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公开(公告)号：CN111981976B
公开(公告)日：2022-08-02
申请号：CN202010271789.X
申请日：2020-04-08
Applicant: 东和株式会社
Abstract: 本发明提供一种保持构件、检查机构、切断装置、保持对象物的制造方法及保持构件的制造方法。保持构件能够高精度地进行由多个吸附孔各自吸附保持的保持对象物的边缘检测。本发明的保持构件保持多个保持对象物用于光学检查，包括：保持部，设置有吸附保持所述保持对象物的多个吸附孔、及配置在多个所述吸附孔之间的槽；以及反射部，设置在所述槽，反射率比所述保持部高；且所述反射部具有平坦的表面。
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公开(公告)号：CN113021179A
公开(公告)日：2021-06-25
申请号：CN202011516859.X
申请日：2020-12-21
Applicant: 东和株式会社
Abstract: 本发明提供一种研削机构及研削装置。本发明在对于研削对象物的粗研削及精研削中使平坦度一定，包括：多个平台(2)，将板状的研削对象物(W)加以保持；至少一个粗研削部(4)，对研削对象物(W)进行粗研削；以及至少一个精研削部(5)，对研削对象物(W)进行精研削；并且在多个平台(2)的每一个上，粗研削部(4)及精研削部(5)构成为能够移动。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113021104A
公开(公告)日：2021-06-25
申请号：CN202011517322.5
申请日：2020-12-21
Applicant: 东和株式会社
Abstract: 本发明提供一种研削机构及研削装置。本发明在对于研削对象物的粗研削及精研削中使平坦度一定，包括：平台(2)，将板状的研削对象物(W)加以保持；平台移动部(3)，使平台(2)沿着一方向而在规定的范围内进行直线往复移动；粗研削部(4)，在利用平台移动部(3)的研削对象物(W)的移动范围内移动，对研削对象物(W)进行粗研削；以及精研削部(5)，在利用平台移动部(3)的研削对象物(W)的移动范围内移动，对研削对象物(W)进行精研削。
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公开(公告)号：CN105551996B
公开(公告)日：2019-01-25
申请号：CN201510516440.7
申请日：2015-08-21
Applicant: 东和株式会社
Abstract: 本发明提供一种切断装置及切断方法。在切断装置中，切实地去除附着在切断后基板的表面上的污垢。在切断装置中，在清洗机构(10)设置擦洗机构(12)、喷洗机构(13)和干燥机构(14)。擦洗机构(12)能够驱动，并在擦洗机构(12)的前端部安装海绵部件(22)。向海绵部件(22)供给清洗水。使放置有切断后基板(9)的切断用工作台(4)在清洗机构(10)的下方直线移动，通过擦洗机构和喷洗机构清洗切断后基板。通过包含清洗水的海绵部件物理擦除附着在切断后基板的表面上的切屑和树脂渣等。通过从喷洗机构(13)喷射出的清洗水(26)去除切屑和树脂渣等。通过组合由擦洗机构进行的清洗和由喷洗机构进行的清洗，能够实现有效的清洗。
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公开(公告)号：CN105551996A
公开(公告)日：2016-05-04
申请号：CN201510516440.7
申请日：2015-08-21
Applicant: 东和株式会社
CPC classification number: H01L21/67092 , H01L21/78
Abstract: 本发明提供一种切断装置及切断方法。在切断装置中，切实地去除附着在切断后基板的表面上的污垢。在切断装置中，在清洗机构(10)设置擦洗机构(12)、喷洗机构(13)和干燥机构(14)。擦洗机构(12)能够驱动，并在擦洗机构(12)的前端部安装海绵部件(22)。向海绵部件(22)供给清洗水。使放置有切断后基板(9)的切断用工作台(4)在清洗机构(10)的下方直线移动，通过擦洗机构和喷洗机构清洗切断后基板。通过包含清洗水的海绵部件物理擦除附着在切断后基板的表面上的切屑和树脂渣等。通过从喷洗机构(13)喷射出的清洗水(26)去除切屑和树脂渣等。通过组合由擦洗机构进行的清洗和由喷洗机构进行的清洗，能够实现有效的清洗。
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