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公开(公告)号：CN101317328B
公开(公告)日：2011-07-27
申请号：CN200680044615.8
申请日：2006-11-08
Applicant: 索尼株式会社
CPC classification number: H02N1/006 , H03H9/2426 , H03H9/2463 , H03H9/525
Abstract: 本发明提供一种能够通过简单的元件构造来处理高频区域的电信号的微小机电装置。本发明的微小机电装置包括振动子元件，该振动子元件在衬底上具有多个电极和与该电极相对并通过静电驱动进行振动的梁，所述微小机电装置向多个电极和梁中的某一组合输入高频信号并从该组合输出高频信号。
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公开(公告)号：CN1993887A
公开(公告)日：2007-07-04
申请号：CN200580026644.7
申请日：2005-06-07
Applicant: 索尼株式会社
CPC classification number: H03H9/2463 , H03H3/0073 , H03H3/0075 , H03H9/2426 , H03H9/505 , H03H9/525
Abstract: 本发明提供实现了对静电驱动型振子施加的直流偏置电压的稳定化的高频元件、能够供给稳定的直流偏置电压的电源供给元件。而且本发明提供具有上述高频元件构成的滤波器的通信装置。本发明的高频元件具有高频信号元件，该高频信号元件包含通过施加直流偏置电压而动作的静电驱动型的振子，在供给直流偏置电压的焊盘和振子之间附加具有使直流偏置电压稳定的功能的电路。电源供给元件是用于驱动高频振动元件的电源供给元件，通过附加具有使直流偏置电压稳定的功能的电路而构成。本发明的通信装置使用上述高频元件构成的滤波器作为滤波器。
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公开(公告)号：CN1977453A
公开(公告)日：2007-06-06
申请号：CN200580021692.7
申请日：2005-03-25
Applicant: 索尼株式会社
CPC classification number: H03H9/525 , H03H9/2463
Abstract: 由多个微谐振器构成的具有宽的特定带宽的滤波器。在用于平衡输入的两个输入端(11、12)和用于平衡输出的两个输出端(13、14)之间，以格状电连接具有梁结构的多个微谐振器(15、16、17、18)。多个微谐振器(15、16、17、18)均包括谐振器组，该谐振器组包括具有不同的谐振频率的多个谐振器。
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公开(公告)号：CN1822428A
公开(公告)日：2006-08-23
申请号：CN200510003461.5
申请日：2005-10-08
Applicant: 索尼株式会社
CPC classification number: H03H3/0072 , H03H9/02259 , H03H9/02433 , H03H9/2463 , H03H9/462 , H03H9/525 , H03H2009/02511
Abstract: 本发明提供一种微谐振器，该微谐振器包括设置在基底多个列上的多个谐振器元件。每一个谐振器元件都具有输入电极、输出电极、和在特定方向延伸的膜片，并且每个都通过特定频率的信号。多个谐振器元件包括设置在位于在多个列中每隔一列的第一列上的多个第一谐振器元件，其具有第一相位，及设置在位于多个列中每隔一列但不是第一列的第二列的多个第二谐振器元件，其具有与第一相位相反相位的第二相位。
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公开(公告)号：CN100517964C
公开(公告)日：2009-07-22
申请号：CN200610073946.6
申请日：2006-01-27
Applicant: 索尼株式会社
Inventor： 田中均洋
CPC classification number: H03B5/18
Abstract: 提供一种微振子、半导体装置以及通信装置，在适用于例如信号滤波器等的微振子中，谋求降低其对地电容，抑制信号输出的损耗。在基板上形成具有与下部电极(43、44)对置而进行静电驱动的梁(47)的振子元件(33)，且形成为与梁(47)连接的直流偏置供电线(45)的线宽(W1)以比梁(47)的宽度(W2)窄的宽度形成。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN100514746C
公开(公告)日：2009-07-15
申请号：CN200510003461.5
申请日：2005-10-08
Applicant: 索尼株式会社
CPC classification number: H03H3/0072 , H03H9/02259 , H03H9/02433 , H03H9/2463 , H03H9/462 , H03H9/525 , H03H2009/02511
Abstract: 本发明提供一种微谐振器，该微谐振器包括设置在基底多个列上的多个谐振器元件。每一个谐振器元件都具有输入电极、输出电极、和在特定方向延伸的膜片，并且每个都通过特定频率的信号。多个谐振器元件包括设置在位于在多个列中每隔一列的第一列上的多个第一谐振器元件，其具有第一相位，及设置在位于多个列中每隔一列但不是第一列的第二列的多个第二谐振器元件，其具有与第一相位相反相位的第二相位。
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公开(公告)号：CN101317328A
公开(公告)日：2008-12-03
申请号：CN200680044615.8
申请日：2006-11-08
Applicant: 索尼株式会社
CPC classification number: H02N1/006 , H03H9/2426 , H03H9/2463 , H03H9/525
Abstract: 本发明提供一种能够通过简单的元件构造来处理高频区域的电信号的微小机电装置。本发明的微小机电装置包括振动子元件，该振动子元件在衬底上具有多个电极和与该电极相对并通过静电驱动进行振动的梁，所述微小机电装置向多个电极和梁中的某一组合输入高频信号并从该组合输出高频信号。
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公开(公告)号：CN1977453B
公开(公告)日：2012-07-04
申请号：CN200580021692.7
申请日：2005-03-25
Applicant: 索尼株式会社
CPC classification number: H03H9/525 , H03H9/2463
Abstract: 由多个微谐振器构成的具有宽的特定带宽的滤波器。在用于平衡输入的两个输入端(11、12)和用于平衡输出的两个输出端(13、14)之间，以格状电连接具有梁结构的多个微谐振器(15、16、17、18)。多个微谐振器(15、16、17、18)均包括谐振器组，该谐振器组包括具有不同的谐振频率的多个谐振器。
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公开(公告)号：CN1871176A
公开(公告)日：2006-11-29
申请号：CN200480008777.7
申请日：2004-04-02
Applicant: 索尼株式会社
Abstract: 一种微机械的制造方法，其中不需要任何特殊封装技术可除去牺牲层和进行密封。配备有振子(4)的微机械(1)的制造方法包括在振子(4)的可动部周围形成牺牲层的步骤，用涂层膜(8)覆盖牺牲层并制作穿过涂层膜(8)连通牺牲层的通孔(10)的步骤，利用通孔(10)除去牺牲层以在可动部周围形成空间的牺牲层蚀刻步骤，以及蚀刻牺牲层后在压力减小的条件下进行膜沉积以密封通孔(10)的步骤。
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公开(公告)号：CN1838532A
公开(公告)日：2006-09-27
申请号：CN200610073946.6
申请日：2006-01-27
Applicant: 索尼株式会社
Inventor： 田中均洋
CPC classification number: H03B5/18
Abstract: 提供一种微振子、半导体装置以及通信装置，在适用于例如信号滤波器等的微振子中，谋求降低其对地电容，抑制信号输出的损耗。在基板上形成具有与下部电极(43、44)对置而进行静电驱动的梁(47)的振子元件(33)，且形成为与梁(47)连接的直流偏置供电线(45)的线宽(W1)以比梁(47)的宽度(W2)窄的宽度形成。
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