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公开(公告)号：CN107231818A
公开(公告)日：2017-10-03
申请号：CN201580050192.X
申请日：2015-09-18
Applicant: 等离子体应用有限公司
Inventor： 德米特里·亚莫利奇
CPC classification number: C23C14/30 , C23C14/32 , H01J3/025 , H01J37/32055 , H01J37/3233 , H01J37/32422 , H01J37/32449 , H01J37/32596 , H01J37/32816 , H01J37/34 , H01J37/3467 , H01J2237/06366 , H01J2237/3137 , H01J2237/332
Abstract: 一种虚拟阴极沉积装置，利用虚拟等离子体阴极产生高密度电子束以消融固体靶材。高压电脉冲电离气体产生的等离子体短时间出现在靶材前方，作为靶材附近的虚拟等离子体阴极。然后这种等离子体消失，允许被消融的靶材以等离子体羽流的形式流向衬底。多个虚拟阴极同时提供羽流以汇合成一个均匀的等离子体羽流，该等离子体羽流在附近的衬底上冷凝以导致大范围的均匀厚度薄膜的沉积。
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公开(公告)号：CN107146750A
公开(公告)日：2017-09-08
申请号：CN201710447769.1
申请日：2017-06-14
Applicant: 安徽华东光电技术研究所
Abstract: 本发明公开一种电子枪引线支架结构及其制造方法，电子枪引线支架结构包括绝缘子陶瓷(1)和角铁(3)，所述的绝缘子陶瓷(1)上设有若干个用于安装Mo‑Re合金丝(2)的孔，Mo‑Re合金丝(2)釉封在绝缘子陶瓷(1)上，且绝缘子陶瓷(1)的两端设有经金属化处理后的金属化层，金属化层上设有电镀镍层；角铁(3)通过钎焊的方式焊接到绝缘子陶瓷(1)的两端。具有上述结构的该种电子枪引线支架结构及其制造方法通过结构及工艺改进，保证引线支架结构具有焊接牢固度高、抗震动、电子枪装配尺寸更容易控制的优点，避免因整个阴极组件和/或角铁从阳极板上脱落而导致管子报废。
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公开(公告)号：CN106960773A
公开(公告)日：2017-07-18
申请号：CN201710271213.1
申请日：2017-04-24
Applicant: 深圳先进技术研究院
Abstract: 本发明涉及场致电子发射领域。为了解决场发射阴极测试与老化过程中电流发射稳定性等问题，本发明提供了一种场发射电子源装置，其包括二极式场发射电子源、真空腔、真空泵机组、高压电源、高压脉冲驱动单元、真空环境监测单元和控制平台。二极式场发射电子源设置于真空腔内，并且，高压电源和高压脉冲单元经真空腔法兰分别连接至二极式场发射电子源的阳极与阴极。控制平台经通讯线缆分别连接至高压电源、真空环境监测单元以及高压脉冲驱动单元。本发明通过对场发射电压进行反馈补偿，从而实现发射电流的稳定控制，具有较强的实用性。本发明还提供了一种利用该装置控制场发射阴极测试与老化过程中电流稳定性的方法。
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公开(公告)号：CN106816349A
公开(公告)日：2017-06-09
申请号：CN201710012788.1
申请日：2017-01-09
Applicant: 中国科学院物理研究所
IPC: H01J3/02
Abstract: 本发明提供一种光阴极超快电子枪，其中，所述阴极为轴对称结构，包括第一圆柱形侧面、圆形底面以及连接所述第一圆柱形侧面和所述圆形底面的第一连接面，所述圆形底面的中心具有通光孔，以及所述圆形底面的外侧具有用于容纳金属膜的圆形凹槽，所述阳极为轴对称结构，包括圆形顶面、第二圆柱形侧面、圆环形底面、以及连接所述圆形顶面和所述第二圆柱形侧面的第二连接面，所述圆环形底面从所述第二圆柱形侧面的下边缘径向向外延伸，所述圆形顶面中心具有通孔，所述第一连接面具有圆形倒角，以及所述第二连接面具有椭圆形倒角。
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公开(公告)号：CN106601573A
公开(公告)日：2017-04-26
申请号：CN201710060856.1
申请日：2017-01-25
Applicant: 中国科学技术大学
Abstract: 本发明提供一种电磁辐射源，利用电子枪产生环形电子注，利用靠近电子枪一侧的第一光栅使所述电子枪产生的环形电子注产生预群聚，利用靠近与电子枪对应的收集极一侧的第二光栅使群聚的电子团产生相干的特异史密斯‑帕赛尔(Smith‑Purcell)辐射，辐射频率为电子团群聚频率的5到6倍，该辐射频率在太赫兹频段，特异史密斯‑帕赛尔辐射的电磁辐射强度比普通史密斯‑帕赛尔辐射强度高一到两个数量级，因而利用该方法能够产生具有高辐射频率和高辐射强度的太赫兹频段的电磁波。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103620726B
公开(公告)日：2016-12-28
申请号：CN201280029981.1
申请日：2012-06-27
Applicant: 利乐拉瓦尔集团及财务有限公司
Abstract: 本发明涉及具有设置有出射窗的主体的电子束装置，所述主体形成或至少部分地形成真空室，所述真空室包括在其中的阴极外壳（112）和至少一个电子产生丝状体（120）。至少一种吸气器片（124）布置在阴极外壳（112）和所述丝状体120）之间。本发明还包括用于在电子束装置中的吸气器片（124），以及制造包括该至少一个吸气器片的电子束装置的方法。
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公开(公告)号：CN106158552A
公开(公告)日：2016-11-23
申请号：CN201610670248.8
申请日：2016-08-15
Applicant: 北京英徽科技有限公司
Abstract: 本发明提供了一种碳纳米管阵列与吸光材料复合的场发射电子源，所述电子源包括激发光源和电极，所述电极包括导电基体以及由碳纳米管组成的阵列，碳纳米管阵列生长在所述导电基体上；在所述碳纳米管上生长用于吸收光子产生的能量活电子的吸光材料，所述吸光材料将所述碳纳米管固定于所述导电基体上。本发明场发射电子源利用连续激光或者超快激光照射碳纳米管诱导发射电流，降低了电流发射开启电压，提高了工作效率。
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公开(公告)号：CN105874555A
公开(公告)日：2016-08-17
申请号：CN201480071807.2
申请日：2014-12-22
Applicant: 迈普尔平版印刷IP有限公司
CPC classification number: H01J37/3174 , G03F7/70058 , H01J1/15 , H01J1/28 , H01J3/027 , H01J3/029 , H01J37/075 , H01J37/3177 , H01J2229/481 , H01J2237/061
Abstract: 本发明涉及一种阴极配置(20)，其包括：热离子阴极，其包括发射部分(30)和贮存器(38)，该发射部分设置有用于发射电子的发射表面，该贮存器用于保留材料，其中，该材料在受热时释放功函数降低微粒，这些功函数降低微粒朝该发射部分扩散并且以第一蒸发速率从该发射表面处发出；聚焦电极(40)，其包括聚焦表面，用以聚焦从该阴极的发射表面处被发射的电子；以及可调整的热源(50)，其被配置成用以保持该聚焦表面在可防止功函数降低微粒累积在该聚焦表面上的温度。
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公开(公告)号：CN103376343B
公开(公告)日：2015-11-04
申请号：CN201210132572.6
申请日：2012-04-28
Applicant: 中国科学院电子学研究所
Abstract: 本发明公开了一种用于强流电子注分析仪的可移动极间距电子枪系统，包括一个主真空腔体和位于主真空腔体内的电子枪，所述主真空腔体横向水平安置。所述电子枪系统还包括一个同心轴组件，其从所述主真空腔体的后端水平插入，并且，其一端位于所述主真空腔体内，另一端延伸于所述主真空腔体)外。所述电子枪包括一个阳极、一个阴极和一个栅极，且所述阴极和所述栅极安装在所述同心轴组件上。本发明可以实现强流电子枪系统各电极之间距离在热测过程中独立调节，可以通过优化实验设计得到最佳电子枪系统几何参数，这比目前分析器电子枪系统成百倍地节省时间、人力、物力。并且，本发明的电子枪可加到100kV，并能横向接入大型强流电子注分析仪中使用。
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