公开(公告)号：CN1969168A

公开(公告)日：2007-05-23

申请号：CN200680000321.5

申请日：2006-02-23

Applicant: 索尼株式会社

Inventor： 渡边成人 ,  本多顺一 ,  佐佐木伸 ,  高桥和夫 ,  稻熊辉往 ,  铃木浩二 ,  相泽学

IPC: G01C19/56 ,  G01P9/04

CPC classification number: G01C19/5663 ,  G01C19/5656

Abstract: 一种振动型陀螺传感器，其中，通过简单的构造获得了尺寸降低和高Q值。所述振动型陀螺传感器(1)包括支撑衬底(2)和安装在所述支撑衬底的表面(2－1)上的振动元件(20)，在所述支撑衬底上安装了电路元件，并且形成了具有多个连接盘(4)的线路图案。振动元件(20)包括基座部分(22)和振动器部分(23)，所述基座部分具有其上形成了多个与所述连接盘连接的端子(25)的安装表面(22－2)，所述振动器部分具有与所述衬底相对的表面，第一电极层(27)在其上从所述基座部分(22)的侧缘以悬臂方式与之成一体突出，所述振动器部分还具有与所述基座部分(22)的安装表面平齐的表面，在所述第一电极层上形成压电层(28)，并形成第二电极层(29、30)。通过金属突起(26)将每一端子(25)接合至连接盘(4)，由此将振动元件(20)安装到支撑衬底(2)上。

公开(公告)号：CN1837751A

公开(公告)日：2006-09-27

申请号：CN200610079363.4

申请日：2006-03-06

Applicant: 索尼株式会社

Inventor： 高桥和夫 ,  稻熊辉往 ,  本多顺一 ,  铃木浩二 ,  渡边成人 ,  佐佐木伸 ,  中盐荣治 ,  相泽学

IPC: G01C19/56 ,  G01C9/04

CPC classification number: G01C19/5663 ,  G01C19/5783

Abstract: 本发明公开了一种振动陀螺传感器。所述振动陀螺传感器包括支撑衬底，在该支撑衬底上形成具有多个焊接区的布线图案，以及安装在该支撑衬底的表面上的振动元件，其中至少两个振动元件被安装在该支撑衬底上，用于检测不同轴方向上的振动。

公开(公告)号：CN102620727A

公开(公告)日：2012-08-01

申请号：CN201210111827.0

申请日：2006-03-06

Applicant: 索尼株式会社

Inventor： 高桥和夫 ,  稻熊辉往 ,  本多顺一 ,  铃木浩二 ,  渡边成人 ,  佐佐木伸 ,  中盐荣治 ,  相泽学

IPC: G01C19/5663

CPC classification number: G01C19/5663 ,  G01C19/5783

Abstract: 本发明公开了一种振动陀螺传感器。所述振动陀螺传感器包括支撑衬底，在该支撑衬底上形成具有多个焊接区的布线图案，以及安装在该支撑衬底的表面上的振动元件，其中至少两个振动元件被安装在该支撑衬底上，用于检测不同轴方向上的振动。

公开(公告)号：CN1969168B

公开(公告)日：2010-06-16

申请号：CN200680000321.5

申请日：2006-02-23

Applicant: 索尼株式会社

Inventor： 渡边成人 ,  本多顺一 ,  佐佐木伸 ,  高桥和夫 ,  稻熊辉往 ,  铃木浩二 ,  相泽学

IPC: G01C19/56 ,  G01P9/04

CPC classification number: G01C19/5663 ,  G01C19/5656

Abstract: 一种振动型陀螺传感器，其中，通过简单的构造获得了尺寸降低和高Q值。所述振动型陀螺传感器(1)包括支撑衬底(2)和安装在所述支撑衬底的表面(2-1)上的振动元件(20)，在所述支撑衬底上安装了电路元件，并且形成了具有多个连接盘(4)的线路图案。振动元件(20)包括基座部分(22)和振动器部分(23)，所述基座部分具有其上形成了多个与所述连接盘连接的端子(25)的安装表面(22-2)，所述振动器部分具有与所述衬底相对的表面，第一电极层(27)在其上从所述基座部分(22)的侧缘以悬臂方式与之成一体突出，所述振动器部分还具有与所述基座部分(22)的安装表面平齐的表面，在所述第一电极层上形成压电层(28)，并形成第二电极层(29、30)。通过金属突起(26)将每一端子(25)接合至连接盘(4)，由此将振动元件(20)安装到支撑衬底(2)上。

公开(公告)号：CN1828224A

公开(公告)日：2006-09-06

申请号：CN200610073968.2

申请日：2006-03-06

Applicant: 索尼株式会社

Inventor： 高桥和夫 ,  稻熊辉往 ,  相泽学 ,  领木浩二 ,  佐佐木伸 ,  中盐荣治

IPC: G01C19/56

CPC classification number: G01C19/5663 ,  Y10T29/49002

Abstract: 本发明公开了一种包括振动陀螺传感器元件的振动陀螺传感器，该振动陀螺传感器元件包括悬臂振动器，该悬臂振动器在第一表面上包括压电膜、驱动电极和一对检测电极，以及在其上安装该振动陀螺传感器元件的支撑基底。将该振动陀螺传感器元件安装在该支撑基底上以使该悬臂振动器的第一表面面对该支撑基底。将除了该悬臂振动器的第一表面之外的区域界定为激光加工区域，在该激光加工区域中将形成用于调节该悬臂振动器的振动特性的凹陷。

公开(公告)号：CN1837751B

公开(公告)日：2012-06-20

申请号：CN200610079363.4

申请日：2006-03-06

Applicant: 索尼株式会社

Inventor： 高桥和夫 ,  稻熊辉往 ,  本多顺一 ,  铃木浩二 ,  渡边成人 ,  佐佐木伸 ,  中盐荣治 ,  相泽学

IPC: G01C19/5642 ,  G01C19/5663

CPC classification number: G01C19/5663 ,  G01C19/5783

Abstract: 本发明公开了一种振动陀螺传感器。所述振动陀螺传感器包括支撑衬底，在该支撑衬底上形成具有多个焊接区的布线图案，以及安装在该支撑衬底的表面上的振动元件，其中至少两个振动元件被安装在该支撑衬底上，用于检测不同轴方向上的振动。

公开(公告)号：CN1828224B

公开(公告)日：2010-07-28

申请号：CN200610073968.2

申请日：2006-03-06

Applicant: 索尼株式会社

Inventor： 高桥和夫 ,  稻熊辉往 ,  相泽学 ,  领木浩二 ,  佐佐木伸 ,  中盐荣治

IPC: G01C19/56

CPC classification number: G01C19/5663 ,  Y10T29/49002

Abstract: 本发明公开了一种包括振动陀螺传感器元件的振动陀螺传感器，该振动陀螺传感器元件包括悬臂振动器，该悬臂振动器在第一表面上包括压电膜、驱动电极和一对检测电极，以及在其上安装该振动陀螺传感器元件的支撑基底。将该振动陀螺传感器元件安装在该支撑基底上以使该悬臂振动器的第一表面面对该支撑基底。将除了该悬臂振动器的第一表面之外的区域界定为激光加工区域，在该激光加工区域中将形成用于调节该悬臂振动器的振动特性的凹陷。

公开(公告)号：CN1848473A

公开(公告)日：2006-10-18

申请号：CN200610082066.5

申请日：2006-03-06

Applicant: 索尼株式会社

Inventor： 中盐荣治 ,  本多顺一 ,  田村孝 ,  铃木浩二 ,  稻熊辉往 ,  相泽学 ,  高桥和夫 ,  樱井忠司

IPC: H01L41/083 ,  H01L41/18 ,  H01L41/22

Abstract: 需要一种能够提高生产率和产量而不降低压电特性的压电元件及其制造方法。压电元件提供有衬底、设置在衬底上的第一电极膜、设置在第一电极膜上的压电膜和设置在压电膜上的第二电极膜。该压电膜具有由多个结晶化的压电薄膜构成的叠置结构。通过形成压电薄膜的膜形成步骤和热处理压电薄膜以影响结晶化的结晶化热处理步骤的重复循环来形成具有预定厚度的压电薄膜。以这种方式，可制造在膜厚度方向上显示出均匀结晶度的压电膜。