公开(公告)号：CN105461303A

公开(公告)日：2016-04-06

申请号：CN201510617259.5

申请日：2015-09-24

Applicant: TDK株式会社

Inventor： 七尾胜

IPC: C04B35/495 ,  C23C14/08

CPC classification number: H01L41/18 ,  C01G23/005 ,  C01G25/00 ,  C01G33/006 ,  C01G35/006 ,  C01P2002/30 ,  C01P2002/34 ,  C01P2006/40 ,  C04B35/475 ,  C04B35/495 ,  C04B35/6261 ,  C04B35/62625 ,  C04B35/62655 ,  C04B35/638 ,  C04B2235/3201 ,  C04B2235/3203 ,  C04B2235/3213 ,  C04B2235/3215 ,  C04B2235/3234 ,  C04B2235/3248 ,  C04B2235/3251 ,  C04B2235/3255 ,  C04B2235/3262 ,  C04B2235/3281 ,  C04B2235/3298 ,  C04B2235/6567 ,  C04B2235/768 ,  C04B2235/79 ,  C04B2235/80 ,  C23C14/088 ,  C23C14/3407 ,  C23C14/3414 ,  H01L41/047 ,  H01L41/1873

Abstract: 本发明的目的在于提供在-40℃～85℃的温度区域中压电特性的温度变化率小的压电组合物以及具备它们的压电元件、或者溅射靶材。所述压电组合物以(K1-x-yNaxLiy)q(Nb1-zTaz)O3···(1)(0.20≤x≤0.80，0.02≤y≤0.10，0.01≤z≤0.30，0.800≤q≤1.050)、SrZrO3···(2)、Ba(Nb1-wTaw)2O6···(3)(0.01≤w≤0.30)、(Bi0.5Na0.5)TiO3和/或(Bi0.5K0.5)TiO3···(4)、(1-m-n-p)A+mB+nC+pD···(5)(A表示(1)所示的复合氧化物，B表示(2)所示的复合氧化物，C表示(3)所示的复合氧化物，D表示(4)所示的复合氧化物，0.04≤m≤0.07，0

公开(公告)号：CN101239820A

公开(公告)日：2008-08-13

申请号：CN200810082146.X

申请日：2005-03-25

Applicant: TDK株式会社

Inventor： 七尾胜 ,  古川正仁 ,  坂本英也 ,  塚田岳夫

IPC: C04B35/462 ,  C04B35/49 ,  H01L41/08 ,  H01L41/187

CPC classification number: C04B35/493 ,  C04B2235/3208 ,  C04B2235/3213 ,  C04B2235/3215 ,  C04B2235/3232 ,  C04B2235/3241 ,  C04B2235/3256 ,  C04B2235/3258 ,  C04B2235/3272 ,  C04B2235/3275 ,  C04B2235/3279 ,  C04B2235/3284 ,  C04B2235/3294 ,  H01L41/083 ,  H01L41/1876

Abstract: 压电陶瓷和压电元件：本发明提供一种能够在低温中烧结，同时能够提高压电特性的压电陶瓷和压电元件。含有Pba[(Znb/3Nb2/3)xTiyZrz]O3(0.94≤a≤1.02、1＜b≤3、x+y+z＝1、0.05≤x＜0.125、0.275＜y≤0.5、0.375＜z≤0.6)或(Pbe－fMef)[(Zng/3Nb2/3)uTivZrw]O3(0.96≤e≤1.03、0.01≤f≤0.1、1＜g≤3、u+v+w＝1、0.05≤u＜0.125、0.275＜v≤0.5、0.375＜w≤0.6、Me是Sr、Ba、Ca)。通过过剩地包含Zn，能够降低烧结温度，提高压电特性。

公开(公告)号：CN1674176A

公开(公告)日：2005-09-28

申请号：CN200510062466.5

申请日：2005-03-28

Applicant: TDK株式会社

Inventor： 中野贵弘 ,  七尾胜 ,  坂本英也 ,  塚田岳夫

IPC: H01G4/12 ,  H01G4/30 ,  H01L41/083 ,  H01L41/24

CPC classification number: B32B18/00 ,  C04B35/491 ,  C04B35/638 ,  C04B2235/656 ,  C04B2235/6582 ,  C04B2235/6584 ,  C04B2235/6588 ,  C04B2235/721 ,  C04B2237/34 ,  C04B2237/346 ,  C04B2237/407 ,  H01L41/083 ,  H01L41/273

Abstract: 提供即使多层化或大型化也能够得到良好的制品、特别适合于叠层压电元件的叠层陶瓷元件的制造方法。形成交替地层叠了含有陶瓷层的原料的陶瓷前体层、和含有作为内部电极层的原料的金属铜的内部电极前体层的叠层体后，加热从而脱脂处理。此时，导入含有惰性气体、7摩尔％或以上50摩尔％或以下的水蒸气、和根据需要的氢的气氛气体，将氧分压调整在p(O2)≤(25331×Kp)2/3的范围内。p(O2)表示氧分压，Kp表示水的解离平衡常数；单位是Pa。据此能够一边抑制金属铜的氧化，一边充分地分解去除粘合剂，能够减少残留碳。

公开(公告)号：CN111384229A

公开(公告)日：2020-07-07

申请号：CN201911336734.6

申请日：2019-12-23

Applicant: TDK株式会社

Inventor： 石井健太 ,  七尾胜 ,  佐久间仁志 ,  野口隆男

IPC: H01L41/047 ,  H01L41/083 ,  H01L41/277

Abstract: 薄膜层叠体具备：由金属构成的金属层和层叠于金属层的表面的薄膜，第一方向被定义为与金属层的表面平行的一个方向，第二方向被定义为与金属层的表面平行，且与第一方向交叉的一个方向，金属层包含多个第一金属粒及多个第二金属粒，第一金属粒由金属构成，在金属层的表面上沿着第一方向延伸，第二金属粒由金属构成，在金属层的表面上沿着第二方向延伸。

公开(公告)号：CN108172682A

公开(公告)日：2018-06-15

申请号：CN201711276070.X

申请日：2017-12-06

Applicant: TDK株式会社

Inventor： 七尾胜 ,  大桥光平 ,  石井健太

IPC: H01L41/083 ,  H01L41/18 ,  H01L41/277

CPC classification number: H01L41/0815 ,  B41J2/14201 ,  B41J2/14233 ,  B41J2202/03 ,  G11B5/483 ,  G11B5/4873 ,  H01L41/0477 ,  H01L41/0973 ,  H01L41/1132 ,  H01L41/1873 ,  H01L41/22

Abstract: 本发明的目的在于提供一种位移量大并且位移量的温度依存性小的压电薄膜层叠体。压电薄膜层叠体(100)具备第一电极层(3)、被层叠于第一电极层(3)的第一中间层(4)、被层叠于第一中间层(4)的第二中间层(5)、被层叠于第二中间层(5)的压电薄膜(6)，第一中间层(4)含有K、Na以及Nb，第二中间层(5)为使压缩方向的应力产生于压电薄膜(6)的层，压电薄膜(6)含有(K,Na)NbO3。

公开(公告)号：CN100513355C

公开(公告)日：2009-07-15

申请号：CN200610142324.4

申请日：2006-09-30

Applicant: TDK株式会社

Inventor： 家住久美子 ,  山崎纯一 ,  塚田岳夫 ,  坂本典正 ,  曾我部智浩 ,  七尾胜

IPC: C04B35/493 ,  H01L41/187 ,  H01G4/12 ,  H01G4/30

Abstract: 为了防止在内部电极中使用Cu时压电变形特性下降，本发明提供一种压电陶瓷组合物，其特征在于，将以(Pba-bMeb)[(Zn1/3Nb2/3)xTiyZrz]O3(其中，0.96≤a≤1.03，0≤b≤0.1，0.05≤x≤0.15，0.25≤y≤0.5，0.35≤z≤0.6，x+y+z＝1。另外，式中的Me表示选自Sr、Ca和Ba中的至少一种。)表示的复合氧化物作为主成分，并且相对于主成分，含有以氧化物换算计为0.5质量%以下(其中，不包含0。)的选自Co、Mg、Ni、Cr和Ga中的至少一种作为第1副成分，并设置由Cu构成的电极。

公开(公告)号：CN1944335A

公开(公告)日：2007-04-11

申请号：CN200610142324.4

申请日：2006-09-30

Applicant: TDK株式会社

Inventor： 家住久美子 ,  山崎纯一 ,  塚田岳夫 ,  坂本典正 ,  曾我部智浩 ,  七尾胜

IPC: C04B35/493 ,  H01L41/187 ,  H01G4/12 ,  H01G4/30

Abstract: 为了防止在内部电极中使用Cu时压电变形特性下降，本发明提供一种压电陶瓷组合物，其特征在于，将以(Pba－bMeb) [(Zn1/3Nb2/3x)TiyZrz]O3(其中，0.96≤a≤1.03，0≤b≤0.1，0.05≤x≤0.15，0.25≤y≤0.5，0.35≤z≤0.6，x+y+z＝1。另外，式中的Me表示选自Sr、Ca和Ba中的至少一种。)表示的复合氧化物作为主成分，并且相对于主成分，含有以氧化物换算计为0.5质量％以下(其中，不包含0。)的选自Co、Mg、Ni、Cr和Ga中的至少一种作为第1副成分，并设置由Cu构成的电极。

公开(公告)号：CN107235724A

公开(公告)日：2017-10-10

申请号：CN201710195606.9

申请日：2017-03-28

Applicant: TDK株式会社

Inventor： 东智久 ,  七尾胜 ,  石井健太

IPC: C04B35/495 ,  C04B35/48 ,  C23C14/34 ,  H01L41/187

Abstract: 本发明的目的在于提供一种在无铅压电薄膜的制造中可以充分地抑制成为缺陷的主要因素的微粒的产生的压电陶瓷溅射靶材。所述压电陶瓷溅射靶材其特征在于，所述压电陶瓷溅射靶材以化学式(I)：ABO3所表示的钙钛矿型氧化物为主成分，所述化学式(I)的A成分至少含有K(钾)和/或Na(钠)，所述化学式(I)的B成分至少含有Nb(铌)，所述压电陶瓷溅射靶材由多个晶粒构成，所述晶粒的平均粒径大于3μm且为30μm以下。

公开(公告)号：CN100462330C

公开(公告)日：2009-02-18

申请号：CN02811585.6

申请日：2002-06-14

Applicant: TDK株式会社

Inventor： 七尾胜 ,  宫内泰治 ,  石山保 ,  古川正仁 ,  室泽尚吾 ,  五木田佳子

IPC: C04B35/495 ,  H01L41/187

CPC classification number: C04B35/495 ,  C04B35/6262 ,  C04B35/62695 ,  C04B35/638 ,  C04B2235/3201 ,  C04B2235/3203 ,  C04B2235/3206 ,  C04B2235/3208 ,  C04B2235/3213 ,  C04B2235/3215 ,  C04B2235/3232 ,  C04B2235/3236 ,  C04B2235/3251 ,  C04B2235/3255 ,  C04B2235/3262 ,  C04B2235/3272 ,  C04B2235/3275 ,  C04B2235/3277 ,  C04B2235/3279 ,  C04B2235/3284 ,  C04B2235/3291 ,  C04B2235/604 ,  C04B2235/76 ,  C04B2235/768 ,  C04B2235/94 ,  H01L41/1873 ,  H01L41/43

Abstract: 提供了压电陶瓷，其使用温度范围广，可以得到大的位移量，烧制容易，而且低公害化，从环境及生态学观点看是优良的。压电基板1是含有钙钛型氧化物(Na1-x-y-zKxLiyAgz)(Nb1-wTaw)O3和钨青铜型氧化物M(Nb1-vTav)2O6(M是长周期型周期表2族的元素)的组合物。x，y，z是在0≤x≤0.9、0≤y≤0.2、0≤z＜0.5的范围。钨青铜型氧化物的含量优选的是5.3mol%或更低。因此，可以提高居里温度，加大位移量，也可以容易地烧制。

公开(公告)号：CN100439285C

公开(公告)日：2008-12-03

申请号：CN200610056980.2

申请日：2006-03-07

Applicant: TDK株式会社

Inventor： 家住久美子 ,  塚田岳夫 ,  井上正良 ,  山崎纯一 ,  七尾胜 ,  古川正仁 ,  坂本英也 ,  坂本典正

IPC: C04B35/491 ,  H01L41/187

Abstract: 本发明提供一种压电陶瓷组合物，其主成分为以Pb、Ti、Zr为构成元素的复合氧化物，含有从Mn、Co、Cr、Fe、Ni中选择的至少一种作为第一副成分，该第一副成分的含量换算成氧化物为小于等于0.2质量%(但不包括0)；或者，含有以CuOx(x≥0)表示的成分中的至少一种作为第一副成分，此时的第一副成分的含量换算成CuO为小于等于3.0质量%(但不包括0)。压电陶瓷组合物在还原烧成条件下烧成，所述还原烧成条件例如为烧成温度在800℃～1200℃，氧分压为1×10-10～1×10-6大气压。本发明可以使用Cu、Ni等廉价金属材料作为电极材料，可以抑制高温下电阻、电气机械结合系数kr的下降。