公开(公告)号：KR1020120130815A

公开(公告)日：2012-12-04

申请号：KR1020110048804

申请日：2011-05-24

Applicant: 한국과학기술연구원

Inventor： 최지원 ,  윤석진 ,  김진상 ,  강종윤 ,  장호원 ,  김윤회

IPC: C04B35/04 ,  C04B35/64

CPC classification number: C23C14/08 ,  C23C14/3464 ,  C23C14/5806

Abstract: PURPOSE: A dielectric thin film for low-temperature processing and a manufacturing method thereof are provided to have high dielectric constant and to lower dielectric loss and leakage current. CONSTITUTION: A dielectric thin film for low-temperature processing has the following formula. The formula is as follows: TaxMg1-xO. In the formula, x indicates 0.082

Abstract translation: 目的：提供一种用于低温处理的电介质薄膜及其制造方法，其具有高介电常数和降低介质损耗和漏电流。 构成：用于低温处理的电介质薄膜具有以下公式。 公式如下：TaxMg1-xO。 在公式中，x表示0.082 <= x <= 0.89。 通式的x为0.35 <= x <= 0.50或0.80 <= x <= 0.89。 介电薄膜在室温下沉积至350度。 摄氏度。 电介质薄膜在沉积后比沉积温度高的温度进行热处理。 电介质薄膜在300-380℃进行热处理。 电介质薄膜的制造方法包括以下步骤：在室温至350℃的沉积温度下将具有TaxMg1-xO组成的薄膜沉积。 摄氏度。

公开(公告)号：KR101104306B1

公开(公告)日：2012-01-11

申请号：KR1020090058242

申请日：2009-06-29

Applicant: 한국과학기술연구원

Inventor： 김진상 ,  윤석진 ,  강종윤 ,  최지원

IPC: G01N27/12 ,  G01N27/00

Abstract: 본 개시에서는, 절연 기판을 제공하는 단계; 상기 절연 기판 상에 온도 감응용 물질층을 형성하는 단계; 상기 온도 감응용 물질층을 패터닝하여 온도 감응막을 형성하는 단계; 상기 온도 감응막 상에 절연막을 형성하는 단계; 상기 전열막 상에 전도성 산화물 층을 형성하는 단계; 상기 전도성 산화물 막을 패터닝하여 복수개의 전극 패턴 어레이를 형성하는 단계; 상기 복수개의 전극 패턴 어레이 상에 복수개의 가스 감응막을 다층으로 형성하는 단계; 및 상기 복수개의 가스 감응막을 선택적으로 식각하여 상기 복수개의 전극 패턴 어레이의 각각 위에 가스 감응막 어레이 - 상기 가스 감응막 어레이는 적어도 하나의 가스 감응막을 포함함 - 를 형성하는 단계를 포함하는 센서 어레이 제조 방법을 제공한다.
산화물 온도센서, 가스센서, 산화물 절연막, 전도성 산화물, 어레이

公开(公告)号：KR1020110109109A

公开(公告)日：2011-10-06

申请号：KR1020100028684

申请日：2010-03-30

Applicant: 한국과학기술연구원

Inventor： 장호원 ,  윤석진 ,  김진상 ,  강종윤 ,  최지원 ,  문희규

IPC: B82B3/00

Abstract: 고분자 미세 구형체를 이용하여 제작된 공허 반구체 형태의 3차원 구조 산화물 박막 가스 센서는 기존의 평면 박막 가스 센서에 비해 2~4배 정도 높은 감응도를 나타낸다. 이렇게 2~4배 정도의 감응도 향상을 가지는 이유는 공허 반구체 형태의 3차원구조 산화물 박막에서 그 표면적이 평면 박막에 비해 2~4배이기 때문이다. 다시 말해서 표면적 증가가 그에 상응하는 감응도 향상으로 나타나게 된 것이다. 하지만, 공허 반구체 형태의 산화물 박막 가스 센서가 고감도 유해공기차단 시스템이나 환경모니터링 시스템에 이용되기 위해서는 2~4배 보다 더 큰 감응도 향상이 필요한 실정이다. 가령 산화물 나노입자 구형체를 이용하면 평면 박막 가스 센서 대비 5배 이상의 감응도 향상을 가져올 수 있다. 본 발명에서는 간단한 플라즈마 처리를 이용하여 공허 반구체 산화물 박막의 나노구조 형상을 제어하고 이를 통해 가스 센서 박막의 감응도를 획기적으로 향상시켰다. 본 발명에서 개발된 나노구조 공허 반구체 TiO
2 가스 센서는 종래에 보고된 TiO
2 가스 센서보다 더 높은 CO 가스 감응도와 빠른 응답속도 및 회복 속도를 보여준다.

公开(公告)号：KR101059750B1

公开(公告)日：2011-08-26

申请号：KR1020090083182

申请日：2009-09-03

Applicant: 한국과학기술연구원

Inventor： 윤석진 ,  송현철 ,  최지원 ,  강종윤 ,  김진상

IPC: H01L41/187 ,  C04B35/505 ,  C04B35/453

Abstract: 본 발명은 (1) 바인더 및 마찰 분쇄된 세라믹 입자를 포함하는 압전 세라믹 입자를 함유하는 페이스트를 준비하는 단계; (2) 상부 표면에 하부 전극이 형성되어 있는 기판 상에 상기 페이스트를 스크린 프린팅하는 단계; (3) 상기 스크린 프린팅된 페이스트로부터 바인더를 제거하는 단계; 및 (4) 바인더가 제거된 기판을 어닐링하는 단계를 포함하는 압전 세라믹 후막의 제조 방법을 제공한다. 또한, 상기 단계 (3)의 전 또는 후에, 냉간 등방향 정압 프레스(CIP) 단계 (3')을 더 포함하는 것인 압전 세라믹 후막의 제조 방법을 제공한다.
압전 후막, 압전 세라믹 입자, 냉간 등방향 정압 프레스, 스크린 프린팅, 마찰 분쇄, 급속열처리

Abstract translation: （1）制备含有压电陶瓷颗粒的糊剂，该压电陶瓷颗粒包含粘合剂和摩擦研磨的陶瓷颗粒; （2）将糊剂丝网印刷在其上表面上形成有下电极的基板上; （3）从丝网印刷的糊中除去粘合剂; （4）对除去了粘合剂的基板进行退火，本发明还提供一种压电陶瓷厚膜的制造方法。 该方法还包括在步骤（3）之前或之后进行冷等静压（CIP）（3'）的步骤。

公开(公告)号：KR1020110064863A

公开(公告)日：2011-06-15

申请号：KR1020090121617

申请日：2009-12-09

Applicant: 한국과학기술연구원

Inventor： 김진상 ,  윤석진 ,  강종윤 ,  최지원 ,  장호원

IPC: H01L35/24 ,  H01L21/205 ,  B82B3/00

CPC classification number: H01L35/34 ,  H01L35/02 ,  H01L35/12

Abstract: PURPOSE: A method for manufacturing a nano-structured compound thermoelectric semiconductor by a metal organic chemical vapor deposition method is provided to economically increase a thermoelectric index of a thermoelectric element. CONSTITUTION: A metal organic compound precursor is transferred to a reaction tube(S01). The metal organic compound precursor is thermally decomposed(S02). The thermally decomposed precursor is crystallized by a nano size unit(S03). The crystallized precursor is applied on a substrate to form a thin film or a thick film(S04).

Abstract translation: 目的：提供一种通过金属有机化学气相沉积法制造纳米结构化合物热电半导体的方法，以经济地增加热电元件的热电指数。 构成：将金属有机化合物前体转移至反应管（S01）。 金属有机化合物前体被热分解（S02）。 热分解的前体通过纳米尺寸单元（S03）结晶。 将结晶的前体施加在基板上以形成薄膜或厚膜（S04）。

公开(公告)号：KR1020110015713A

公开(公告)日：2011-02-17

申请号：KR1020090073069

申请日：2009-08-10

Applicant: 한국과학기술연구원

Inventor： 최지원 ,  윤석진 ,  송현철 ,  김진상 ,  강종윤 ,  김미로

IPC: C04B35/495 ,  C04B35/468 ,  C04B35/47

CPC classification number: H01L41/1873 ,  C04B35/465 ,  C04B35/495 ,  C04B35/62615 ,  C04B35/6262 ,  C04B35/62655 ,  C04B35/645 ,  C04B2235/442 ,  C04B2235/604 ,  H01L41/1871

Abstract: PURPOSE: A method for manufacturing Pb-free piezoelectric ceramic is provided to improve sinterability, crytallien property, and piezoelectric characteristic. CONSTITUTION: A Pb-free piezoelectric ceramic has perovskite structure of chemical formula 1. A method for manufacturing the Pb-free piezoelectric ceramic comprises: a step of mixing Na_2CO_3, K_2CO_3, Nb_2O_5, BaCO_3, SrCO_3 and TiO2; a step of pulverizing by ball milling and drying; a step of calcining at 600-1100°C for 1-10 hours; a step of re-pulverizing calcinated powder by ball-milling or attrition milling; a step of drying the powder and pressing; and a step of sintering at 900-1200°C for 1-8 hours.

Abstract translation: 目的：提供无铅压电陶瓷的制造方法，以提高烧结性，凝固性和压电特性。 无铅压电陶瓷具有化学式1的钙钛矿结构。无铅压电陶瓷的制造方法包括：将Na 2 CO 3，K 2 CO 3，Nb 2 O 5，BaCO 3，SrCO 3和TiO 2混合的步骤; 通过球磨和干燥粉碎的步骤; 在600-1100℃下煅烧1-10小时的步骤; 通过球磨或研磨研磨再次粉碎煅烧粉末的步骤; 干燥粉末并压制的步骤; 在900-1200℃下烧结1-8小时的步骤。

公开(公告)号：KR1020100037992A

公开(公告)日：2010-04-12

申请号：KR1020080097375

申请日：2008-10-02

Applicant: 한국과학기술연구원

Inventor： 윤석진 ,  송현철 ,  강종윤 ,  김진상

IPC: H03H9/24 ,  H03H3/08

CPC classification number: H01L41/1136

Abstract: PURPOSE: By comparing to the cantilever structure of being general and a lot multiplying the effective area the high efficiency piezoelectricity energy harvest time having spiral structure a lot improves the energy conversion efficiency. CONSTITUTION: A substrate(201) is proceed the elastic role. In order to draw out the energy it electrical, the first electrode(202) is evaporated in substrate. The piezoelectric element(203) is evaporated in the first electrode. The piezoelectric element changes the mechanical energy into the energy it electrical. The piezoelectric element has the spiral structure. The piezoelectric element has the outer vibrator and the natural frequency canning be resonated. The second electrode(204) is evaporated in the piezoelectric element in order to draw out the energy it electrical as described above.

Abstract translation: 目的：通过与一般的悬臂结构相比，有效面积乘以螺旋结构的高效压电能量采集时间大大提高了能量转换效率。 构成：衬底（201）进行弹性作用。 为了排出电能，第一电极（202）在衬底中蒸发。 压电元件（203）在第一电极中蒸发。 压电元件将机械能改变为电能的能量。 压电元件具有螺旋结构。 压电元件具有外部振动器，并且固有频率罐头可以谐振。 第二电极（204）在压电元件中蒸发，以便如上所述地抽出其电能。

公开(公告)号：KR1020090012736A

公开(公告)日：2009-02-04

申请号：KR1020070076822

申请日：2007-07-31

Applicant: 한국과학기술연구원

Inventor： 윤석진 ,  김현재 ,  정대용 ,  강종윤 ,  송현철

IPC: H01L41/314 ,  H01L41/253 ,  H01L41/187

CPC classification number: H01L41/1876 ,  H01L41/314 ,  H01L41/43

Abstract: A manufacturing method of the piezoelectric element is provided to prevent the oxidation of the metallic board while heightening the flexibility of piezoelectric. A manufacturing method of the piezoelectric element comprises the formation step of a bottom electrode(30); the formation step of the powder paste; the formation step of the thin film(10) of the powder paste; the formation step of the upper electrode(40); the performance step of the rapid thermal processing; and the performance step of the polarization. The bottom electrode is formed on the metallic(20). The upper electrode is formed on the thin-film of the powder paste.

Abstract translation: 提供了压电元件的制造方法，以防止金属板的氧化，同时提高压电的柔性。 压电元件的制造方法包括：底电极（30）的形成工序。 粉末糊的形成步骤; 粉末糊料的薄膜（10）的形成步骤; 上电极（40）的形成步骤; 快速热处理的性能步骤; 和极化的表现步骤。 底部电极形成在金属（20）上。 上部电极形成在粉末糊状物的薄膜上。

公开(公告)号：KR100809367B1

公开(公告)日：2008-03-05

申请号：KR1020070015122

申请日：2007-02-14

Applicant: 한국과학기술연구원

Inventor： 강종윤 ,  김현재 ,  윤석진 ,  조광환 ,  이칠형

IPC: H01L21/324

CPC classification number: H01L21/67098 ,  H01L21/324 ,  H01L21/67017

Abstract: A tube-furnace for improving ferroelectricity of a ferroelectric thin film by applying electric field with heat treatment and a method for improving ferroelectricity of the ferroelectric thin film using the same are provided to prevent increase of a surface roughness of the ferroelectric thin film. A pair of electrodes(12) are installed in a tube-furnace(1) so as to apply electric filed during a thermal treatment. A rotatable sample holder(13) fixes a thin sample located between the electrodes. A gas inlet(14) and a gas outlet(15) are prepared on the tube-furnace. The tube-furnace has a T-shape. The sample holder has a lode-lock shape and rotates for 360 degrees. A cross section of the electrode is greater than a total size of the thin sample fixed by the sample holder and electric field is applied to the whole surface of the thin sample.

Abstract translation: 为了防止铁电薄膜的表面粗糙度的增加，提供了一种用于通过施加电场进行热处理来提高铁电薄膜的铁电性的管式炉和提高使用其的强电介质薄膜的铁电性的方法。 一对电极（12）安装在管式炉（1）中，以便在热处理期间施加电场。 可旋转的样品保持器（13）固定位于电极之间的薄样品。 在管式炉上制备气体入口（14）和气体出口（15）。 管式炉具有T形。 样品架具有锁定形状并旋转360度。 电极的横截面大于由样品保持器固定的薄样品的总尺寸，并且电场施加到薄样品的整个表面。

公开(公告)号：KR100698439B1

公开(公告)日：2007-03-22

申请号：KR1020050074712

申请日：2005-08-16

Applicant: 한국과학기술연구원

Inventor： 김진상 ,  윤석진 ,  강종윤 ,  김달영

IPC: G01N27/12

Abstract: 본 발명은 휘발성 물질 감지용 표면탄성파 가스센서에 관한 것으로서, 티타늄을 감응물질로 사용하여 제작된 본 발명에 따른 표면탄성파 가스센서는 기존의 표면탄성파 가스센서에 비해 감응막 형성 공정이 용이할 뿐만 아니라 아세톤, 에탄올, 메탄올 등과 같은 휘발성 물질에 대해 감도 및 내구성이 매우 우수하여 실내공기 오염도 측정이나 환경 모니터링 등에 유리하게 이용될 수 있다.
표면탄성파, 가스센서, 위상변화, 감응물질, 휘발성 물질, 압전기판

Abstract translation: 本发明涉及一种表面声波气体传感器，用于感测挥发性材料，根据通过使用钛敏感材料制造的本发明的表面声波气体传感器是比传统的表面声波气体传感器不仅敏感容易形成处理膜 并且对丙酮，乙醇，甲醇等挥发性物质具有优异的灵敏度和耐久性，因此可以有利地用于室内空气污染测量和环境监测。