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公开(公告)号：CN101373694A
公开(公告)日：2009-02-25
申请号：CN200810130871.X
申请日：2008-08-21
Applicant: 恩益禧电子股份有限公司
IPC: H01J37/317 , H01L21/265
CPC classification number: C23C14/48 , H01J37/09 , H01J2237/0451 , H01J2237/31701
Abstract: 旨在提供一种延长下述期限的离子注入装置，即在所述期限中，可以避免由于离子物典型地到和从形成离子束的束形状的通孔的内表面的沉积和释放而导致的处理目标的失败，降低更换孔部件的频率，从而改进生产率，一种孔部件，其至少在通孔的内表面的一部分中形成束形状并具有与离子束相对的锥面，并且具有厚热喷涂膜，形成所述热喷涂膜从而覆盖通孔的内表面和内表面周围。
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公开(公告)号：CN104094373B
公开(公告)日：2016-08-17
申请号：CN201380008021.1
申请日：2013-02-15
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: H01J37/28 , H01J37/09 , H01J37/16 , H01J37/18 , H01J2237/0451 , H01J2237/06341 , H01J2237/10 , H01J2237/1405 , H01J2237/164 , H01J2237/2608 , H01J2237/2801
Abstract: 本发明提供能简单地装拆隔膜(101)且能将试样(6)配置于真空下和高压下的带电粒子线装置(111)。该带电粒子线装置(111)具有：对带电粒子源(110)和电子光学系统(1、2、7)进行保持的镜筒(3)；与镜筒(3)连结的第一框体(4)；向第一框体(4)的内侧凹陷的第二框体(100)；将镜筒(3)内的空间和第一框体(4)内的空间隔离且供带电粒子线透过的第一隔膜(10)；将第二框体(100)的凹部(100a)内的空间和第二框体(100)的凹部(100a)外的空间隔离且供带电粒子线透过的第二隔膜(101)；与收纳带电粒子源(110)的第三框体(22)连结的管(23)，第一隔膜(10)安装于管(23)，管(23)和第三框体(22)能沿光轴(30)的方向相对于镜筒(3)装拆。由第一框体(4)和第二框体(100)包围的空间(105)被减压，对配置于凹部(100a)中的试样(6)照射带电粒子线。
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公开(公告)号：CN1985344B
公开(公告)日：2010-09-29
申请号：CN200580017795.6
申请日：2005-05-13
Applicant: 纳米束有限公司
Inventor： 张涛
IPC: H01J37/04 , H01J37/147 , H01J37/09 , H01J37/15
CPC classification number: G21K1/087 , H01J37/045 , H01J37/09 , H01J37/1472 , H01J37/15 , H01J2237/028 , H01J2237/0451 , H01J2237/3175
Abstract: 用来屏蔽带电粒子束的设备。射束屏蔽单元(1)包括固定到支撑板(15)的第一和第二屏蔽板(2，3)。阻止器(4)与5第一屏蔽板(2)机械地连接和电连接。
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公开(公告)号：CN108431939A
公开(公告)日：2018-08-21
申请号：CN201780005788.7
申请日：2017-01-05
Applicant: 科磊股份有限公司
CPC classification number: H01J37/045 , H01J37/147 , H01J37/21 , H01J2237/0451 , H01J2237/0492 , H01J2237/1505 , H01J2237/24592
Abstract: 本发明揭示一种电子束设备，其通过使热量均匀扩散于孔径光阑上来解决由高功率热量消散到孔径光阑上所导致的消隐问题。所述设备可包含孔径光阑及使电子束偏转到所述孔径光阑上的偏转器。电子束以围绕孔径的图案导引到所述孔径光阑处。所述图案可为圆形、正方形或多边形。所述图案也可包含相对于孔径的可变轨迹。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104094373A
公开(公告)日：2014-10-08
申请号：CN201380008021.1
申请日：2013-02-15
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: H01J37/28 , H01J37/09 , H01J37/16 , H01J37/18 , H01J2237/0451 , H01J2237/06341 , H01J2237/10 , H01J2237/1405 , H01J2237/164 , H01J2237/2608 , H01J2237/2801
Abstract: 本发明提供能简单地装拆隔膜(101)且能将试样(6)配置于真空下和高压下的带电粒子线装置(111)。该带电粒子线装置(111)具有：对带电粒子源(110)和电子光学系统(1、2、7)进行保持的镜筒(3)；与镜筒(3)连结的第一框体(4)；向第一框体(4)的内侧凹陷的第二框体(100)；将镜筒(3)内的空间和第一框体(4)内的空间隔离且供带电粒子线透过的第一隔膜(10)；将第二框体(100)的凹部(100a)内的空间和第二框体(100)的凹部(100a)外的空间隔离且供带电粒子线透过的第二隔膜(101)；与收纳带电粒子源(110)的第三框体(22)连结的管(23)，第一隔膜(10)安装于管(23)，管(23)和第三框体(22)能沿光轴(30)的方向相对于镜筒(3)装拆。由第一框体(4)和第二框体(100)包围的空间(105)被减压，对配置于凹部(100a)中的试样(6)照射带电粒子线。
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公开(公告)号：CN1985344A
公开(公告)日：2007-06-20
申请号：CN200580017795.6
申请日：2005-05-13
Applicant: 纳米束有限公司
Inventor： 张涛
IPC: H01J37/04 , H01J37/147 , H01J37/09 , H01J37/15
CPC classification number: G21K1/087 , H01J37/045 , H01J37/09 , H01J37/1472 , H01J37/15 , H01J2237/028 , H01J2237/0451 , H01J2237/3175
Abstract: 用来屏蔽带电粒子束的设备。射束屏蔽单元(1)包括固定到支撑板(15)的第一和第二屏蔽板(2，3)。阻止器(4)与5第一屏蔽板(2)机械地连接和电连接。
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公开(公告)号：CN102439683B
公开(公告)日：2015-09-30
申请号：CN201080020420.6
申请日：2010-04-22
Applicant: 瓦里安半导体设备公司
CPC classification number: H01J37/08 , H01J27/024 , H01J37/09 , H01J2237/0451 , H01J2237/0453 , H01J2237/0456 , H01J2237/065 , H01J2237/08 , H01J2237/083 , H01J2237/31 , H01J2237/31701 , Y10S438/961
Abstract: 一种离子源，包括具有萃取孔隙的电弧室及等离子体鞘调制器。等离子体鞘调制器被装配以控制边界的形状，上述边界位于等离子体与接近萃取孔隙的等离子体鞘之间。等离子体鞘调制器可包括一对绝缘体，此对绝缘体安置于电弧室中且藉由安置于接近萃取孔隙的间隙来隔开。具有高电流密度的聚焦良好的离子束可藉由离子源产生。高电流密度离子束可改善相关制程的产出。离子束的发射率也可被控制。
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公开(公告)号：CN102439683A
公开(公告)日：2012-05-02
申请号：CN201080020420.6
申请日：2010-04-22
Applicant: 瓦里安半导体设备公司
CPC classification number: H01J37/08 , H01J27/024 , H01J37/09 , H01J2237/0451 , H01J2237/0453 , H01J2237/0456 , H01J2237/065 , H01J2237/08 , H01J2237/083 , H01J2237/31 , H01J2237/31701 , Y10S438/961
Abstract: 一种离子源，包括具有萃取孔隙的电弧室及等离子体鞘调制器。等离子体鞘调制器被装配以控制边界的形状，上述边界位于等离子体与接近萃取孔隙的等离子体鞘之间。等离子体鞘调制器可包括一对绝缘体，此对绝缘体安置于电弧室中且藉由安置于接近萃取孔隙的间隙来隔开。具有高电流密度的聚焦良好的离子束可藉由离子源产生。高电流密度离子束可改善相关制程的产出。离子束的发射率也可被控制。
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公开(公告)号：CN101373694B
公开(公告)日：2011-07-27
申请号：CN200810130871.X
申请日：2008-08-21
Applicant: 瑞萨电子株式会社
IPC: H01J37/317 , H01L21/265
CPC classification number: C23C14/48 , H01J37/09 , H01J2237/0451 , H01J2237/31701
Abstract: 旨在提供一种延长下述期限的离子注入装置，即在所述期限中，可以避免由于离子物典型地到和从形成离子束的束形状的通孔的内表面的沉积和释放而导致的处理目标的失败，降低更换孔部件的频率，从而改进生产率，一种孔部件，其至少在通孔的内表面的一部分中形成束形状并具有与离子束相对的锥面，并且具有厚热喷涂膜，形成所述热喷涂膜从而覆盖通孔的内表面和内表面周围。
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