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公开(公告)号:CN102620727A
公开(公告)日:2012-08-01
申请号:CN201210111827.0
申请日:2006-03-06
Applicant: 索尼株式会社
IPC: G01C19/5663
CPC classification number: G01C19/5663 , G01C19/5783
Abstract: 本发明公开了一种振动陀螺传感器。所述振动陀螺传感器包括支撑衬底,在该支撑衬底上形成具有多个焊接区的布线图案,以及安装在该支撑衬底的表面上的振动元件,其中至少两个振动元件被安装在该支撑衬底上,用于检测不同轴方向上的振动。
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公开(公告)号:CN1969168B
公开(公告)日:2010-06-16
申请号:CN200680000321.5
申请日:2006-02-23
Applicant: 索尼株式会社
CPC classification number: G01C19/5663 , G01C19/5656
Abstract: 一种振动型陀螺传感器,其中,通过简单的构造获得了尺寸降低和高Q值。所述振动型陀螺传感器(1)包括支撑衬底(2)和安装在所述支撑衬底的表面(2-1)上的振动元件(20),在所述支撑衬底上安装了电路元件,并且形成了具有多个连接盘(4)的线路图案。振动元件(20)包括基座部分(22)和振动器部分(23),所述基座部分具有其上形成了多个与所述连接盘连接的端子(25)的安装表面(22-2),所述振动器部分具有与所述衬底相对的表面,第一电极层(27)在其上从所述基座部分(22)的侧缘以悬臂方式与之成一体突出,所述振动器部分还具有与所述基座部分(22)的安装表面平齐的表面,在所述第一电极层上形成压电层(28),并形成第二电极层(29、30)。通过金属突起(26)将每一端子(25)接合至连接盘(4),由此将振动元件(20)安装到支撑衬底(2)上。
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公开(公告)号:CN1837751B
公开(公告)日:2012-06-20
申请号:CN200610079363.4
申请日:2006-03-06
Applicant: 索尼株式会社
IPC: G01C19/5642 , G01C19/5663
CPC classification number: G01C19/5663 , G01C19/5783
Abstract: 本发明公开了一种振动陀螺传感器。所述振动陀螺传感器包括支撑衬底,在该支撑衬底上形成具有多个焊接区的布线图案,以及安装在该支撑衬底的表面上的振动元件,其中至少两个振动元件被安装在该支撑衬底上,用于检测不同轴方向上的振动。
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公开(公告)号:CN101484776A
公开(公告)日:2009-07-15
申请号:CN200780024822.1
申请日:2007-06-29
Applicant: 索尼株式会社
CPC classification number: G01C19/5663
Abstract: 本发明公开了一种振动型陀螺仪传感器,包括检测角速度的振动元件(1X,1Y)、电连接至振动元件(1X,1Y)并且支撑振动元件(1X,1Y)的支撑基板(2)、电连接至支撑基板(2)并且包括外部连接端子(3)的中继基板(4)、以及被配置在支撑基板(2)与中继基板(4)之间并且抑制了应变和振动在支撑基板(2)与中继基板(4)之间的传递的缓冲部件(5)。该振动型陀螺仪传感器能够稳定振动特性,而不受应变和振动的影响。
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公开(公告)号:CN1969168A
公开(公告)日:2007-05-23
申请号:CN200680000321.5
申请日:2006-02-23
Applicant: 索尼株式会社
CPC classification number: G01C19/5663 , G01C19/5656
Abstract: 一种振动型陀螺传感器,其中,通过简单的构造获得了尺寸降低和高Q值。所述振动型陀螺传感器(1)包括支撑衬底(2)和安装在所述支撑衬底的表面(2-1)上的振动元件(20),在所述支撑衬底上安装了电路元件,并且形成了具有多个连接盘(4)的线路图案。振动元件(20)包括基座部分(22)和振动器部分(23),所述基座部分具有其上形成了多个与所述连接盘连接的端子(25)的安装表面(22-2),所述振动器部分具有与所述衬底相对的表面,第一电极层(27)在其上从所述基座部分(22)的侧缘以悬臂方式与之成一体突出,所述振动器部分还具有与所述基座部分(22)的安装表面平齐的表面,在所述第一电极层上形成压电层(28),并形成第二电极层(29、30)。通过金属突起(26)将每一端子(25)接合至连接盘(4),由此将振动元件(20)安装到支撑衬底(2)上。
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公开(公告)号:CN1837751A
公开(公告)日:2006-09-27
申请号:CN200610079363.4
申请日:2006-03-06
Applicant: 索尼株式会社
CPC classification number: G01C19/5663 , G01C19/5783
Abstract: 本发明公开了一种振动陀螺传感器。所述振动陀螺传感器包括支撑衬底,在该支撑衬底上形成具有多个焊接区的布线图案,以及安装在该支撑衬底的表面上的振动元件,其中至少两个振动元件被安装在该支撑衬底上,用于检测不同轴方向上的振动。
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