Abstract:
본 발명은 고유전율 캐패시터에 관한 것으로, 캐패시터 물질로 유전체 세라믹-수지 복합체를 이용하고, 이 복합체 내부에 바늘 형태의 내부 전극을 형성하여 고유전율을 구현하였다. 캐패시터 코아 표면의 파워 전극 및 그라운드 전극으로부터 코아 물질 내부로 연장되는 바늘 형태의 내부 전극을 형성하고 바늘 형태의 전극 크기와 간격을 조절함으로써 MLCC에 필적하는 정전용량을 갖는 고유전율 캐패시터를 고온에서의 소성과정 없이 얻을 수 있으며, 특히 세라믹-수지 복합체를 이용함으로써 소성 과정을 필요로 하지 않아 전극 물질에 대한 제한을 완화시킬 수 있다. 적층형 세라믹 캐패시터, 세라믹-수지 복합체, 정전 용량
Abstract:
본 발명은 이동자를 2차원 평면 내에서 임의의 방향으로 구동시킬 수 있는 전방향성 초음파 압전 액츄에이터 시스템을 제공하는 것을 목적으로 하며, 이 목적을 달성하기 위해 본 발명은, 교류 전계의 인가에 의해 종방향 진동을 발생시키기 위한 제1 반파장 공진기와, 제1 반파장 공진기에 인가된 교류 전계와 90°의 위상차를 갖는 교류 전계의 인가에 의해 종방향 진동을 발생시키기 위한 제2 반파장 공진기와, 제1 및 제2 반파장 공진기를 연결하는 제1 진동빔을 구비하는 제1 액츄에이터와; 교류 전계의 인가에 의해 종방향 진동을 발생시키기 위한 제3 반파장 공진기와, 제3 반파장 공진기에 인가된 교류 전계와 90°의 위상차를 갖는 교류 전계의 인가에 의해 종방향 진동을 발생시키기 위한 제4 반파장 공진기와, 제1 액츄에이터의 진동빔에 교차 결합하며 제3 및 제4 반파장 공진기를 연결하는 제2 진동빔을 구비하는 제2 액츄에이터와; 제1 액츄에이터와 제2 액츄에이터의 진동빔의 교차 부분에 결합되며, 이동대상체를 마찰 구동시키기 위한 구동 부재를 포함하는 전방향성 초음파 압전 액츄에이터 시스템을 제공한다. 압전 세라믹스, 초음파 모터, 교류 전계, 교차형 진동빔, 전방향 구동
Abstract:
본 발명은 고유전율 캐패시터에 관한 것으로, 캐패시터 물질로 유전체 세라믹-수지 복합체를 이용하고, 이 복합체 내부에 바늘 형태의 내부 전극을 형성하여 고유전율을 구현하였다. 캐패시터 코아 표면의 파워 전극 및 그라운드 전극으로부터 코아 물질 내부로 연장되는 바늘 형태의 내부 전극을 형성하고 바늘 형태의 전극 크기와 간격을 조절함으로써 MLCC에 필적하는 정전용량을 갖는 고유전율 캐패시터를 고온에서의 소성과정 없이 얻을 수 있으며, 특히 세라믹-수지 복합체를 이용함으로써 소성 과정을 필요로 하지 않아 전극 물질에 대한 제한을 완화시킬 수 있다. 적층형 세라믹 캐패시터, 세라믹-수지 복합체, 정전 용량
Abstract:
본 발명은 휘발성 물질 감지용 표면탄성파 가스센서에 관한 것으로서, 티타늄을 감응물질로 사용하여 제작된 본 발명에 따른 표면탄성파 가스센서는 기존의 표면탄성파 가스센서에 비해 감응막 형성 공정이 용이할 뿐만 아니라 아세톤, 에탄올, 메탄올 등과 같은 휘발성 물질에 대해 감도 및 내구성이 매우 우수하여 실내공기 오염도 측정이나 환경 모니터링 등에 유리하게 이용될 수 있다. 표면탄성파, 가스센서, 위상변화, 감응물질, 휘발성 물질, 압전기판
Abstract:
A conductive nitride representing magnetic property in room temperature and a method for manufacturing the same are provided to improve the efficiency of a spin implantation by growing TiN to which a transition metal is added through ion implantation, sputtering, or MBE(Molecular Beam Epitaxy). A transition metal, such as Cr, Mn, Fe, Co, Ni, and Cu, is doped by 1 - 10 at% into a conductive nitride such as TiN, TaN, NbN, and ZrN. In case a voltage is applied, a current is linearly changed at a junction of TiN/GaN. This represents that a general ohmic contact is formed at an interface of a metal and a semiconductor instead of a Schottky barrier when an interface is formed between the conductive nitride and the semiconductor. Therefore, an electron moves smoothly through the TiN so that the loss of data, for example, the change of a spin state of the electron. The conductive nitride to which the transition metal is added increases the efficiency of a spin implantation.
Abstract:
본 발명은 전자빔으로 조절된 강유전체 박막의 분역이 분극방향에 따라 식각속도가 다르다는 점을 이용하여 강유전체 나노점을 제작하는 방법에 관한 것이다. 본 발명에 의하면, 직접 전자빔 조사(direct e-beam writing) 방식을 채용하여 강유전체 나노점 형성과정에서 필수적이라고 여겨지던 ER을 사용할 필요가 없으므로, 강유전체 기억매체의 제작과정이 간단해진다. 또한, ER의 존재 때문에 나빠졌던 전자빔의 분해능이 향상되어 10 nm 이하의 분해능을 가진 식각이 가능해진다. 강유전체, 나노점, 식각, 분극, 기억매체.
Abstract:
PURPOSE: A Bi thin film fabrication method is provided to fabricate a Bi thin film having a very big magnetoresistance property at room temperature by an electrodeposition method and a sputtering method, thereby being applicable to various spin electron elements. CONSTITUTION: By applying a current having a range of 1-100mA to a Bi solution at room temperature, a Bi thin film is formed on a substrate through an electrodeposition method with a deposition rate of 0.1-10micrometer/min. The fabricated Bi thin film has more than 600% of magnetoresistance ratio at room temperature when a 9T magnetic field is applied. Before depositing the Bi thin film, a Pt or Au under layer is deposited on the substrate with a thickness of 50-500 angstrom.
Abstract:
본 발명은 자연 산화막이 형성된 실리콘 기판과, 상기 기판 상에 형성된 하부 전극과, 상기 하부 전극 상에 형성된 페로브스카이트 산화물 박막과, 그리고 상기 페로브스카이트 산화물 박막 상에 형성된 상부 박막을 포함하는 저항변화 기억소자용 박막 구조물을 제공한다. 본 발명에 따르면, ReRAM 소자용 박막 구조를 개선함으로써 집적화가 용이하고 On/Off 저항변화비율이 향상되어 ReRAM 소자의 응용성 및 활용성을 극대화시킬 수 있다. 저항변화 기억소자(ReRAM), 실리콘 기판, On/Off 저항변화비율
Abstract:
본 발명은 휘발성 물질 감지용 표면탄성파 가스센서에 관한 것으로서, 티타늄을 감응물질로 사용하여 제작된 본 발명에 따른 표면탄성파 가스센서는 기존의 표면탄성파 가스센서에 비해 감응막 형성 공정이 용이할 뿐만 아니라 아세톤, 에탄올, 메탄올 등과 같은 휘발성 물질에 대해 감도 및 내구성이 매우 우수하여 실내공기 오염도 측정이나 환경 모니터링 등에 유리하게 이용될 수 있다. 표면탄성파, 가스센서, 위상변화, 감응물질, 휘발성 물질, 압전기판
Abstract:
본 발명은 자연 산화막이 형성된 실리콘 기판과, 상기 기판 상에 형성된 하부 전극과, 상기 하부 전극 상에 형성된 페로브스카이트 산화물 박막과, 그리고 상기 페로브스카이트 산화물 박막 상에 형성된 상부 박막을 포함하는 저항변화 기억소자용 박막 구조물을 제공한다. 본 발명에 따르면, ReRAM 소자용 박막 구조를 개선함으로써 집적화가 용이하고 On/Off 저항변화비율이 향상되어 ReRAM 소자의 응용성 및 활용성을 극대화시킬 수 있다. 저항변화 기억소자(ReRAM), 실리콘 기판, On/Off 저항변화비율