微机械的制造方法
    7.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1871176A

    公开(公告)日:2006-11-29

    申请号:CN200480008777.7

    申请日:2004-04-02

    Abstract: 一种微机械的制造方法,其中不需要任何特殊封装技术可除去牺牲层和进行密封。配备有振子(4)的微机械(1)的制造方法包括在振子(4)的可动部周围形成牺牲层的步骤,用涂层膜(8)覆盖牺牲层并制作穿过涂层膜(8)连通牺牲层的通孔(10)的步骤,利用通孔(10)除去牺牲层以在可动部周围形成空间的牺牲层蚀刻步骤,以及蚀刻牺牲层后在压力减小的条件下进行膜沉积以密封通孔(10)的步骤。

    微机电系统谐振器及其驱动和制备方法和频率滤波器

    公开(公告)号:CN1853345A

    公开(公告)日:2006-10-25

    申请号:CN200480027070.0

    申请日:2004-09-17

    Inventor: 难波田康治

    Abstract: 通过将输出相相差180度,可以将非平衡输入输出为平衡输出。微机电系统谐振器(MEMS谐振器(101))包括:用于输入信号的输入电极(111);用于将非平衡输入输出为平衡输出信号的输出电极(第一输出电极(112)、第二输出电极(113));经一空间(121)与所述输入电极(111)、第一输出电极(112)和第二输出电极(113)相对的振荡器(114)。第一输出电极(112)设置在与输入电极(111)的相相差180度的位置,而第二输出电极(113)设置在与输入电极(111)的相相同的位置。

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