公开(公告)号：US09580350B2

公开(公告)日：2017-02-28

申请号：US14921487

申请日：2015-10-23

Applicant: Corning Incorporated

Inventor： Sezhian Annamalai ,  Carlos Alberto Duran ,  Kenneth Edward Hrdina

IPC: C03C3/06 ,  C03C3/076 ,  C03C10/00 ,  C03B19/14 ,  C03B19/06 ,  C03B19/12 ,  C03B32/00

CPC classification number: C03C3/06 ,  C03B19/06 ,  C03B19/12 ,  C03B19/1453 ,  C03B32/00 ,  C03B2201/10 ,  C03B2201/23 ,  C03B2201/30 ,  C03B2201/32 ,  C03B2201/40 ,  C03B2201/42 ,  C03B2201/50 ,  C03B2201/54 ,  C03C3/076 ,  C03C10/0009 ,  C03C2201/10 ,  C03C2201/23 ,  C03C2201/30 ,  C03C2201/32 ,  C03C2201/40 ,  C03C2201/42 ,  C03C2201/50 ,  C03C2201/54 ,  C03C2201/58 ,  C03C2203/54

Abstract: Ultralow expansion titania-silica glass. The glass has high hydroxyl content and optionally include one or more dopants. Representative optional dopants include boron, alkali elements, alkaline earth elements or metals such as Nb, Ta, Al, Mn, Sn Cu and Sn. The glass is prepared by a process that includes steam consolidation to increase the hydroxyl content. The high hydroxyl content or combination of dopant(s) and high hydroxyl content lowers the fictive temperature of the glass to provide a glass having a very low coefficient of thermal expansion (CTE), low fictive temperature (Tf), and low expansivity slope.

Abstract translation: 超低膨胀二氧化钛 - 二氧化硅玻璃。 玻璃具有高羟基含量，并且任选地包括一种或多种掺杂剂。 代表性的可选掺杂剂包括硼，碱元素，碱土金属元素或诸如Nb，Ta，Al，Mn，Sn Cu和Sn的金属。 玻璃通过包括蒸汽固结以增加羟基含量的方法制备。 高羟基含量或掺杂剂和高羟基含量的组合降低了玻璃的假想温度，以提供具有非常低的热膨胀系数（CTE），低假想温度（Tf）和低膨胀斜率的玻璃。

公开(公告)号：US09382640B2

公开(公告)日：2016-07-05

申请号：US14004085

申请日：2012-10-02

Applicant: SHIN-ETSU QUARTZ PRODUCTS CO., LTD.

Inventor： Shigeru Yamagata

IPC: C30B15/10 ,  C03C3/06 ,  C03B19/09 ,  C03C17/00 ,  C03C17/02 ,  C30B15/02 ,  C30B29/06

CPC classification number: C30B15/10 ,  C03B19/095 ,  C03C3/06 ,  C03C17/004 ,  C03C17/02 ,  C03C2201/30 ,  C03C2203/10 ,  C30B15/02 ,  C30B29/06 ,  Y02P40/57 ,  Y10T117/1032

Abstract: The present invention provides a single-crystal silicon pulling silica container including an outer layer made of opaque silica glass containing gaseous bubbles and an inner layer made of transparent silica glass that does not substantially contain the gaseous bubbles; the container also including: a bottom portion, a curved portion, and a straight body portion, wherein continuous grooves are formed on a surface of the inner layer from at least part of the bottom portion to at least part of the straight body portion through the curved portion. As a result, there are provided the single-crystal silicon pulling silica container that can reduce defects called voids or pinholes in the pulled single-crystal silicon and a method for manufacturing such a silica container.

Abstract translation: 本发明提供一种单晶硅拉硅石容器，其包括由含有气泡的不透明石英玻璃制成的外层和由实质上不含有气泡的透明石英玻璃制成的内层; 所述容器还包括：底部，弯曲部分和直体部分，其中在所述内层的表面上从所述底部的至少一部分到所述直体部分的至少一部分通过所述内部部分形成连续的凹槽 弯曲部分。 结果，提供了可以减少拉制的单晶硅中的称为空洞或针孔的缺陷的单晶硅拉硅
石容器以及这种二氧化硅容器的制造方法。

公开(公告)号：US08441722B2

公开(公告)日：2013-05-14

申请号：US12369860

申请日：2009-02-12

Applicant: Ekaterina Burov ,  Alain Pastouret ,  Laurent Gasca ,  Christine Collet

Inventor： Ekaterina Burov ,  Alain Pastouret ,  Laurent Gasca ,  Christine Collet

IPC: H04B10/17 ,  G02B6/02

CPC classification number: H01S3/06754 ,  C03B37/01838 ,  C03B2201/34 ,  C03B2201/58 ,  C03C3/06 ,  C03C4/0071 ,  C03C4/10 ,  C03C4/12 ,  C03C13/045 ,  C03C14/004 ,  C03C14/006 ,  C03C2201/30 ,  C03C2201/32 ,  C03C2201/3476 ,  C03C2201/36 ,  C03C2203/40 ,  H01S3/06708 ,  H01S3/06716 ,  Y02P40/57

Abstract: An amplifier optical fiber comprising a central core of a dielectric matrix doped with at least one element ensuring the amplification of an optical signal transmitted in the fiber and a cladding surrounding the central core and suitable for confining the optical signal transmitted in the core. The fiber also comprises metallic nanostructures suitable for generating an electronic surface resonance in the dielectric matrix of central core, the wavelength of said electronic surface resonance corresponding to an excitation level of the element ensuring the amplification.

Abstract translation: 一种放大器光纤，包括掺杂有至少一个元件的介质矩阵的中心芯，确保在光纤中传输的光信号的放大和围绕中心纤芯的包层，并且适于限制在芯中传输的光信号。 纤维还包括适于在中心纤芯的电介质基质中产生电子表面共振的金属纳米结构，所述电子表面谐振的波长对应于确保放大的元件的激发电平。

公开(公告)号：US08039409B2

公开(公告)日：2011-10-18

申请号：US12904236

申请日：2010-10-14

Applicant: Kenta Saitou ,  Akio Koike ,  Mitsuhiro Kawata

Inventor： Kenta Saitou ,  Akio Koike ,  Mitsuhiro Kawata

IPC: C03C3/06 ,  C03C3/076

CPC classification number: C03C3/06 ,  C03B19/1453 ,  C03B2201/07 ,  C03B2201/23 ,  C03B2201/30 ,  C03B2201/42 ,  C03C3/076 ,  C03C4/0085 ,  C03C23/0095 ,  C03C2201/23 ,  C03C2201/30 ,  C03C2201/42 ,  C03C2203/44 ,  C03C2203/52 ,  Y02P40/57

Abstract: The present invention provides a TiO2-containing silica glass from which a transparent extremely low thermal expansion glass having excellent transparency and having a temperature region in which the coefficient of thermal expansion is substantially zero can be obtained. The present invention relates to a TiO2-containing silica glass for optical member for EUV lithography, having a TiO2 concentration of from 3 to 14% by mass; an internal transmittance per 1-mm thickness in a wavelength region of from 400 to 700 nm, T400-700, of 97% or more; and an internal transmittance per 1-mm thickness in a wavelength region of from 400 to 3,000 nm, T400-3,000, of 70% or more.

Abstract translation: 本发明提供一种含TiO 2的二氧化硅玻璃，可以得到透明度极高的透明性高且热膨胀系数基本上为零的温度区域的玻璃。 本发明涉及TiO 2浓度为3〜14质量％的用于EUV光刻用的光学部件的含TiO 2的二氧化硅玻璃， 在400〜700nm波长范围内，每1mm厚的内透射率，T400-700，97％以上; 在400〜3000nm的波长范围内，每1mm厚的内透射率，T400-3,000，70％以上。

公开(公告)号：US20110028299A1

公开(公告)日：2011-02-03

申请号：US12904236

申请日：2010-10-14

Applicant: Kenta SAITOU ,  Akio Koike ,  Mitsuhiro Kawata

Inventor： Kenta SAITOU ,  Akio Koike ,  Mitsuhiro Kawata

IPC: C03C3/04

CPC classification number: C03C3/06 ,  C03B19/1453 ,  C03B2201/07 ,  C03B2201/23 ,  C03B2201/30 ,  C03B2201/42 ,  C03C3/076 ,  C03C4/0085 ,  C03C23/0095 ,  C03C2201/23 ,  C03C2201/30 ,  C03C2201/42 ,  C03C2203/44 ,  C03C2203/52 ,  Y02P40/57

Abstract: The present invention provides a TiO2-containing silica glass from which a transparent extremely low thermal expansion glass having excellent transparency and having a temperature region in which the coefficient of thermal expansion is substantially zero can be obtained. The present invention relates to a TiO2-containing silica glass for optical member for EUV lithography, having a TiO2 concentration of from 3 to 14% by mass; an internal transmittance per 1-mm thickness in a wavelength region of from 400 to 700 nm, T400-700, of 97% or more; and an internal transmittance per 1-mm thickness in a wavelength region of from 400 to 3,000 nm, T400-3000, of 70% or more.

Abstract translation: 本发明提供一种含TiO 2的二氧化硅玻璃，可以得到透明度极高的透明性高且热膨胀系数基本上为零的温度区域的玻璃。 本发明涉及TiO 2浓度为3〜14质量％的用于EUV光刻用的光学部件的含TiO 2的二氧化硅玻璃， 在400〜700nm波长范围内，每1mm厚的内透射率，T400-700，97％以上; 在400〜3000nm的波长范围内，每1mm厚的内透射率为T400〜3000，为70％以上。

公开(公告)号：US20100329628A1

公开(公告)日：2010-12-30

申请号：US12805989

申请日：2010-08-27

Applicant: Stéphanie Blanchandin ,  Christine Collet ,  Alain Pastouret ,  Sophie De Monredon ,  Jean-Pierre Jolivet ,  Corinne Chaneac

Inventor： Stéphanie Blanchandin ,  Christine Collet ,  Alain Pastouret ,  Sophie De Monredon ,  Jean-Pierre Jolivet ,  Corinne Chaneac

IPC: G02B6/02 ,  C03B37/012

CPC classification number: C09K11/7701 ,  C03C3/06 ,  C03C4/0071 ,  C03C4/10 ,  C03C13/045 ,  C03C14/004 ,  C03C14/006 ,  C03C2201/20 ,  C03C2201/30 ,  C03C2201/3476 ,  H01S3/06716 ,  H01S3/06754 ,  H01S3/169

Abstract: The invention relates to an optical fibre comprising a gain medium which is equipped with: a core (22) which is formed from a transparent material and nanoparticles (24) comprising a doping element and at least one element for enhancing the use of said doping element; and an outer cladding (26) which surrounds the core. The invention is characterised in that the doping element is erbium (Er) and in that the enhancing element is selected from among antimony (Sb), bismuth (Bi) and a combination of antimony (Sb) and bismuth (Bi).According to the invention, one such fibre is characterised in that the size of the nanoparticles is variable and is between 1 and 500 nanometres inclusive, and preferably greater than 20 nm.

Abstract translation: 本发明涉及一种包括增益介质的光纤，该增益介质配备有：由透明材料形成的芯体（22）和包括掺杂元素的纳米颗粒（24），以及用于增强使用所述掺杂元素的至少一个元件 ; 以及围绕所述芯的外包层（26）。 本发明的特征在于掺杂元素是铒（Er），增强元素选自锑（Sb），铋（Bi）和锑（Sb）和铋（Bi）的组合。 根据本发明，一种这样的纤维的特征在于，纳米颗粒的尺寸是可变的，并且在1和500纳米之间，优选大于20纳米。

公开(公告)号：US20080103038A1

公开(公告)日：2008-05-01

申请号：US11962936

申请日：2007-12-21

Applicant: Mitsuhiro Kawata ,  Akira Takada ,  Hideaki Hayashi ,  Naoki Sugimoto ,  Shinya Kikugawa

Inventor： Mitsuhiro Kawata ,  Akira Takada ,  Hideaki Hayashi ,  Naoki Sugimoto ,  Shinya Kikugawa

IPC: C03C3/06 ,  C03C3/076

CPC classification number: C03C3/06 ,  C03C4/0085 ,  C03C2201/30 ,  C03C2201/42

Abstract: It is to obtain a silica glass suitable as a material for an optical material constituting an optical system to be used for EUVL, which has a low coefficient of thermal expansion from 0 to 100° C., and on which formation of concave defects is suppressed in a polishing step to achieve a high level of flatness. A silica glass containing from 0.1 to 10 mass % of Sn calculated as SnO2 and from 3 to 10 mass % of Ti calculated as TiO2, which has a homogeneity of the coefficient of thermal expansion from 0 to 100° C. to the temperature of from 50 to 200 ppb/° C., a coefficient of thermal expansion from 0 to 100° C. of 0±250 ppb/° C., and a Vickers hardness of at most 650.

Abstract translation: 获得适合作为构成用于EUVL的光学系统的光学材料的石英玻璃，其具有0至100℃的低热膨胀系数，并且其中凹陷缺陷的形成被抑制 在抛光步骤中达到高水平的平整度。 含有0.1〜10质量％的以SnO 2 2计的Sn和3〜10质量％的TiO 2计算的二氧化硅玻璃，其Ti均匀度为 热膨胀系数为0〜100℃，温度为50〜200ppb /℃，0〜100℃的热膨胀系数为0±250ppb /℃，Vickers 硬度至多650。

公开(公告)号：US06817211B2

公开(公告)日：2004-11-16

申请号：US10342717

申请日：2003-01-13

Applicant: John T. Brown ,  Stephen C. Currie ,  Lisa A. Moore ,  Susan L. Schiefelbein ,  Robert S. Pavlik, Jr.

Inventor： John T. Brown ,  Stephen C. Currie ,  Lisa A. Moore ,  Susan L. Schiefelbein ,  Robert S. Pavlik, Jr.

IPC: C03B2000

CPC classification number: G03F7/70216 ,  C03B19/1407 ,  C03B19/1415 ,  C03B19/1423 ,  C03B19/1453 ,  C03B37/01202 ,  C03B37/01406 ,  C03B37/01413 ,  C03B37/0142 ,  C03B37/0146 ,  C03B2201/07 ,  C03B2201/075 ,  C03B2201/12 ,  C03B2201/20 ,  C03B2201/21 ,  C03B2207/06 ,  C03B2207/14 ,  C03B2207/20 ,  C03B2207/30 ,  C03B2207/32 ,  C03B2207/36 ,  C03B2207/38 ,  C03B2207/40 ,  C03B2207/46 ,  C03B2207/54 ,  C03C3/06 ,  C03C4/0085 ,  C03C2201/12 ,  C03C2201/20 ,  C03C2201/21 ,  C03C2201/23 ,  C03C2201/30 ,  C03C2201/32 ,  C03C2203/54 ,  G03F1/60 ,  G03F7/70958 ,  Y02P40/57

Abstract: High purity direct deposit vitrified silicon oxyfluoride glass suitable for use as a photomask substrates for photolithography applications in the VUV wavelength region below 190 nm is disclosed. The inventive direct deposit vitrified silicon oxyfluoride glass is transmissive at wavelengths around 157 nm, making it particularly useful as a photomask substrate at the 157 nm wavelength region. The inventive photomask substrate is a dry direct deposit vitrified silicon oxyfluoride glass which exhibits very high transmittance in the vacuum ultraviolet (VUV) wavelength region while maintaining the excellent thermal and physical properties generally associated with high purity fused silica. In addition to containing fluorine and having little or no OH content, the inventive direct deposit vitrified silicon oxyfluoride glass suitable for use as a photomask substrate at 157 nm is also characterized by having less than 1×1017 molecules/cm3 of molecular hydrogen and low chlorine levels.

Abstract translation: 公开了适用于在190nm以下的VUV波长区域中用于光刻应用的光掩模基板的高纯度直接沉积玻璃化硅氧氟化物玻璃。 本发明的直接沉积玻璃化硅氧氟化物玻璃在157nm波长附近是透射的，使其特别适用于157nm波长区域的光掩模衬底。 本发明的光掩模基材是在真空紫外（VUV）波长区域中显示非常高的透射率的干直接沉积玻璃化硅氧氟化物玻璃，同时保持通常与高纯度熔融二氧化硅相关的优异的热和物理性能。 除了含氟并且具有很少或不具有OH含量之外，本发明的适用于157nm的光掩模衬底的玻璃化玻璃化氟氧化硅玻璃的特征还在于具有小于1×10 17分子/ cm 3的分子 氢和低氯水平。

公开(公告)号：US06667257B2

公开(公告)日：2003-12-23

申请号：US09967942

申请日：2001-10-02

Applicant: Brian J. Cole ,  Michael L. Dennis

Inventor： Brian J. Cole ,  Michael L. Dennis

IPC: C03C1304

CPC classification number: C03C3/095 ,  C03C3/06 ,  C03C13/046 ,  C03C2201/30 ,  C03C2201/3411 ,  C03C2201/347 ,  C03C2201/3482 ,  C03C2201/40 ,  H01S3/06716 ,  H01S3/1603 ,  H01S3/1698 ,  H01S3/17

Abstract: A modified silica glass composition for providing a reduction in the multiphonon quenching for a rare-earth dopant comprising: SiO2 in a host material; a rare-earth dopant; a first SiO2 modifier; and a second SiO2 modifier; such that said first modifier and said second modifier reduce multiphonon quenching of the rare-earth dopant contained therein.

Abstract translation: 一种改进的二氧化硅玻璃组合物，其用于减少稀土掺杂物的多谐振猝灭，其包括：主体材料中的SiO 2;稀土掺杂剂;第一SiO 2改性剂; 和第二SiO 2改性剂; 使得所述第一改性剂和所述第二改性剂减少其中所含的稀土掺杂剂的多谐振猝灭。

公开(公告)号：US20030205057A1

公开(公告)日：2003-11-06

申请号：US10034540

申请日：2001-12-21

Inventor： William P. Peters ,  Merrill F. Sproul ,  Daniel R. Sempolinski ,  Michael H. Wasilewski

IPC: C03B019/01

CPC classification number: C03B19/1407 ,  C03B19/1415 ,  C03B2201/07 ,  C03B2201/32 ,  C03B2207/32 ,  C03B2207/90 ,  C03C3/06 ,  C03C4/0071 ,  C03C4/0085 ,  C03C2201/30 ,  C03C2201/32

Abstract: Methods and apparatus for adding metals such as aluminum to fused silica glass articles are disclosed. The methods and apparatus allow for controlled, low level addition of metals into fused silica glass articles. The fused silica glass articles containing added aluminum exhibit improved internal transmission and decreased absorption change when irradiated with a laser.

Abstract translation: 公开了向熔融石英玻璃制品中添加铝等金属的方法和装置。 所述方法和装置允许将金属控制的低水平添加到熔融石英玻璃制品中。 含有加铝的熔融石英玻璃制品在用激光照射时表现出改善的内部透光性和降低的吸收变化。