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公开(公告)号：CN100573801C
公开(公告)日：2009-12-23
申请号：CN200580029412.7
申请日：2005-09-01
Applicant: 电子线技术院株式会社
IPC: H01J37/04
CPC classification number: H01J37/04 , G11B7/261 , H01J2237/0245 , H01J2237/04924 , H01J2237/1205 , H01J2237/1503 , H01J2237/2817 , H01J2237/3175
Abstract: 本发明提供了一种用于电子柱的运动设备，该运动设备提供了发射电子束的电子柱与其上照射电子束的样本之间的相对运动。该运动设备包括：用于将电子束发射到样本上的多微柱；用于支撑该多微柱的支架；以及用于驱动该支架以移动该多微柱的驱动装置。
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公开(公告)号：CN101322218A
公开(公告)日：2008-12-10
申请号：CN200680045633.8
申请日：2006-12-05
Applicant: 电子线技术院株式会社
IPC: H01J37/147
CPC classification number: H01J37/12 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , H01J37/3174
Abstract: 本发明涉及用于在产生电子束的电子柱中改善聚焦的方法。根据本发明的用于控制电子束的聚焦的方法减小了当电子束到达试件时该电子束的光斑大小，从而能够提高分辨率并能够减小半导体光刻处理中的图案的线宽，由此能够改善电子的性能。
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公开(公告)号：CN101243531A
公开(公告)日：2008-08-13
申请号：CN200680029989.2
申请日：2006-08-18
Applicant: 电子线技术院株式会社
Inventor： 金浩燮
IPC: H01J37/147
CPC classification number: H01J37/3174 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , H01J37/063 , H01J2237/06375 , H01J2237/1205 , H01J2237/28
Abstract: 本发明涉及一种有效改变产生电子束的电子柱中的电子束的能量的方法。该方法包括以下步骤：向电极额外地施加电压，使得所述电子束最终具有所期望的能量，从而当所述电子束到达样本时，能够自由地控制所述能量。
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公开(公告)号：CN101189537A
公开(公告)日：2008-05-28
申请号：CN200680019662.7
申请日：2006-05-29
Applicant: 电子线技术院株式会社
IPC: G02B3/00
CPC classification number: H01J3/18 , H01J3/26 , H01J37/12 , H01J2237/0492 , H01J2237/1205
Abstract: 本发明提供一种具有简单结构的微柱。本发明涉及一种包括电子发射源和透镜的电子柱，更具体地涉及一种具有可便于对准和组装电子发射源和透镜的结构的电子柱。根据本发明的具有电子发射源和透镜单元的电子柱的特征在于：所述透镜单元包括两个以上的透镜层，并执行源透镜功能和聚焦功能。此外，所述电子柱的特征在于：所述透镜单元包括一个以上的偏转器型透镜层，从而附加地执行偏转器功能。
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公开(公告)号：CN101010774A
公开(公告)日：2007-08-01
申请号：CN200580029412.7
申请日：2005-09-01
Applicant: 电子线技术院株式会社
IPC: H01J37/04
CPC classification number: H01J37/04 , G11B7/261 , H01J2237/0245 , H01J2237/04924 , H01J2237/1205 , H01J2237/1503 , H01J2237/2817 , H01J2237/3175
Abstract: 本发明提供了一种用于电子柱的运动设备，该运动设备提供了发射电子束的电子柱与其上照射电子束的样本之间的相对运动。该运动设备包括：用于将电子束发射到样本上的多微柱；用于支撑该多微柱的支架；以及用于驱动该支架以移动该多微柱的驱动装置。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1830053A
公开(公告)日：2006-09-06
申请号：CN200480021502.7
申请日：2004-07-24
Applicant: 电子线技术院株式会社
Inventor： 金浩燮
IPC: H01J37/26
CPC classification number: H01J37/12 , H01J9/18 , H01J37/28 , H01J2237/1205 , H01J2237/31774
Abstract: 本发明提供了一种制造具有多个微透镜和多个在所述微透镜之间交替间隔的绝缘层的微柱的透镜部件的方法。所述方法包括通过将绝缘层(101)和微透镜(102)阳极接合在一起而形成至少一个第一微透镜部件组(set_1)；将第二微透镜部件组(set_2)分层堆积在所述第一微透镜部件组(set_1)上；以及扫描激光束，从而将所述第一微透镜部件组(set_1)焊接到所述第二微透镜部件组(set_2)的微透镜。本发明的方法进一步包括将所述微透镜部件组阳极接合在一起。
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公开(公告)号：CN101233444B
公开(公告)日：2010-12-08
申请号：CN200680028006.3
申请日：2006-07-31
Applicant: 电子线技术院株式会社
Inventor： 金浩燮
IPC: G02F1/13
CPC classification number: G09G3/006 , G02F1/1303 , G02F1/1309 , G02F2001/136254 , G02F2203/69 , G09G3/3648 , H01J37/28 , H01J2237/2817
Abstract: 本发明提供一种利用微柱检验精细图案和形态的检验设备。本发明的检验设备可对不能利用传统光学检验设备进行检验的精细电路进行检验。此外，本发明可快速检验面积相对较大的显示器，并可具有精确检验功能和修复功能。本发明的检验设备包括多个微柱、结合有所述微柱的杆以及检测器，所述杆沿与对象运动方向垂直的方向布置，所述检测器用于检测从微柱辐射到对象上的电子束以确定对象的电路中是否存在故障。
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公开(公告)号：CN101743607A
公开(公告)日：2010-06-16
申请号：CN200880024514.3
申请日：2008-07-28
Applicant: 电子线技术院株式会社
Inventor： 金浩燮
IPC: H01J1/304
CPC classification number: H01J37/065 , H01J37/073 , H01J2237/0492 , H01J2237/06341 , H01J2237/1205 , H01J2237/28 , H01J2237/3175
Abstract: 本发明涉及一种具有纳米结构针尖的电子发射体，以及使用该电子发射体的电子柱。具体而言，涉及一种电子发射体，其包括可容易地发射出电子的纳米结构针尖，该纳米结构针尖由纳米碳管(CNT)、氧化锌纳米管(ZnO纳米管)、氧化锌纳米棒、氧化锌纳米柱、氧化锌纳米线、氧化锌纳米粒子等等所组成；以及涉及使用该电子发射体的电子柱。
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公开(公告)号：CN1830053B
公开(公告)日：2010-06-02
申请号：CN200480021502.7
申请日：2004-07-24
Applicant: 电子线技术院株式会社
Inventor： 金浩燮
IPC: H01J37/26
CPC classification number: H01J37/12 , H01J9/18 , H01J37/28 , H01J2237/1205 , H01J2237/31774
Abstract: 本发明提供了一种制造具有多个微透镜和多个在所述微透镜之间交替间隔的绝缘层的微柱的透镜部件的方法。所述方法包括通过将绝缘层(101)和微透镜(102)阳极接合在一起而形成至少一个第一微透镜部件组(set_1)；将第二微透镜部件组(set_2)分层堆积在所述第一微透镜部件组(set_1)上；以及扫描激光束，从而将所述第一微透镜部件组(set_1)焊接到所述第二微透镜部件组(set_2)的微透镜。本发明的方法进一步包括将所述微透镜部件组阳极接合在一起。
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公开(公告)号：CN101512717A
公开(公告)日：2009-08-19
申请号：CN200780033271.5
申请日：2007-10-09
Applicant: 电子线技术院株式会社
Inventor： 金浩燮
IPC: H01J37/14
CPC classification number: H01J37/145 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , H01J37/12 , H01J37/143 , H01J37/3174 , H01J2237/1205 , H01J2237/1405 , H01J2237/26 , H01J2237/3175
Abstract: 在此公开了使用磁透镜层的电子柱。该电子柱包括使用永磁体聚集电子束的磁透镜层。所述磁透镜层包括支撑板、穿过支撑板形成的孔、以及沿孔排列并布置在支撑板上或插入支撑板中的永磁体。
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