制造用于受激准分子激光的合成石英玻璃的方法

    公开(公告)号:CN101798168B

    公开(公告)日:2014-03-26

    申请号:CN201010138731.4

    申请日:2010-01-19

    Abstract: 本发明公开了一种制造用于受激准分子激光的合成石英玻璃的方法,该方法通过如下方式来制造上述合成石英玻璃:在靶上沉积氧化硅颗粒以形成多孔氧化硅母材,所述氧化硅颗粒通过使氧化硅原材料在真空烧结炉中的氢氧焰中气相水解或氧化分解得到;将所述多孔氧化硅母材玻璃化;并对玻璃化的材料进行热成型、退火处理及氢掺杂处理,其中多孔氧化硅母材的玻璃化包括:(a)在400℃以上、且低于900℃的温度范围,将真空压力保持在20.0Pa以下的步骤;(b)在900℃以上、且低于1100℃的温度范围,将真空压力保持在10.0Pa以下的步骤;及(c)在1100℃至透明玻璃化温度的温度范围,将真空压力保持在3.0Pa以下的步骤。

    二氧化硅容器及其制造方法

    公开(公告)号:CN102471125A

    公开(公告)日:2012-05-23

    申请号:CN201080030798.4

    申请日:2010-06-25

    Abstract: 本发明是一种二氧化硅容器的制造方法,其用以制造具备二氧化硅基体而构成的二氧化硅容器,该二氧化硅基体具有旋转对称性,其中,所述二氧化硅容器的制造方法,包含:暂时成型为规定形状的工序,该工序一边使具有减压用孔的外模框旋转,一边导入基体用原料粉(二氧化硅粒子)至外模框的内壁,而暂时成型为规定形状;及形成二氧化硅基体的工序,该工序从暂时成型体的内侧,供给通过除湿而制成规定的露点温度以下且含有氧气与惰性气体的混合气体,以将外模框内的气体进行换气,并调整外模框内的湿度,且一边将暂时成型体从外周侧进行减压,一边通过利用碳电极所实施的放电加热熔融法从暂时成型体的内侧进行加热,来将暂时成型体的外周部分制成烧结体,并将内侧部分制成熔融玻璃体。由此,提供一种二氧化硅容器的制造方法及该种二氧化硅容器,该制造方法是以主成分为二氧化硅的粉体作为主原料,而能以低成本制造出具有高尺寸精确度且碳和OH基含量极少的二氧化硅容器。

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