包括：具有安装表面的基底部分，在该安装表面上形成多个终端；以及振动器部件，在振动器部件以悬臂的方式从该基底部分的一侧整体地突出，并且具有与该基底部分的安装表面共面的面向衬底的表面。该振动器部件具有按顺序在该面向衬底的表面上形成的第一电极层、压电层和第二电极层。而且，在该振动器部件的基底端形成加强件，以便该振动器部件的截面面积向着基底部分逐渐增加。
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公开(公告)号：CN1831478B
公开(公告)日：2013-06-12
申请号：CN200610074737.3
申请日：2006-02-28
Applicant: 索尼株式会社
IPC: G01C19/5663
CPC classification number: B81B3/0067 , B81B2201/0285 , B81B2203/0118 , G01C19/5663 , G01P15/0802
Abstract: 本发明公开了一种振动陀螺传感器包括：支撑衬底，在该支撑衬底上形成具有多个焊接区的布线图案；以及安装在该支撑衬底的表面上的振动元件。该振动元件包括：具有安装表面的基底部分，在该安装表面上形成多个终端；以及振动器部件，在振动器部件以悬臂的方式从该基底部分的一侧整体地突出，并且具有与该基底部分的安装表面共面的面向衬底的表面。该振动器部件具有按顺序在该面向衬底的表面上形成的第一电极层、压电层和第二电极层。而且，在该振动器部件的基底端形成加强件，以便该振动器部件的截面面积向着基底部分逐渐增加。
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公开(公告)号：CN1837751B
公开(公告)日：2012-06-20
申请号：CN200610079363.4
申请日：2006-03-06
Applicant: 索尼株式会社
IPC: G01C19/5642 , G01C19/5663
CPC classification number: G01C19/5663 , G01C19/5783
Abstract: 本发明公开了一种振动陀螺传感器。所述振动陀螺传感器包括支撑衬底，在该支撑衬底上形成具有多个焊接区的布线图案，以及安装在该支撑衬底的表面上的振动元件，其中至少两个振动元件被安装在该支撑衬底上，用于检测不同轴方向上的振动。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1848473A
公开(公告)日：2006-10-18
申请号：CN200610082066.5
申请日：2006-03-06
Applicant: 索尼株式会社
IPC: H01L41/083 , H01L41/18 , H01L41/22
Abstract: 需要一种能够提高生产率和产量而不降低压电特性的压电元件及其制造方法。压电元件提供有衬底、设置在衬底上的第一电极膜、设置在第一电极膜上的压电膜和设置在压电膜上的第二电极膜。该压电膜具有由多个结晶化的压电薄膜构成的叠置结构。通过形成压电薄膜的膜形成步骤和热处理压电薄膜以影响结晶化的结晶化热处理步骤的重复循环来形成具有预定厚度的压电薄膜。以这种方式，可制造在膜厚度方向上显示出均匀结晶度的压电膜。
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公开(公告)号：CN102620727A
公开(公告)日：2012-08-01
申请号：CN201210111827.0
申请日：2006-03-06
Applicant: 索尼株式会社
IPC: G01C19/5663
CPC classification number: G01C19/5663 , G01C19/5783
Abstract: 本发明公开了一种振动陀螺传感器。所述振动陀螺传感器包括支撑衬底，在该支撑衬底上形成具有多个焊接区的布线图案，以及安装在该支撑衬底的表面上的振动元件，其中至少两个振动元件被安装在该支撑衬底上，用于检测不同轴方向上的振动。
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公开(公告)号：CN1969168B
公开(公告)日：2010-06-16
申请号：CN200680000321.5
申请日：2006-02-23
Applicant: 索尼株式会社
CPC classification number: G01C19/5663 , G01C19/5656
Abstract: 一种振动型陀螺传感器，其中，通过简单的构造获得了尺寸降低和高Q值。所述振动型陀螺传感器(1)包括支撑衬底(2)和安装在所述支撑衬底的表面(2-1)上的振动元件(20)，在所述支撑衬底上安装了电路元件，并且形成了具有多个连接盘(4)的线路图案。振动元件(20)包括基座部分(22)和振动器部分(23)，所述基座部分具有其上形成了多个与所述连接盘连接的端子(25)的安装表面(22-2)，所述振动器部分具有与所述衬底相对的表面，第一电极层(27)在其上从所述基座部分(22)的侧缘以悬臂方式与之成一体突出，所述振动器部分还具有与所述基座部分(22)的安装表面平齐的表面，在所述第一电极层上形成压电层(28)，并形成第二电极层(29、30)。通过金属突起(26)将每一端子(25)接合至连接盘(4)，由此将振动元件(20)安装到支撑衬底(2)上。
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公开(公告)号：CN1969168A
公开(公告)日：2007-05-23
申请号：CN200680000321.5
申请日：2006-02-23
Applicant: 索尼株式会社
CPC classification number: G01C19/5663 , G01C19/5656
Abstract: 一种振动型陀螺传感器，其中，通过简单的构造获得了尺寸降低和高Q值。所述振动型陀螺传感器(1)包括支撑衬底(2)和安装在所述支撑衬底的表面(2－1)上的振动元件(20)，在所述支撑衬底上安装了电路元件，并且形成了具有多个连接盘(4)的线路图案。振动元件(20)包括基座部分(22)和振动器部分(23)，所述基座部分具有其上形成了多个与所述连接盘连接的端子(25)的安装表面(22－2)，所述振动器部分具有与所述衬底相对的表面，第一电极层(27)在其上从所述基座部分(22)的侧缘以悬臂方式与之成一体突出，所述振动器部分还具有与所述基座部分(22)的安装表面平齐的表面，在所述第一电极层上形成压电层(28)，并形成第二电极层(29、30)。通过金属突起(26)将每一端子(25)接合至连接盘(4)，由此将振动元件(20)安装到支撑衬底(2)上。
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公开(公告)号：CN1837751A
公开(公告)日：2006-09-27
申请号：CN200610079363.4
申请日：2006-03-06
Applicant: 索尼株式会社
CPC classification number: G01C19/5663 , G01C19/5783
Abstract: 本发明公开了一种振动陀螺传感器。所述振动陀螺传感器包括支撑衬底，在该支撑衬底上形成具有多个焊接区的布线图案，以及安装在该支撑衬底的表面上的振动元件，其中至少两个振动元件被安装在该支撑衬底上，用于检测不同轴方向上的振动。
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