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公开(公告)号：KR101390217B1
公开(公告)日：2014-05-27
申请号：KR1020087021234
申请日：2007-01-22
Applicant: 사이머 엘엘씨
Inventor： 던스탄웨인제이. , 자크로버트엔. , 라오라자세크하르엠. , 트린초우크표도르비.
IPC: H01L21/027
CPC classification number: H01S3/13 , G03F7/70575 , H01S3/134 , H01S3/136
Abstract: 개시된 본 발명의 한 실시예의 형태에 따라, 라인 내로우드, 높은 평균 파워, 높은 펄스 반복률의 레이저 마이크로-포토리소그래피 광원의 대역폭 컨트롤 시스템이 개시되고, 본 시스템은 광원에 의해 산출된 레이저 출력 광 펄스 빔의 대역폭을 측정하고, 대역폭 측정치를 제공하는 대역폭 측정 모듈; 대역폭 측정치, 및 대역폭 세트포인트를 수신하고, 대역폭 에러 신호를 제공하는 대역폭 에러 신호 제너레이터; 및 대역폭 에러에 응답하여 미세 대역폭 보정 액츄에이터 신호, 및 거친 대역폭 보정 액츄에이터 신호를 제공하는 액티브 대역폭 컨트롤러를 포함한다. 미세 대역폭 보정 액츄에이터, 및 상기 거친 대역폭 보정 액츄에이터는 각각 대역폭 에러를 감소하는 상기 광원 행동의 개별적인 조절을 유도할 수 있다. 거친 대역폭 보정 액츄에이터, 및 상기 미세 대역폭 보정 액츄에이터는 각각 복수의 대역폭 보정 액츄에이터를 포함할 수 있다.
대역폭 컨트롤 시스템, 대역폭 측정 모듈, 대역폭 에러 신호 제너레이터, 액티브 대역폭 컨트롤러, 미세 대역폭 보정 액츄에이터 신호, 거친 대역폭 보정 액츄에이터 신호.-
公开(公告)号：KR101346609B1
公开(公告)日：2014-01-02
申请号：KR1020087004734
申请日：2006-07-12
Applicant: 사이머 엘엘씨
Inventor： 자크로버트엔. , 파트로윌리엄엠. , 브라운다니엘제이.더블유.
CPC classification number: H01S3/225 , H01S3/08022 , H01S3/09702 , H01S3/1301 , H01S3/134 , H01S3/2308 , H01S3/2366
Abstract: 라인 협대화된 시드 펄스를 증폭 레이저 시스템부로 제공하는 제 1 라인 협대화된 오실레이터 레이저 시스템부를 구비하는 멀티-부분으로 구성된 레이저 시스템에서의 대역폭 제어를 위한 방법 및 장치로서, 상기 방법 및 장치는 대역폭이 아닌 제 1 레이저 시스템 동작 파라미터와 타이밍 차이 사이의 관계를 정의하는 타이밍 차 곡선과 및 원하는 타이밍 차이를 정의하는 곡선상의 원하는 포인트를 활용하는 것을 포함하고, 여기서 곡선상의 각 고유한 동작 포인트는 각각의 대역폭 값에 대응하고; 곡선상의 원하는 포인트에서의 타이밍 차이로부터 곡선상의 실제 동작 포인트까지의 실제 오프셋을 판정하고; 실제 오프셋과 원하는 대역폭에 상당하는 원하는 오프셋 사이의 오차를 판정하고; 실제 오프셋과 원하는 오프셋 사이의 오차를 제거하기 위해 발사 차동 타이밍을 변형하는 것을 포함한다.
라인 협대화, 시드 펄스, 제 2 이득 생성기 레이저 시스템부, 제 1 라인 협대화, 오실레이터, 멀티-부분으로 구성된 레이저 시스템, 대역폭 제어, 레이저 이득 매체, 차동 발사 시간, 레이저 출력 광 펄스, 대역폭 타겟, 함수, 현재 동작 포인트-
公开(公告)号：KR101127078B1
公开(公告)日：2012-03-23
申请号：KR1020067020324
申请日：2005-02-24
Applicant: 사이머 엘엘씨
Inventor： 파틀로윌리암엔. , 보워링노베르트에르. , 어쇼브알렉산더아이. , 포멘코브이고르브이. , 올리버아이.로저 , 비아텔라존 , 자크로버트엔.
CPC classification number: G03F7/70033 , B82Y10/00 , G03F7/70175 , G03F7/70916 , G21K1/062 , G21K2201/061 , G21K2201/065 , G21K2201/067 , H05G2/003 , H05G2/005 , H05G2/006 , H05G2/008
Abstract: An apparatus and method for EUV light production is disclosed which may comprise a laser produced plasma ("LPP") extreme ultraviolet ("EUV") light source comprising a target delivery system adapted to deliver moving plasma initiation targets and an EUV light collection optic having a focus defining a desired plasma initiation site.
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公开(公告)号：KR1020080033465A
公开(公告)日：2008-04-16
申请号：KR1020087004734
申请日：2006-07-12
Applicant: 사이머 엘엘씨
Inventor： 자크로버트엔. , 파트로윌리엄엠. , 브라운다니엘제이.더블유.
CPC classification number: H01S3/225 , H01S3/08022 , H01S3/09702 , H01S3/1301 , H01S3/134 , H01S3/2308 , H01S3/2366
Abstract: A method and apparatus are disclosed for controlling bandwidth in a multi-portion laser system comprising a first line narrowed oscillator laser system portion providing a line narrowed seed pulse to an amplifier laser system portion, may comprise utilizing a timing difference curve defining a relationship between a first' laser system operating parameter other than bandwidth and the timing difference and also a desired point on the curve defining a desired timing difference, wherein each unique operating point on the curve corresponds to a respective bandwidth value; determining an actual offset from the timing difference at the desired point on the curve to an actual operating point on the curve; determining an error between the actual offset and a desired offset corresponding to a desired bandwidth; modifying the firing differential timing to remove the error between the actual offset and the desired offset.
Abstract translation: 公开了一种用于控制多部分激光系统中的带宽的方法和装置，其包括向放大器激光系统部分提供线窄化种子脉冲的第一线窄化振荡器激光器系统部分，可以包括利用定时差分曲线来定义 第一'激光系统操作参数而不是带宽和定时差异，并且还在曲线上的期望点定义期望的时序差，其中曲线上的每个唯一操作点对应于相应的带宽值; 确定曲线上期望点处的定时差与曲线上的实际工作点的实际偏移; 确定实际偏移与对应于期望带宽的期望偏移之间的误差; 修改击发差分定时以消除实际偏移和所需偏移之间的误差。
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