公开(公告)号：CN106463322B

公开(公告)日：2018-06-26

申请号：CN201580026256.2

申请日：2015-05-22

Applicant: 科磊股份有限公司

Inventor： 江欣荣 ,  韩立群

IPC: H01J37/05 ,  H01J49/28

CPC classification number: H01J37/26 ,  H01J37/05 ,  H01J37/06 ,  H01J37/10 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/057

Abstract: 一个实施例涉及一种双威恩过滤器单色器。第一威恩过滤器使电子束聚焦于第一平面中，同时使所述电子束在第二平面中平行。狭缝开口允许所述电子束的具有在能量范围内的能量的电子通过，同时阻挡所述电子束的具有在所述能量范围之外的能量的电子。第二威恩过滤器使所述电子束聚焦以变得在所述第一平面中平行，同时使所述电子束在所述第二平面中平行。还揭示其它实施例、方面及特征。

公开(公告)号：CN106663582A

公开(公告)日：2017-05-10

申请号：CN201580044598.7

申请日：2015-08-19

Applicant: 瓦里安半导体设备公司

Inventor： 常胜武 ,  克里斯多夫·鲁波利 ,  威廉·戴维斯·李 ,  法兰克·辛克莱 ,  詹姆斯·皮克斯利

IPC: H01J37/05 ,  H01J37/30 ,  H01J37/317 ,  H05H5/06

CPC classification number: H01J37/3007 ,  H01J37/08 ,  H01J37/3171 ,  H01J2237/0473 ,  H01J2237/0815 ,  H05H5/063

Abstract: 本发明揭示一种具有改进的性能的串列式加速器和离子植入机。所述串列式加速器包含多个输入电极、多个输出电极和安置在其间的高电压端子。高电压端子包含去除管。中性分子注射到去除管中，这从传入的负离子束移除电子。所得正离子朝向所述多个输出电极加速。为减小退出去除管的非所要正离子的量，偏置电极安置在去除管的入口和出口处。偏置电极以大于施加到端子的第一电压的第二电压偏置。偏置电极排斥缓慢移动的正离子，从而防止其退出去除管和污染工件。

公开(公告)号：CN106653542A

公开(公告)日：2017-05-10

申请号：CN201510710240.5

申请日：2015-10-28

Applicant: 北京中科信电子装备有限公司

Inventor： 林萍

IPC: H01J37/317 ,  H01J37/05

CPC classification number: H01J37/3171 ,  H01J37/05

Abstract: 本发明公开了一种新型宽束流减速器，包括一减速电极(1)、两个抑制电极1(2)、两个地电极1(3)、两个抑制电极2(4)、两个地电极2(5)、两个聚焦电极(6)和两个地电极3(7)，离子通过减速电极(1)进入减速器，在减速电极(1)和抑制电极1(2)之间的电势差产生一个加速电场，离子加速，同时聚焦电极(6)与抑制电极1(2)之间的电势差形成了一个水平方向电场，此电场方向使离子向里靠拢，达到水平方向离子聚焦作用。随后是两个抑制电极2(4)、两个地电极1(3)和两个地电极2(5)构成透镜，根据透镜原理，离子在穿过透镜过程中，离子先聚焦后发散，通过减速器之后既达到减速目的，离子又起到聚焦作用。本发明装置与以往装置相比，宽束流垂直方向聚焦效果更好，并且减少了打火次数，能很好满足宽带束束流要求。

公开(公告)号：CN104106123B

公开(公告)日：2016-08-17

申请号：CN201380004763.7

申请日：2013-01-14

Applicant: 艾克塞利斯科技公司

Inventor： 爱德华·艾伊斯勒 ,  伯·范德伯格

IPC: H01J37/317 ,  H01J37/05 ,  H01J37/16

CPC classification number: H01J37/147 ,  G01K5/00 ,  H01J37/05 ,  H01J37/16 ,  H01J37/3171 ,  H01J2237/0213 ,  H01J2237/022 ,  H01J2237/31705

Abstract: 本发明涉及用于减少能量杂质的方法及装置，可用于粒子注入的束线组合。突出部包括表面区域及其间槽部的突出部可面向束线组合内从工件角度观察的视线域内的中性原子轨迹。突出部可使中性原子轨迹的路线变作远离工件或引起其它轨迹，用于在击中工件前进一步撞击，并由此对敏感度更佳的注入进一步减少能量杂质。

公开(公告)号：CN102468104B

公开(公告)日：2015-11-18

申请号：CN201110354511.X

申请日：2011-11-10

Applicant: FEI公司

Inventor： A.亨斯特拉

IPC: H01J37/05 ,  H01J37/153 ,  H01J37/09

CPC classification number: H01J37/05 ,  H01J37/06 ,  H01J37/08 ,  H01J37/09 ,  H01J37/26 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/0453 ,  H01J2237/053 ,  H01J2237/057 ,  H01J2237/31713

Abstract: 本发明公开了带有集成静电能量过滤器的带电粒子源。本发明涉及带有集成能量过滤器的带电粒子过滤器。其中所用的大部分过滤器具有高度弯曲的光轴，且因此使用具有难以制造的形式的部件，根据本发明的该源使用在直光轴周围的电极。令人吃惊的是，本发明者发现，倘若电极（114,116,120,122）中的一些形成为120°/60°/120°/60°，很可能使带电粒子束106a偏转离轴线104相当远，示出在能量选择狭缝108处显著的能量扩散，而不引入不能矫正的彗差或像散。这些电极能通过胶合或钎焊陶瓷而附连到彼此，且然后可例如通过火花腐蚀而形成高度同心的孔。

公开(公告)号：CN102549704B

公开(公告)日：2015-09-09

申请号：CN201080043248.6

申请日：2010-08-31

Applicant: 迪特马尔·丰内曼

Inventor： 迪特马尔·丰内曼

IPC: H01J37/05

CPC classification number: H01J37/05 ,  H01J37/252 ,  H01J2237/053 ,  H01J2237/0535 ,  H01J2237/24485

Abstract: 本发明涉及带电粒子影像能量过滤器，其具有带入口平面和出口平面的环状能量分析器，优选地具有半球状分析器。为了提供影像能量过滤器以及具有这样的影像能量过滤器的分光计，其具有更高水平的位置和角度分辨率，且可以更大的接受角度操作，根据本发明提出：提供用于带电粒子的镜子部件，且其被如此设置以使通过出口平面离开环状能量分析器的带电粒子由该镜子部件被反射回该环状能量分析器，从而该带电粒子又一次在相反进行方向穿过环状能量分析器。

公开(公告)号：CN101563750B

公开(公告)日：2014-08-06

申请号：CN200780043233.8

申请日：2007-09-26

Applicant: 瓦里安半导体设备公司

Inventor： 维克多·本夫尼斯特

IPC: H01J37/317 ,  H01J37/05

CPC classification number: H01J37/3171 ,  H01J37/05 ,  H01J2237/004 ,  H01J2237/028 ,  H01J2237/04756

Abstract: 本发明公开一种用于改善离子植入的技术。在一特定例示性实施例中，可如下来实现所述技术，一种离子植入系统包括：离子源，用于产生离子束；质量分析器，用于从离子束中的离子粒子中选择所要离子种类；离子减速器，经配置以减少离子束中的离子的能量；终端站，用于支撑将利用来自离子束的离子进行植入的至少一工件；以及中性粒子分离器，经配置以在离子束到达离子减速器之前从离子束中移除带中性电荷的粒子。

公开(公告)号：CN103311083A

公开(公告)日：2013-09-18

申请号：CN201210425493.4

申请日：2012-10-30

Applicant: 日新离子机器株式会社

Inventor： 井内裕

IPC: H01J37/317 ,  H01J37/05

Abstract: 本发明提供一种离子注入装置，与以往的技术相比，能够容易地调整分辨率。离子注入装置（IM）包括：离子源（1），当将行进方向定为Z方向并将与Z方向实际上垂直的两个方向定为X方向和Y方向时，产生X方向的尺寸比Y方向的尺寸大的带状离子束（2）；质量分析磁铁（3），具有至少一个螺线管线圈（4）；以及分析狭缝（5），在XZ平面上，由螺线管线圈（4）产生的磁场（B）的方向与入射进质量分析磁铁（3）的离子束（2）的行进方向倾斜交叉。

公开(公告)号：CN102549704A

公开(公告)日：2012-07-04

申请号：CN201080043248.6

申请日：2010-08-31

Applicant: 迪特马尔·丰内曼

Inventor： 迪特马尔·丰内曼

IPC: H01J37/05

CPC classification number: H01J37/05 ,  H01J37/252 ,  H01J2237/053 ,  H01J2237/0535 ,  H01J2237/24485

Abstract: 本发明涉及带电粒子影像能量过滤器，其具有带入口平面和出口平面的环状能量分析器，优选地具有半球状分析器。为了提供影像能量过滤器以及具有这样的影像能量过滤器的分光计，其具有更高水平的位置和角度分辨率，且可以更大的接受角度操作，根据本发明提出：提供用于带电粒子的镜子部件，且其被如此设置以使通过出口平面离开环状能量分析器的带电粒子由该镜子部件被反射回该环状能量分析器，从而该带电粒子又一次在相反进行方向穿过环状能量分析器。

公开(公告)号：CN101952703A

公开(公告)日：2011-01-19

申请号：CN200880126701.2

申请日：2008-12-17

Applicant: 布鲁克机械公司

Inventor： 葛拉多·A·布鲁克尔

IPC: G01L21/34 ,  G01N27/62 ,  H01J37/05 ,  H01J41/04 ,  G01L21/30

CPC classification number: G01L21/34 ,  G01N27/64 ,  H01J41/06

Abstract: 一种离子计包括电子产生器阵列，所述电子产生器阵列包括微通道板，所述微通道板包括：所述微通道板的电子产生部分，其包含用于产生种子电子的源；和所述微通道板的电子倍增器部分，其回应于所述电子产生部分所产生的所述种子电子而倍增电子。所述离子计包括：离子化容积，在其中所述电子撞击气态物质；和收集电极，用于收集通过所述电子与所述气态物质之间的撞击形成的离子。所述收集电极可由阳极围绕，或所述离子计可形成有多个收集电极。电子源可提供自发的电子发射，其中电子被级联地倍增。