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    微小可動機構及び可変容量コンデンサ
    131.
    发明申请
    微小可動機構及び可変容量コンデンサ 审中-公开
    精密移动机构和可变电容器

    公开(公告)号：WO2013108705A1

    公开(公告)日：2013-07-25

    申请号：PCT/JP2013/050282

    申请日：2013-01-10

    Applicant: アルプス電気株式会社

    Inventor： 村田　眞司

    IPC: H01G5/16 ,  B81B3/00

    CPC classification number: B81B3/0037 ,  B81B2201/0221 ,  B81B2203/053 ,  H01G5/16 ,  H01G5/18

    Abstract: 【課題】大きな可変範囲を有する微小可動機構及び可変容量コンデンサを提供することを目的としている。 【解決手段】本発明の微小可動機構１は、固定部１０に対して間隔を設けて配置された第１の可動部２０と、第１の連結部２１に連結されたリンク部４０と、第２の連結部３１を備える第２の可動部３０と、支点部５０と、を有し、リンク部４０は支点部５０を支点として回動可能に設けられ、第１の連結部２１と支点部５０との距離よりも、第２の連結部３１と支点部５０との距離が長くなる位置に設けられた、ことを特徴とする。

    Abstract translation: [问题]提供一种可变电容器和具有可变范围大的精细移动机构。 [解决方案]这种微动机构（1）的特征在于设有一个第一可移动单元（20），该第一可移动单元（20）以一定间隔从固定单元（10），连接单元（40） 21），具有第二联接单元（31）的第二可移动单元（30）和支点单元（50），其中，所述连杆单元（40）设置成允许以支点单元（50）为旋转 并且设置在第二联接单元（31）和支点单元（50）之间的距离比第一联接单元（21）和支点单元（50）之间的距离长的位置。

    電子デバイスとその製造方法
    132.
    发明申请
    電子デバイスとその製造方法 审中-公开
    电子设备及其制造方法

    公开(公告)号：WO2012131911A1

    公开(公告)日：2012-10-04

    申请号：PCT/JP2011/057848

    申请日：2011-03-29

    Applicant: 富士通株式会社 ,  豊田 治

    Inventor： 豊田　治

    IPC: H01G5/16 ,  B81B3/00 ,  B81C1/00 ,  H01G5/01 ,  H01L29/84 ,  H01L41/08

    CPC classification number: F03G7/065 ,  B81B3/0072 ,  B81B3/0086 ,  B81B2201/016 ,  B81B2201/0221 ,  C25D7/00 ,  H01G5/16 ,  H01H59/0009 ,  H01H2001/0084 ,  H01L41/0926 ,  H01L41/0933 ,  H01L41/0973 ,  H01L41/318 ,  H02N1/006

    Abstract: 【課題】電子デバイスとその製造方法において、周囲の温度変化により電子デバイスの電気的特性が変動するのを抑制すること。 【解決手段】絶縁性基板３１と、絶縁性基板３１の上に形成された電極３３と、電極３３の上方に設けられ、該電極３３から発生する静電力により撓む弾性変形可能な可動上部電極３４とを備え、可動上部電極が形状記憶合金膜３８を含む電子デバイスによる。

    Abstract translation: 在电子设备和电子设备的制造方法中，抑制由于环境温度的变化引起的电子设备的电气特性的波动。 [解决方案]该电子设备设置有：绝缘基板（31）; 形成在绝缘基板（31）上的电极（33）; 并且设置在电极（33）上方的可动上电极（34）可弹性变形，并由于由电极（33）产生的静电力而翘曲。 可移动上电极包括形状记忆合金膜（38）。

    VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER MEMS-VORRICHTUNG MIT HOHEM ASPEKTVERHÄLTNIS, SOWIE WANDLER UND KONDENSATOR
    134.
    发明申请
    VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER MEMS-VORRICHTUNG MIT HOHEM ASPEKTVERHÄLTNIS, SOWIE WANDLER UND KONDENSATOR 审中-公开
    一种用于生产MEMS器件具有高纵横比，和变压器和电容

    公开(公告)号：WO2012020132A1

    公开(公告)日：2012-02-16

    申请号：PCT/EP2011/063974

    申请日：2011-08-12

    Applicant: ÖSTERREICHISCHE AKADEMIE DER WISSENSCHAFTEN (ÖAW) ,  TECNET EQUITY NÖ TECHNOLOGIEBETEILIGUNGS-INVEST GMBH ,  SACHSE, Matthias

    Inventor： SACHSE, Matthias

    IPC: B81C99/00 ,  H01G5/16

    CPC classification number: B81C1/00619 ,  B81B2201/0221 ,  B81B2201/033 ,  B81B2203/051 ,  G01C19/5733 ,  G01P15/125 ,  H01G5/16 ,  H02N1/008

    Abstract: Vorgestellt wird eine Methode zur Herstellung mikrostrukturierter Vorrichtungen für Mikro-Elektro-Mechanische-Systeme (MEMS). Zur Vergrößerung des maximalen Aspektverhältnisses bedingt durch physikalische oder chemische Mikrostrukturierungsmethoden, wird vorgeschlagen, relativ zueinander beweglich strukturierte flächige Elemente der Vorrichtung von einer ersten relativen Bezugslage zueinander (Strukturierungsposition) lateral in eine zweite Bezugslage (Betriebsposition) dauerhaft oder irreversibel überzuführbar zu gestalten. Dadurch können zwischen strukturierten Wandabschnitten höhere Grabenkapazitäten gebildet werden. Die Bezugslagenänderung kann durch integrierte Antriebe oder Energiezuführung von außen ermöglicht werden, und erfolgt in einer von der Messrichtung wesentlich unterschiedlichen Richtung. Neben mechanischer Arbeit, Energie aus elektrischen oder magnetischen Feldern, kann Wärme zur Ortsverschiebung in Antrieben durch die Kraftwirkung auf ein Element oder hervorgerufene Längenänderungen dienen. Dieses Verfahren ermöglicht die Herstellung hochsensitiver Sensoren für kleinste Anregungssignale oder die Herstellung von sparsamen Aktuatoren mit äußerst hohem Wirkungsgrad in Form von dämpfungsarmen, flächenoptimierten, hoch-kapazitiven Wandlern, sowie einstellbare Vertikalkondensatoren mit hoher Kapazität.

    Abstract translation: 一种方法，提出了一种用于制造用于微机电系统（MEMS）的微结构化的设备。 增加最大纵横比因（操作位置），所以建议可相对于所述装置的从第一相对基准位置（结构化的位置）侧向地在第二基准位置的每个结构化表面元件彼此以使永久地或不可逆地überzuführbar物理或化学微结构的方法。 其特征在于严重更高的容量可以在结构化壁部分之间形成。 基准位置可以由集成驱动器的改变，或电源成为可能从外部，并且在从所述测量方向基本上不同的处理。 除了从电场或磁场的机械功能，热，用于通过对一个项目或在长度上引起的变化的力作用在驱动器空间移都可以使用。 该方法使得能够对最小的激励信号产生高度敏感的传感器，或生产经济的致动器与低损耗，面积优化，高电容换能器的形式的非常高的效率，以及可调节的垂直电容器具有高容量。

    Electrostatic actuator, variable capacitance capacitor, electric switch, and method for driving electrostatic actuator
    140.
    发明授权
    Electrostatic actuator, variable capacitance capacitor, electric switch, and method for driving electrostatic actuator 有权

    公开(公告)号：US09912255B2

    公开(公告)日：2018-03-06

    申请号：US14391433

    申请日：2012-04-09

    Applicant: Koji Hanihara

    Inventor： Koji Hanihara

    IPC: H01G5/16 ,  H02N1/00 ,  B81B3/00 ,  H01H59/00

    CPC classification number: H02N1/006 ,  B81B3/001 ,  B81B2201/0221 ,  H01G5/16 ,  H01H59/00 ,  H01H2059/0072

    Abstract: An electrostatic actuator includes: a fixed driving electrode that is disposed on a silicon substrate; a movable driving electrode that is disposed so as to face the fixed driving electrode and approaches the fixed driving electrode with an electrostatic force generated between the movable driving electrode and the fixed driving electrode; and a pair of spacers that comes in contact with the movable driving electrode in an approaching state in which the fixed driving electrode and the movable driving electrode approach each other and forms a prescribed air gap between the fixed driving electrode and the movable driving electrode, wherein each of the spacers has a spacer electrode portion that comes in contact with the movable driving electrode via an insulator and has the same potential as one of the electrodes at least in the approaching state.

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