Abstract:
본 발명은 증착 장치에 관한 것으로, 증착 장치는 가스 공급부와 지지대가 설치된 챔버를 가진다. 가스 공급부는 공정가스가 도입되는 공간을 제공하고, 공정가스를 웨이퍼 상으로 분사하는 분사부재 및 상술한 공간 내에 설치되어 공간 내에서 공정가스를 확산시키는 확산부재를 가진다. 분사부재는 증착률 향상 등을 위해 웨이퍼와의 거리가 가깝게 되도록 배치된다. 또한, 상술한 공간 내에는 공정가스가 확산되는 영역을 제한하는 차단부재가 제공되어, 다양한 크기의 웨이퍼에 대해 높은 증착율로 증착공정을 수행할 수 있다. 증착, 확산부재, 차단부재, 분사부재
Abstract:
PURPOSE: A chip size package(CSP) method of semiconductor integrated circuit(IC) is provided to use a chip size package having various density in the same board by separating all lead beam and frame of a ball array including a not-contact(NC) ball. CONSTITUTION: The semiconductor IC comprises a ball array including a plural ball connected with a device pad and n-numbered NC balls not connected with the device pad, and a beam lead connecting with a frame chassis and connected with each ball of the ball array. In the CSP method, the corresponding beam lead of plural ball connected with the device pad is separated from the frame when the beam lead is bonded with the device pad. The beam lead correspond to the NC ball is separated from the frame by cutting for the frame portion correspond to the NC ball to be protruded outside when the beam lead is cut for separating.
Abstract:
A cleaning robot according to an embodiment includes a body, an operating part operating the body, an obstruction sensing module sensing an obstruction around the body, and a control part controlling the operating part based on the sensing result. The obstruction sensing module includes one or more light emitting parts including a light source, a wide angle lens diffusing light emitted from the light source into flat light, and a light source operating part lighting the light source; and a light receiving part including a reflective mirror generating reflective light by reflecting the flat light, an optical lens separated from the reflective mirror to pass the reflective light, an optical sensor generating an electrical image signal by receiving the reflective light passing through the optical lens, and a signal processing circuit converting the electrical image signal into a digital electrical image signal. With the obstruction sensing module, the accuracy of obstruction sensing can be improved as even flat light is formed and the need for installing extra servo mechanism or a plurality of sensors is eliminated as the flat light is used for sensing obstructions so that economical and structural efficiency can be improved.
Abstract:
PURPOSE: A device for sensing obstacles and a robot cleaner including the same are provided to sense obstacles existed to front direction using line light without mounting a plurality of sensors or a separate servo mechanism. CONSTITUTION: A device for sensing obstacles comprises a line light transmitting unit(110) and a reflection light receiving unit(120). The line light transmitting unit includes a light emitting unit(112) and a first circular cone type mirror(111). In the first circular cone type mirror, a cusp is arranged to face to the light emitting unit with respect to direction for irradiating the light of the light emitting unit. The reflection light receiving unit includes a second circular cone type mirror(121), a lens(122), and a camera tube(123). The second circular cone type mirror is irradiated in the first circular cone type mirror and concentrates light reflected to the obstacle. The lens is separated from the cusp of the second circular cone type mirror and passes the reflection light. [Reference numerals] (111) First circular cone type mirror; (112) Light emitting unit; (113) Light emission driving unit; (121) Second circular cone type mirror; (122) Optical lens; (123) Camera unit; (124) Image processing unit; (130) Obstacle sensing control unit;
Abstract:
대기 전류 불량에 의한 리페어 효율을 높일 수 있는 대기 전류 불량 리페어 회로를 가지는 반도체 메모리 장치에 관하여 설명한다. 본 발명은 프리차지(precharge) 트랜지스터를 통햐여 상기 비트 라인에 연결된 P형 제어 트랜지스터와, 상기 P형 제어 트랜지스터의 게이트 전극에 연결된 인버터와, 상기 인버터의 입력에 연결된 퓨즈 및 고저항과, 상기 인버터의 입력과 소스 전극을 연결하고, 상기 인버터의 출력에 연결된 게이트전극을 연결하고, 상기 인버터의 출력에 연결된 게이트 전극을 가지는 n형 제어 트랜지스터를 포함하는 대기 전류 불량 리페어 회로를 가지는 반도체 메모리 장치를 제공한다. 따라서, 본 발명은 대기 전류 불량 칩에 대한 리페어 효율을 높이기 위하여 고안된 장치로서 종래와 달리 리페어시 셀 어레이의 결함으로부터 전원을 차단시키기 위한 게이트가 빠르게 동작하여 전류 차단 효과를 충분히 높이고, 결과적으로 본 발명의 대기 전류 불량 리페어 회로는 불량 칩의 리페어 효율을 향상시킨다.