振动陀螺传感器和调节振动陀螺传感器的方法

    公开(公告)号:CN1828224A

    公开(公告)日:2006-09-06

    申请号:CN200610073968.2

    申请日:2006-03-06

    CPC classification number: G01C19/5663 Y10T29/49002

    Abstract: 本发明公开了一种包括振动陀螺传感器元件的振动陀螺传感器,该振动陀螺传感器元件包括悬臂振动器,该悬臂振动器在第一表面上包括压电膜、驱动电极和一对检测电极,以及在其上安装该振动陀螺传感器元件的支撑基底。将该振动陀螺传感器元件安装在该支撑基底上以使该悬臂振动器的第一表面面对该支撑基底。将除了该悬臂振动器的第一表面之外的区域界定为激光加工区域,在该激光加工区域中将形成用于调节该悬臂振动器的振动特性的凹陷。

    振动陀螺传感器和调节振动陀螺传感器的方法

    公开(公告)号:CN1828224B

    公开(公告)日:2010-07-28

    申请号:CN200610073968.2

    申请日:2006-03-06

    CPC classification number: G01C19/5663 Y10T29/49002

    Abstract: 本发明公开了一种包括振动陀螺传感器元件的振动陀螺传感器,该振动陀螺传感器元件包括悬臂振动器,该悬臂振动器在第一表面上包括压电膜、驱动电极和一对检测电极,以及在其上安装该振动陀螺传感器元件的支撑基底。将该振动陀螺传感器元件安装在该支撑基底上以使该悬臂振动器的第一表面面对该支撑基底。将除了该悬臂振动器的第一表面之外的区域界定为激光加工区域,在该激光加工区域中将形成用于调节该悬臂振动器的振动特性的凹陷。

Patent Agency Ranking