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公开(公告)号:CN1993887A
公开(公告)日:2007-07-04
申请号:CN200580026644.7
申请日:2005-06-07
Applicant: 索尼株式会社
CPC classification number: H03H9/2463 , H03H3/0073 , H03H3/0075 , H03H9/2426 , H03H9/505 , H03H9/525
Abstract: 本发明提供实现了对静电驱动型振子施加的直流偏置电压的稳定化的高频元件、能够供给稳定的直流偏置电压的电源供给元件。而且本发明提供具有上述高频元件构成的滤波器的通信装置。本发明的高频元件具有高频信号元件,该高频信号元件包含通过施加直流偏置电压而动作的静电驱动型的振子,在供给直流偏置电压的焊盘和振子之间附加具有使直流偏置电压稳定的功能的电路。电源供给元件是用于驱动高频振动元件的电源供给元件,通过附加具有使直流偏置电压稳定的功能的电路而构成。本发明的通信装置使用上述高频元件构成的滤波器作为滤波器。
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公开(公告)号:CN100514746C
公开(公告)日:2009-07-15
申请号:CN200510003461.5
申请日:2005-10-08
Applicant: 索尼株式会社
CPC classification number: H03H3/0072 , H03H9/02259 , H03H9/02433 , H03H9/2463 , H03H9/462 , H03H9/525 , H03H2009/02511
Abstract: 本发明提供一种微谐振器,该微谐振器包括设置在基底多个列上的多个谐振器元件。每一个谐振器元件都具有输入电极、输出电极、和在特定方向延伸的膜片,并且每个都通过特定频率的信号。多个谐振器元件包括设置在位于在多个列中每隔一列的第一列上的多个第一谐振器元件,其具有第一相位,及设置在位于多个列中每隔一列但不是第一列的第二列的多个第二谐振器元件,其具有与第一相位相反相位的第二相位。
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公开(公告)号:CN1849747A
公开(公告)日:2006-10-18
申请号:CN200480026399.5
申请日:2004-07-21
Applicant: 索尼株式会社
Inventor: 难波田康治
CPC classification number: H03H9/02338 , H01G5/16 , H03H3/0072 , H03H9/2452 , H03H2009/02511
Abstract: 本发明提供一种MEMS型共振器及其制造方法,其中制造MEMS时在湿工艺中梁到衬底的吸附被防止,且运行时所需振动模式之外的不需要的其它振动模式不被混合。此外,提供包括具有所述MEMS型共振器的滤波器的通讯装置。所述MEMS型共振器包括其中形成有下电极的衬底和形成在该衬底上的梁,其中至少一个支承柱设置在该衬底与该梁之间。该通讯装置包括上述MEMS型共振器的滤波器作为滤波器。
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公开(公告)号:CN1977453B
公开(公告)日:2012-07-04
申请号:CN200580021692.7
申请日:2005-03-25
Applicant: 索尼株式会社
CPC classification number: H03H9/525 , H03H9/2463
Abstract: 由多个微谐振器构成的具有宽的特定带宽的滤波器。在用于平衡输入的两个输入端(11、12)和用于平衡输出的两个输出端(13、14)之间,以格状电连接具有梁结构的多个微谐振器(15、16、17、18)。多个微谐振器(15、16、17、18)均包括谐振器组,该谐振器组包括具有不同的谐振频率的多个谐振器。
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公开(公告)号:CN1898862A
公开(公告)日:2007-01-17
申请号:CN200480038491.3
申请日:2004-11-05
Applicant: 索尼株式会社
Inventor: 难波田康治
CPC classification number: H03H3/0072 , H03H9/02433 , H03H9/2463 , H03H9/462 , H03H2009/02511
Abstract: 本发明涉及一种微型共振器以及通信装置。该微型共振器可实现其合成阻抗的降低,使其适用于目标设备上。该通信装置设有包含上述微型共振器的滤波器。该微型共振器通过将具有梁结构的多个微型共振器元件电气并列连接而成。而上述通信装置中,作为滤波器使用包含上述微型共振器的滤波器。
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公开(公告)号:CN1871176A
公开(公告)日:2006-11-29
申请号:CN200480008777.7
申请日:2004-04-02
Applicant: 索尼株式会社
Abstract: 一种微机械的制造方法,其中不需要任何特殊封装技术可除去牺牲层和进行密封。配备有振子(4)的微机械(1)的制造方法包括在振子(4)的可动部周围形成牺牲层的步骤,用涂层膜(8)覆盖牺牲层并制作穿过涂层膜(8)连通牺牲层的通孔(10)的步骤,利用通孔(10)除去牺牲层以在可动部周围形成空间的牺牲层蚀刻步骤,以及蚀刻牺牲层后在压力减小的条件下进行膜沉积以密封通孔(10)的步骤。
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公开(公告)号:CN1977453A
公开(公告)日:2007-06-06
申请号:CN200580021692.7
申请日:2005-03-25
Applicant: 索尼株式会社
CPC classification number: H03H9/525 , H03H9/2463
Abstract: 由多个微谐振器构成的具有宽的特定带宽的滤波器。在用于平衡输入的两个输入端(11、12)和用于平衡输出的两个输出端(13、14)之间,以格状电连接具有梁结构的多个微谐振器(15、16、17、18)。多个微谐振器(15、16、17、18)均包括谐振器组,该谐振器组包括具有不同的谐振频率的多个谐振器。
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公开(公告)号:CN1853345A
公开(公告)日:2006-10-25
申请号:CN200480027070.0
申请日:2004-09-17
Applicant: 索尼株式会社
Inventor: 难波田康治
Abstract: 通过将输出相相差180度,可以将非平衡输入输出为平衡输出。微机电系统谐振器(MEMS谐振器(101))包括:用于输入信号的输入电极(111);用于将非平衡输入输出为平衡输出信号的输出电极(第一输出电极(112)、第二输出电极(113));经一空间(121)与所述输入电极(111)、第一输出电极(112)和第二输出电极(113)相对的振荡器(114)。第一输出电极(112)设置在与输入电极(111)的相相差180度的位置,而第二输出电极(113)设置在与输入电极(111)的相相同的位置。
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