公开(公告)号：KR1020160025515A

公开(公告)日：2016-03-08

申请号：KR1020157036324

申请日：2014-06-06

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 무라마츠마코토 ,  기타노다카히로 ,  도미타다다토시 ,  니시다카노리 ,  가와카미신이치로 ,  야마우치다카시

IPC: H01L21/308 ,  G03F7/40 ,  H01L21/311 ,  H01L21/67

CPC classification number: G03F7/20 ,  B81C2201/0149 ,  C08L53/00 ,  C09D153/00 ,  G03F7/0002 ,  G03F7/16 ,  G03F7/32 ,  G03F7/40 ,  H01L21/02282 ,  H01L21/0274 ,  H01L21/3086 ,  H01L21/31133 ,  H01L21/67028 ,  H01L21/67051 ,  H01L21/6708

Abstract: 기판처리방법은, 블록공중합체를친수성중합체와소수성중합체로상분리시키는중합체분리공정과, 상분리한블록공중합체로부터, 친수성중합체를선택적으로제거하는중합체제거공정을갖고, 중합체제거공정에서는, 상분리한블록공중합체에에너지선을조사하고, 계속해서친수성중합체에대하여제1 용해도를갖고, 물보다비점이낮고, 물에대하여가용이며또한소수성중합체를용해하지않는제1 극성유기용제를블록공중합체에공급하고, 계속해서, 제1 용해도보다낮은제2 용해도를갖고, 물보다도비점이높으며또한소수성중합체를용해하지않는제2 극성유기용제를, 블록공중합체에공급하여친수성중합체를제거한다.

公开(公告)号：KR1020150060741A

公开(公告)日：2015-06-03

申请号：KR1020157008388

申请日：2013-09-30

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 무라마츠마코토 ,  기타노다카히로 ,  도미타다다토시 ,  다노우치게이지 ,  야노가즈토시 ,  시게토미겐이치 ,  도요자와아키히로

IPC: H01L21/027 ,  B05D3/02 ,  B05D3/10 ,  B05D7/24 ,  B05C9/14 ,  H01L21/3065

CPC classification number: H01L21/67098 ,  B05C9/14 ,  B05C11/08 ,  G03F7/0002 ,  H01J37/32889 ,  H01J2237/334 ,  H01L21/0271 ,  H01L21/3105 ,  H01L21/31058 ,  H01L21/31138 ,  H01L21/67023 ,  H01L21/67069 ,  H01L21/67103 ,  H01L21/67173 ,  H01L21/67225 ,  H01L21/67748 ,  H01L21/68757 ,  H01L21/68764

Abstract: 본발명은, 제1 폴리머와제2 폴리머를포함하는블록공중합체를이용하여기판을처리하는방법으로서, 블록공중합체를, 기판상 또는기판상에도포된하지막상에도포하는블록공중합체도포공정과, 기판상의블록공중합체를비산화성가스분위기에서열처리하여, 블록공중합체를제1 폴리머와제2 폴리머로상 분리시키는폴리머분리공정을포함한다.