-
公开(公告)号：CN117178352A
公开(公告)日：2023-12-05
申请号：CN202180093048.X
申请日：2021-12-24
Applicant: 东和株式会社
IPC: H01L21/677
Abstract: 本发明是减少加工装置的占据面积的装置，且包括：加工机构4，对密封完毕基板W进行加工；分类机构20，将经加工的密封完毕基板W分类至托盘21a～托盘21c；以及托盘移动机构24，使托盘21a～托盘21c移动，托盘移动机构24具有载置托盘21a～托盘21c的三个以上的托盘载置部241a～241c，且构成为三个以上的托盘载置部241a～241c配置成一列，并且能够沿着所述一列的方向相互独立地移动至基于分类机构20的分类位置X1。
-
公开(公告)号：CN116829308A
公开(公告)日：2023-09-29
申请号：CN202180093007.0
申请日：2021-12-24
Applicant: 东和株式会社
IPC: B24B47/22
Abstract: 本发明缩短对准动作所花费的时间，且本发明包括：切断用工作台2A、切断用工作台2B，保持设置有对准标记AM的密封完毕基板W并且能够旋转；切断机构4，将保持于切断用工作台2A、切断用工作台2B的密封完毕基板W切断；基准标记M1，设置于切断用工作台2A、切断用工作台2B，且与切断用工作台2A、切断用工作台2B的旋转中心RC的相对位置已知；以及摄像照相机24，拍摄基准标记M1及对准标记AM，使摄像照相机24相对于密封完毕基板W在一方向移动的同时拍摄对准标记AM，基于所拍摄的对准标记AM及基准标记M1，进行在一方向及与一方向正交的方向的密封完毕基板W与切断机构4的对准。
-
公开(公告)号：CN112828639A
公开(公告)日：2021-05-25
申请号：CN202011292571.9
申请日：2020-11-18
Applicant: 东和株式会社
Abstract: 本发明涉及一种刀片更换装置及切断系统。本发明对于不具有刀片的自动更换功能的切断装置，能够自动更换刀片，设为如下结构，包括：门扇开闭机构(21)，将使用刀片(61)来将切断对象物(W)切断的切断装置(10)的门扇(D)进行开闭；以及刀片更换机构(22)，在利用门扇开闭机构(21)来打开门扇(D)的状态下，更换刀片(61)；并且设置于切断装置(10)的外部。
-
公开(公告)号：CN116868314A
公开(公告)日：2023-10-10
申请号：CN202180093604.3
申请日：2021-12-23
Applicant: 东和株式会社
IPC: H01L21/301
Abstract: 本发明是减少加工装置的占据面积的装置，包括：基板收容部111，收容密封完毕基板W；切断用工作台2A、切断用工作台2B，通过切断机构4加工密封完毕基板W；接收台115，自基板收容部111接收密封完毕基板W；台移动机构117，具有用以使接收台115移动至搬送位置的移动轨道117a；第一保持机构3，为了将密封完毕基板W搬送至切断用工作台2A、切断用工作台2B而保持；以及搬送用移动机构7，具有用以使第一保持机构3在位于搬送位置的接收台115与切断用工作台2A、切断用工作台2B之间移动的传递轴71，传递轴71与移动轨道117a在平面视时相互正交。
-
公开(公告)号：CN116745042A
公开(公告)日：2023-09-12
申请号：CN202180090166.5
申请日：2021-12-23
Applicant: 东和株式会社
IPC: B08B3/02
Abstract: 本发明使装置结构简化并且减少占据面积，本发明包括：加工台2A、加工台2B，保持密封完毕基板W；第一保持机构3，为了将密封完毕基板W搬送至加工台2A、加工台2B而保持密封完毕基板W；加工机构4，对保持于加工台2A、加工台2B的密封完毕基板W进行加工；移载台5，移动多个制品P；第二保持机构6，为了将多个制品P自加工台2A、加工台2B搬送至移载台5而保持多个制品P；搬送用移动机构7，具有沿着加工台2A、加工台2B及移载台5的排列方向延伸且用于使第一保持机构3及第二保持机构6移动的共用的传递轴71；以及加工用移动机构8，使加工机构4在水平面上在沿着传递轴71的X方向及与X方向正交的Y方向分别移动。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN119768902A
公开(公告)日：2025-04-04
申请号：CN202380061616.7
申请日：2023-03-07
Applicant: 东和株式会社
IPC: H01L21/50 , H01L21/677
Abstract: 翘曲矫正系统具备翘曲矫正装置和中继部。翘曲矫正装置矫正第一已成形基板的翘曲，制造第二已成形基板。中继部配置在翘曲矫正装置的外部的加工装置与翘曲矫正装置之间。加工装置进行第二已成形基板的加工。中继部包括第一搬送机构，该第一搬送机构从翘曲矫正装置接收第二已成形基板，并向加工装置搬送第二已成形基板。
-
公开(公告)号：CN118159390A
公开(公告)日：2024-06-07
申请号：CN202280070353.1
申请日：2022-09-13
Applicant: 东和株式会社
Abstract: 切断装置接受从切断装置外部的供水设备供给的工艺水。切断装置具备切断部、供给部、检测部、调节部和控制部。切断部对切断对象物进行切断。供给部向切断对象物和切断部中的至少一个直接或间接地供给从供水设备供给的工艺水。检测部检测由供给部供给的工艺水的流量。调节部调节由供给部供给的工艺水的流量。控制部进行在切断对象物的切断之前基于干扰因素控制调节部的前馈控制和基于检测部的检测结果控制调节部以使检测结果接近目标值的反馈控制这两者。
-
公开(公告)号：CN116940442A
公开(公告)日：2023-10-24
申请号：CN202180093623.6
申请日：2021-12-23
Applicant: 东和株式会社
IPC: B24B45/00
Abstract: 本发明简化具有刀片更换机构的加工装置的装置结构，并且减少占据面积，且本发明包括：切断用工作台2A、切断用工作台2B，通过切断机构4将密封完毕基板W进行加工；切断用移动机构8，使切断机构4在水平面上在相互正交的第一方向及第二方向移动；以及刀片更换机构24，更换切断机构4的刀片41A、刀片41B，切断用移动机构8具有：沿着第一方向夹持切断用工作台2A、切断用工作台2B而设置的一对第一导轨811；以及支撑体812，沿着一对第一导轨811移动并且对切断机构4以能够沿着第二方向移动的方式予以支撑，刀片更换机构24具有：第一吸附部241a，吸附刀片41A、刀片41B；以及臂移动机构242，使第一吸附部241a在第二方向移动。
-
-
公开(公告)号：CN117316808A
公开(公告)日：2023-12-29
申请号：CN202310653639.9
申请日：2023-06-02
Applicant: 东和株式会社
IPC: H01L21/67 , H01L21/677 , H01L33/00 , H01L23/12
Abstract: 本发明提供一种能够改善已成形基板的加热效率且降低已成形基板破损的可能性的翘曲矫正装置。翘曲矫正装置具备收容部、加热部、冷却部以及搬送机构。收容部收容已成形基板。加热部对已成形基板进行加热。冷却部在对已成形基板加压的状态下对已成形基板进行冷却。搬送机构将从收容部提供的已成形基板向加热部搬送，将由加热部加热的已成形基板向冷却部搬送。加热部在形成于加热部的内部空间配置有已成形基板的状态下对已成形基板进行加热。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
12
records
(took 0.036 seconds)
