一种封装结构及其封装方法

    公开(公告)号:CN113629023A

    公开(公告)日:2021-11-09

    申请号:CN202110956303.0

    申请日:2021-08-19

    Abstract: 本发明提供一种封装结构及其封装方法,所述封装结构包括:第一半导体圆片,其正面设置有磁传感器、第一金属焊盘和与第一金属焊盘连接的第一再布线层,其背面设置有第一腔体和第二腔体;第二半导体圆片,其正面设置有第二金属焊盘、加速度传感器和陀螺仪,第二半导体圆片与第一半导体圆片的背面相键合,其中,第二半导体圆片位于第一半导体圆片的上方,第二半导体圆片的正面与第一半导体圆片的背面相对,且第二半导体圆片正面的加速度传感器和陀螺仪分别与第一半导体圆片背面的第一腔体和第二腔体相对。与现有技术相比,本发明通过将磁传感器,加速度传感器和陀螺仪集成到一个封装体内部,从而使产品的集成度更高,加工成本更低。

    一种磁角度传感器测试装置
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN112097821A

    公开(公告)日:2020-12-18

    申请号:CN202010989469.8

    申请日:2020-09-18

    Abstract: 本发明提供一种磁角度传感器测试装置,其包括:第一基板;电机,其设置于第一基板上,电机包括电机主体和电机转轴;磁场源,其用于产生外磁场,磁场源设置于所述第一基板上,在测试时所述磁场源保持不动;其中,待测磁角度传感器固定于所述电机的电机转轴上,且与磁场源相对。与现有技术相比,本发明将磁场源固定不动,将待测磁角度传感器固定于电机转轴上。在测试过程中,电机带动待测磁角度传感器旋转,该旋转角度作为参考角度,根据传感器的输出来标定其性能参数,从而不仅可以规避或剔除由地磁场带来的系统误差,而且还可以将其他恒定弱磁场干扰源可能带来的角度误差一起消除,进而提高对磁角度传感器的转角测试的测量精度。

    带腔体器件的气密封装结构和制造方法

    公开(公告)号:CN113830724B

    公开(公告)日:2024-05-31

    申请号:CN202111175740.5

    申请日:2021-10-09

    Abstract: 本发明提供一种带腔体器件的气密封装结构和制造方法,带腔体器件的气密封装结构包括:半导体部件;盖板;键合层,其位于半导体部件和盖板之间;第一腔体,其位于半导体部件和盖板之间且被部分密封;第二腔体,其位于半导体部件和盖板之间且被部分密封;若干第一通孔,其贯穿盖板至第一腔体;若干第二通孔,其贯穿盖板至第二腔体;第一密封层,其设置于盖板远离所述半导体部件的一侧表面,以密封所述若干第一通孔;第二密封层,其设置于所述第一密封层远离所述盖板的一侧表面,以密封所述若干第二通孔。与现有技术相比,本发明可以为带腔体器件提供更高的真空度,且不同芯片气压的均匀度好,进而提高带腔体器件的性能,改善良率。

    360度磁角度传感器
    4.
    发明授权

    公开(公告)号:CN112097800B

    公开(公告)日:2025-04-04

    申请号:CN202010897275.5

    申请日:2020-08-31

    Abstract: 本发明提供一种360度磁角度传感器,其包括:各向异性磁电阻传感器,其基于感测平面内的磁场产生表示磁角度的第一信号,所述第一信号具有180度的角范围;霍尔传感器,其基于所述感测平面内的磁场产生表示磁角度的第二信号,所述第二信号具有360度的角范围;信号处理电路,其与所述各向异性磁电阻传感器和霍尔传感器电性连接,其基于第二信号判断所述磁角度的所属区间,所属区间为0到180度或180到360度,并结合所述磁角度的所属区间和所述第一信号产生表示磁角度的第三信号,所述第三信号具有360度的角范围。与现有技术相比,本发明不但能实现360度范围内高精度的角度测量,而且还可以降低体积和成本。

    一种封装结构及其封装方法

    公开(公告)号:CN113629023B

    公开(公告)日:2024-12-24

    申请号:CN202110956303.0

    申请日:2021-08-19

    Abstract: 本发明提供一种封装结构及其封装方法,所述封装结构包括:第一半导体圆片,其正面设置有磁传感器、第一金属焊盘和与第一金属焊盘连接的第一再布线层,其背面设置有第一腔体和第二腔体;第二半导体圆片,其正面设置有第二金属焊盘、加速度传感器和陀螺仪,第二半导体圆片与第一半导体圆片的背面相键合,其中,第二半导体圆片位于第一半导体圆片的上方,第二半导体圆片的正面与第一半导体圆片的背面相对,且第二半导体圆片正面的加速度传感器和陀螺仪分别与第一半导体圆片背面的第一腔体和第二腔体相对。与现有技术相比,本发明通过将磁传感器,加速度传感器和陀螺仪集成到一个封装体内部,从而使产品的集成度更高,加工成本更低。

    TMR磁传感器
    6.
    发明公开
    TMR磁传感器 审中-实审

    公开(公告)号:CN117110956A

    公开(公告)日:2023-11-24

    申请号:CN202311039696.4

    申请日:2023-08-17

    Abstract: 本发明提供一种TMR磁传感器,其包括:耦接于电源端和输出端之间的第一桥臂;耦接于输出端和接地端之间的第二桥臂;第一桥臂和第二桥臂中的一个为阻值随磁场变化的电阻,另一个为阻值不随磁场变化的电阻,第一桥臂和第二桥臂形成于同一个衬底上,阻值随磁场变化的电阻包括多个磁隧道结,在电流流过阻值随磁场变化的电阻时,电流在磁隧道结的结区的流动方向与所述衬底的表面垂直;在电流流过阻值不随磁场变化的电阻时,电流的流动方向与所述衬底的表面平行。这样,采用一次退火方式就可以实现所述TMR磁传感器,无需采用软磁材料屏蔽TMR磁传感器中的桥臂实现单芯片集成,降低了TMR磁传感器工艺制造的难度。

    电子设备及将电子设备从休眠模式唤醒的方法

    公开(公告)号:CN115793834A

    公开(公告)日:2023-03-14

    申请号:CN202211429749.9

    申请日:2022-11-15

    Abstract: 本发明提供一种电子设备及将电子设备从休眠模式唤醒的方法,当电子设备在休眠模式时,若收到间歇式低功耗阈值检测使能信号,则进入低功耗阈值检测模式;当电子设备在休眠模式时,若收到采样需求动作信号或加速度数据超过第一阈值范围,则进入持续工作模式,若在预定时长内未收到采样需求动作信号或在预定时长内加速度数据未超过第二阈值范围,则进入休眠模式;当电子设备在低功耗阈值检测模式时,低功耗阈值检测电路工作,对电子设备进行加速度检测,判定检测到的加速度是否超出第三预定阈值范围,若否,则继续低功耗阈值检测模式;若是,则进入持续工作模式。与现有技术相比,本发明可以准确及时的将电子设备从休眠模式唤醒,从而降低功耗。

    带腔体器件的气密封装结构和制造方法

    公开(公告)号:CN113830724A

    公开(公告)日:2021-12-24

    申请号:CN202111175740.5

    申请日:2021-10-09

    Abstract: 本发明提供一种带腔体器件的气密封装结构和制造方法,带腔体器件的气密封装结构包括:半导体部件;盖板;键合层,其位于半导体部件和盖板之间;第一腔体,其位于半导体部件和盖板之间且被部分密封;第二腔体,其位于半导体部件和盖板之间且被部分密封;若干第一通孔,其贯穿盖板至第一腔体;若干第二通孔,其贯穿盖板至第二腔体;第一密封层,其设置于盖板远离所述半导体部件的一侧表面,以密封所述若干第一通孔;第二密封层,其设置于所述第一密封层远离所述盖板的一侧表面,以密封所述若干第二通孔。与现有技术相比,本发明可以为带腔体器件提供更高的真空度,且不同芯片气压的均匀度好,进而提高带腔体器件的性能,改善良率。

    360度磁角度传感器
    9.
    发明公开

    公开(公告)号:CN112097800A

    公开(公告)日:2020-12-18

    申请号:CN202010897275.5

    申请日:2020-08-31

    Abstract: 本发明提供一种360度磁角度传感器,其包括:各向异性磁电阻传感器,其基于感测平面内的磁场产生表示磁角度的第一信号,所述第一信号具有180度的角范围;霍尔传感器,其基于所述感测平面内的磁场产生表示磁角度的第二信号,所述第二信号具有360度的角范围;信号处理电路,其与所述各向异性磁电阻传感器和霍尔传感器电性连接,其基于第二信号判断所述磁角度的所属区间,所属区间为0到180度或180到360度,并结合所述磁角度的所属区间和所述第一信号产生表示磁角度的第三信号,所述第三信号具有360度的角范围。与现有技术相比,本发明不但能实现360度范围内高精度的角度测量,而且还可以降低体积和成本。

    磁角度传感器
    10.
    发明公开
    磁角度传感器 审中-实审

    公开(公告)号:CN117268254A

    公开(公告)日:2023-12-22

    申请号:CN202311399408.6

    申请日:2023-10-25

    Abstract: 本发明公开了一种磁角度传感器,其包括:至少一个磁阻传感器,每个磁阻传感器被配置的生成反应磁场的角度的第一传感信号,第一传感信号的周期为180度;一对霍尔传感器,每个霍尔传感器被配置的生成反应磁场的角度的第二传感信号,第二传感信号周期为360度。根据第一传感信号得到所述磁场在180度范围内的高精度的角度值,根据两个第二传感信号和所述磁场在180度范围内的高精度的角度值得到所述磁场在360度范围内的高精度的角度值。这样,可以将所述磁阻传感器的测量范围从180度扩展到360度,并保持所述磁阻传感器的高精度角度探测。

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