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    光計測評価方法及び光計測評価装置
    91.
    发明申请
    光計測評価方法及び光計測評価装置 审中-公开
    光学测量评估方法和光学测量评估装置

    公开(公告)号：WO2006051766A1

    公开(公告)日：2006-05-18

    申请号：PCT/JP2005/020410

    申请日：2005-11-08

    Applicant: 国立大学法人北海道大学 ,  戸田 泰則 ,  足立 智

    Inventor： 戸田 泰則 ,  足立 智

    IPC: G01N21/21 ,  G01B11/16 ,  G01J3/443 ,  G01J3/447

    CPC classification number: G01N21/636 ,  G01J3/447 ,  G01N21/21

    Abstract: 　高感度の光学異方性の評価技術を提供する。 　光計測評価装置Ａは、光パルスを発生する光パルス発生器１とハーフミラー３と第１のミラー５と第２のミラー７と第３のミラー９とリトロリフレクター１１と波長板１５と、ンズ１７と分光器２１と制御装置（ＰＣ）２３とを有する。光パルス発生器１から出射した光パルスＬ１は、ハーフミラー３において２つのパルス光Ｌ２とＬ３とに分離される。パルス光Ｌ２は、ミラー５及びミラー７により反射され（パルス光Ｌ４、Ｌ５）、光パルスの偏光を回転ステージ１５ａに設置した半波長位相板１５により回転し、レンズ１７により試料Ｓの表面上に焦点が合わされる（Ｌ８）。光パルスＬ３は、非同軸で入射光と平行な光を返すリトロリフレクター１１により反射され（Ｌ６）、ミラー９によって反射され、光パルスの偏光を回転ステージ１５ａに設置した半波長位相板１５により回転され、レンズ１７により上記Ｌ８と異なる光路Ｌ７により試料Ｓ上の同様の位置に焦点が合わされる。この際、２つの光パルスの略平行にそろえられた直線偏光を同時に回転して試料Ｓに照射する。光パルスＬ８に波数ｋ １ を光パルスＬ７に波数ｋ ２ をもたせることで四光波混合現象が起こる。等方的な薄膜に一軸歪等による非等方性の変化が存在すると、回折光（２ｋ ２ －ｋ １ ）の強度に大きな異方性が現れる。

    Abstract translation: 高灵敏度光学各向异性评估技术。 光学测量评估装置（A）包括用于产生光脉冲（1）的光脉冲发生器，半透明反射镜（3），第一反射镜（5），第二反射镜（7），第三反射镜（9） 后向反射器（11），波长板（15），透镜（17），光谱仪（21）和控制器（PC）（23）。 从光脉冲发生器（1）产生的光脉冲（L1）由半透射镜（3）分离为光脉冲（L2）和（L3）。 光脉冲（L2）由反射镜（5,7）（脉冲光（L4），（L5））反射，光脉冲的偏振由布置在旋转体上的半波相位板（15）旋转 （15a），并且通过透镜（17）（L8）将光脉冲聚焦到样品（S）的表面上。 光脉冲（L3）被后向反射器（11）反射（L6），返回与入射光平行的光并且被反射镜（9）反射，并且光脉冲的极化被半波相位旋转 布置在旋转台（15a）上的板（15），并且通过透镜（17）通过不同于（L8）的光路（L7）将光脉冲聚焦在样品（S）上的相似位置处。 样本（S）被基本并行布置并同时旋转的两个线偏振光脉冲照射。 当光脉冲（L8）被给予波数k <1> 1并且光脉冲（L7）被给予波数k 2时，发生四个光波混合现象。 。 当在各向同性薄膜中存在由于单轴应变引起的各向异性变化时，衍射光的强度（2k 2 -k 1 1）中出现显着的各向异性。

    IMAGING SPECTROMETER
    92.
    发明申请
    IMAGING SPECTROMETER 审中-公开
    成像光谱仪

    公开(公告)号：WO2003089890A1

    公开(公告)日：2003-10-30

    申请号：PCT/GB2003/001630

    申请日：2003-04-15

    Applicant: QINETIQ LIMITED ,  HARVEY, Andrew, Robert ,  FLETCHER-HOLMES, David, William

    Inventor： HARVEY, Andrew, Robert ,  FLETCHER-HOLMES, David, William

    IPC: G01J3/28

    CPC classification number: G01J4/04 ,  G01J3/2823 ,  G01J3/447 ,  G01J3/51

    Abstract: An imaging spectrometer (2) is disclosed that comprises imaging means for dividing a received image into two or more spatially separated spectral images and means for detecting each spectral image (4), and is characterised in that the imaging means comprises at least one polarising beam splitter (18, 20, 22; 64, 68, 72). The polarising beam splitter may be a Wollaston prism. In one embodiment of the invention, the imaging means comprises image replication means (12) to produce two or more spatially separated images, and one or more filter elements such as dichroic filters (8) which act to alter the spectral characteristics of one or more of the spatially separated images. In a further embodiment of the invention the imaging means comprises one or more spectral replication means arranged in optical series, each spectral replication means comprising an optical retardation element (62, 66, 70) and a polarising beam splitter (64, 68, 72).

    Abstract translation: 公开了一种成像光谱仪（2），其包括用于将接收到的图像分成两个或更多个空间分离的光谱图像的成像装置和用于检测每个光谱图像（4）的装置，其特征在于，成像装置包括至少一个偏振光束 分配器（18,20,22; 64,68,72）。 偏振分束器可以是Wollaston棱镜。 在本发明的一个实施例中，成像装置包括图像复制装置（12）以产生两个或多个空间上分离的图像，以及一个或多个过滤元件，例如二向色滤光器（8），其用于改变一个或多个 的空间分离图像。 在本发明的另一实施例中，成像装置包括以光学系列布置的一个或多个光谱复制装置，每个光谱复制装置包括光学延迟元件（62,66,70）和偏振分束器（64,68,72） 。

    FREE-SPACE OPTICAL SYSTEMS FOR WAVELENGTH SWITCHING AND SPECTRAL MONITORING APPLICATIONS
    93.
    发明申请
    FREE-SPACE OPTICAL SYSTEMS FOR WAVELENGTH SWITCHING AND SPECTRAL MONITORING APPLICATIONS 审中-公开
    用于波长切换和光谱监测应用的自由空间光学系统

    公开(公告)号：WO03025630A3

    公开(公告)日：2003-07-31

    申请号：PCT/US0230013

    申请日：2002-09-19

    Applicant: CAPELLA PHOTONICS INC

    Inventor： WILDE JEFFREY P ,  POLYNKIN PAVEL ,  TIMMONS MICHAEL J ,  GARRETT MARK H

    IPC: G01J3/02 ,  G01J3/14 ,  G01J3/18 ,  G01J3/28 ,  G01J3/36 ,  G01J3/433 ,  G01J3/447 ,  G02B5/18 ,  G02B5/30 ,  G02F1/13 ,  G02B6/28 ,  G02B6/26 ,  G02B6/34 ,  H04J14/02

    CPC classification number: G01J3/447 ,  G01J3/0224 ,  G01J3/2803 ,  G01J2003/2866

    Abstract: This invention provides a novel method and apparatus which use a wavelength-dispersing means such as a diffraction grating (220) to spatially separate a multi-wavelength optical signal along with a reference signal by wavelength into multiple spectral channels and a reference spectral component in a spectral array with a predetermined relative alignment. By aligning the reference spectral component at a predetermined location, the spectral channels simultaneously impinge onto designated locations, e.g., on an array of beam-receiving elements positioned in accordance with the spectral array. The reference spectral component may be further maintained at the predetermined location by way of servo-control (260), thereby ensuring that the spectral channels stay aligned at the designated locations. The present invention can be used to construct a new line of servo-based optical systems, including spectral power monitors and optical multiplexers/demultiplexers, for WDM optical networking applications.

    Abstract translation: 本发明提供了一种新颖的方法和装置，其使用诸如衍射光栅（220）的波长分散装置将多波长光信号与参考信号一起通过波长空间分离成多个频谱信道和参考频谱分量 光谱阵列具有预定的相对对准。 通过在预定位置对准参考光谱分量，光谱通道同时撞击到指定位置，例如在根据光谱阵列定位的波束接收元件的阵列上。 参考频谱分量可以通过伺服控制（260）进一步保持在预定位置，从而确保频谱信道在指定位置保持对准。 本发明可用于构建用于WDM光网络应用的基于伺服的光学系统的新系列，包括光功率监视器和光复用器/解复用器。

    OPTICAL SPECTRUM ANALYZER
    95.
    发明申请
    OPTICAL SPECTRUM ANALYZER 审中-公开
    光谱分析仪

    公开(公告)号：WO0150100A3

    公开(公告)日：2002-04-18

    申请号：PCT/CA0100003

    申请日：2001-01-04

    Applicant: EXFO ELECTRO OPTICAL ENG INC

    Inventor： HE GANG ,  GARIEPY DANIEL ,  SCHINN GREGORY WALTER

    IPC: G01J3/12 ,  G01J3/447 ,  G01J4/02

    CPC classification number: G01J3/12 ,  G01J3/447 ,  G01J4/02

    Abstract: An optical spectrum analyzer comprises a diffraction grating (DG), a polarization decomposing unit (PDM) for decomposing the input light beam into first and second light beams having mutually-perpendicular linear states of polarization, and two output ports (FP2/1, FP2/2) each for receiving from the grating, substantially exclusively, a respective one of the polarized light beams (LT, LR) after diffraction by the diffraction grating (DG). Each of the linearly-polarized light beams is directed onto the diffraction grating with its linear state of polarization at any prescribed angle to a corresponding plane of diffraction of the diffraction grating. The arrangement is such that the state of polarization of the light beams, at any particular wavelength within an operating band of the analyzer remains substantially unchanged with respect to time. The analyzer also may have a reflector (RAM) for reflecting the light beams leaving the diffraction grating after diffraction a first time so as to return them to the diffraction grating for diffraction a second time.

    Abstract translation: 光谱分析仪包括衍射光栅（DG），用于将输入光束分解成具有相互垂直的极化状态的第一和第二光束的偏振分解单元（PDM）和两个输出端口（FP2 / 1，FP2 / 2），每个用于在衍射光栅（DG）衍射之后从光栅接收基本上仅相应的一个偏振光束（LT，LR）。 每个线性偏振光束以与衍射光栅的相应衍射平面成任意规定角度的线性极化状态被引导到衍射光栅上。 该布置使得在分析器的工作频带内的任何特定波长处的光束的偏振状态相对于时间保持基本上不变。 分析仪还可以具有用于在第一次衍射之后反射离开衍射光栅的光束的反射器（RAM），以便第二次将它们返回到衍射光栅以进行衍射。

    SYSTEM FOR MEASURING POLARIMETRIC SPECTRUM AND OTHER PROPERTIES OF A SAMPLE
    96.
    发明申请
    SYSTEM FOR MEASURING POLARIMETRIC SPECTRUM AND OTHER PROPERTIES OF A SAMPLE 审中-公开
    测量极性光谱和样品的其他性质的系统

    公开(公告)号：WO0047961A9

    公开(公告)日：2001-10-25

    申请号：PCT/US0003290

    申请日：2000-02-09

    Applicant: KLA TENCOR CORP

    Inventor： LEE SHING ,  WANG HAIMING ,  NORTON ADAM ,  NIKOONAHAD MEHRDAD

    IPC: G01B11/06 ,  G01J3/447 ,  G01J4/02 ,  G01J4/04 ,  G01N21/21 ,  G01N21/41 ,  G01J4/00

    CPC classification number: G01J4/02 ,  G01J3/447 ,  G01N21/21

    Abstract: A polarized sample beam (12) of broadband radiation is focused onto the surface of a sample (3) and the radiation modified by the sample is collected by means of a mirror system (16) in different planes of incidence. The sample beam focused to the sample has a multitude of polarization states. The modified radiation is analyzed with respect to a polarization plane to provide a polarimetric spectrum. Preferably the polarization of the sample beam is altered only by the focusing and the sample, and the analyzing is done with respect to a fixed polarization plane. In the preferred embodiment, the focusing of the sample beam and the collection of the modified radiation are repeated employing two different apertures (30) to detect the presence or absence of a birefringence axis in the sample. In another preferred embodiment, the above-described technique may be combined with ellipsometry for determining the thickness and refractive indices of thin films.

    Abstract translation: 将宽带辐射的偏振样品束（12）聚焦到样品（3）的表面上，并且通过不同入射平面的反射镜系统（16）收集由样品改性的辐射。 聚焦到样品的样品束具有许多极化状态。 相对于偏振平面分析修改的辐射以提供偏振光谱。 优选地，样品光束的偏振仅由聚焦和样品改变，并且相对于固定的偏振平面进行分析。 在优选实施例中，采用两个不同的孔（30）来重复样品束的聚焦和修改的辐射的收集，以检测样品中双折射轴的存在或不存在。 在另一个优选实施例中，上述技术可以与用于确定薄膜的厚度和折射率的椭偏仪组合。

    제거형 가간섭성 반스토크스 라만 분광법을 이용한 광학장치
    99.
    发明公开
    제거형 가간섭성 반스토크스 라만 분광법을 이용한 광학장치 失效
    光学设备使用相同的反托拉斯拉曼光谱

    公开(公告)号：KR1020070059404A

    公开(公告)日：2007-06-12

    申请号：KR1020050118229

    申请日：2005-12-06

    Applicant: 한국표준과학연구원

    Inventor： 유용심 ,  이재용 ,  이은성

    IPC: G02B21/06 ,  G02B21/00

    CPC classification number: G02B21/088 ,  G01J3/4406 ,  G01J3/447 ,  G02B5/28

    Abstract: An optical apparatus using DCARS(Depletion Coherent Anti-Stokes Raman Spectroscopy) is provided to secure spatial resolving power below a diffraction limit by utilizing the DCARS adopting a laser beam of a doughnut mode, and to measure a sample without influence on the sample. An optical apparatus(100) using DCARS for observing a sample after expanding a micro part of the sample by irradiating the light to the sample is composed of a first optical device for generating the depletion light; a second optical device for generating the anti-stroke light; an optical system for mixing the depletion light and the anti-stroke light and then irradiating the mixed light to the sample; and a detector(190) for detecting the light reflected from the sample.

    Abstract translation: 提供了使用DCARS（消耗相干抗斯托克斯拉曼光谱）的光学装置，通过利用采用环形激光束的DCARS来确保低于衍射极限的空间分辨能力，并测量样品而不影响样品。 使用DCARS在通过向样品照射光使样品的微小部分扩展后观察样品的光学装置（100）由用于产生耗尽光的第一光学装置构成; 用于产生反冲程光的第二光学装置; 用于混合耗尽光和抗冲程光的光学系统，然后将混合光照射到样品上; 以及用于检测从样品反射的光的检测器（190）。

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