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公开(公告)号：KR101117279B1
公开(公告)日：2012-03-20
申请号：KR1020100033156
申请日：2010-04-12
Applicant: 연세대학교 산학협력단
IPC: H01P7/06
Abstract: 본 발명은 나노공진기에 관한 것으로서, 양단부에 전극(11)이 마련되고 이들 전극을 연결하는 진동부(12)가 마련된 공진기 본체(10); 상기 공진기 본체(10)의 진동부(12) 인접 측부에 배치되어 진동부(12)의 좌우 구동이 가능하도록 하는 좌우구동전극(20); 및 상기 공진기 본체(10)의 진동부(12) 인접 상부에 배치되어 진동부(12)의 상하 구동이 가능하도록 하는 상하구동전극(30)을 포함하여 구성된다. 따라서, 공진기 본체의 진동부 좌우측 및 상부에 구동 전극을 각각 배치하여 전자기력에 의한 좌우방향 공진뿐만 아니라 정전기력(Electrostatic force)에 의한 상하 구동 역시 가능하도록 함으로써, 교류 전압과 함께 직류 전압(DC voltage)을 동시에 이용하여 교류 전압(AC voltage) 구동은 물론 상하좌우 직류 전압(DC voltage) 튜닝도 가능하게 되며 이를 통해 공진기의 선형성을 유지하는 동시에 민감성 및 작동 계수(Q-factor)를 주어진 환경 하에서 항시 최적화시킬 수 있고, 또한, 서로 다른 공진 주파수 대역을 하나의 공진기에서 구동이 가능하게 되어 하나의 디바이스가 두 가지의 디바이스의 기능을 갖게 되어 나노 공진기의 공진 주파수 튜닝 이외의 다른 새로운 공진 주파수 변조가 가능하게 되는 등의 효과를 얻는다.
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公开(公告)号：KR101099646B1
公开(公告)日：2011-12-29
申请号：KR1020100024800
申请日：2010-03-19
Applicant: 연세대학교 산학협력단
Abstract: 본 발명은 나노공진기 제조방법에 관한 것으로서, 실리콘기판(10) 상면에 희생층(20)을 증착시키는 단계; 상기 희생층(20) 상면에 공진층(35)을 증착시키는 단계; 상기 공진층(35) 상면에 포토레지스트(37)를 도포하는 단계; 상기 포토레지스트(37) 상에서 공진부(30) 형상의 마스크(39)를 통해 리소그래피 방식으로 노광을 실시하여 공진부(30) 형상을 패터닝하는 단계; 상기 패터닝 된 포토레지스트(37)를 현상하여 공진부(30) 형상이 드러나도록 하는 단계; 상기 공진부(30) 형상에 금속층(40)을 증착하는 단계; 상기 금속층(40)이 층착된 공진부(30) 형상을 갖도록 포토레지스트(37)를 완전히 제거하는 단계; 및 상기 금속층(40), 공진부(30) 및 희생층(20)에 대해 식각을 수행하는 단계를 포함하여 구성된다. 따라서, 공진기 구동시 에너지 손실을 최소화함은 물론 공진기의 작동 효율 및 공진기 주파수 특성의 안정성을 증가시킬 수 있도록 하는 등의 효과를 얻는다.
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公开(公告)号：KR1020120120672A
公开(公告)日：2012-11-02
申请号：KR1020110038398
申请日：2011-04-25
Applicant: 연세대학교 산학협력단
CPC classification number: H01P7/08 , B82B1/00 , H01P11/008
Abstract: PURPOSE: A method for manufacturing a nano structure with a suspender and the nano structure manufactured by the same are provided to improve the precision of the nano structure by wet-etching the upper side of a substrate around a bottom electrode to upwardly expose the suspender and the bottom electrode. CONSTITUTION: A bottom electrode(21) is formed on a substrate(10) by depositing a first material. A suspender(30) is formed by depositing a second material. A top electrode(22) is formed by depositing a third material on the upper side of the cross section of the suspender. The upper side of the substrate is etched.
Abstract translation: 目的：提供一种制造具有吊杆的纳米结构体及其制造的纳米结构体，以通过湿法蚀刻底部电极周围的衬底的上侧以向上暴露悬垂器来提高纳米结构的精度，以及 底部电极。 构成：通过沉积第一材料在基底（10）上形成底部电极（21）。 通过沉积第二材料形成悬挂件（30）。 顶部电极（22）通过在悬臂的横截面的上侧上沉积第三材料而形成。 蚀刻基板的上侧。
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公开(公告)号：KR1020140060070A
公开(公告)日：2014-05-19
申请号：KR1020120126716
申请日：2012-11-09
Applicant: 연세대학교 산학협력단
IPC: H01L21/8242 , H01L27/108
CPC classification number: H01L28/75 , H01L21/0274 , H01L21/3065 , H01L28/56
Abstract: The present invention provides a capacitor manufacturing method capable of improving the efficiency and performance of a capacitor by converting the dielectric constant of a dielectric included between the two electrodes of the capacitor and the effective capacitance of the capacitor. The capacitor manufacturing method of the present invention comprises (a) a step of preparing graphine oxide existed in a solution condition; (b) a step of applying alternating current to a gap between the two electrode layers after forming a first electrode layer and a second electrode layer on a circuit board; (c) a step of forming a graphene oxide dielectric layer between the two electrode layers using a dielectrophoresis method after dropping graphene oxide solution between the two electrode layers in which the alternating current is applied; and (d) a step of combining chemicals on the surface of the graphene oxide dielectric layer formed between the two electrode layers.
Abstract translation: 本发明提供一种能够通过转换电容器的两个电极之间的电介质的介电常数和电容器的有效电容来提高电容器的效率和性能的电容器制造方法。 本发明的电容器制造方法包括（a）在溶液状态下制备石墨氧化物的步骤; （b）在电路板上形成第一电极层和第二电极层之后，向两个电极层之间的间隙施加交流电流的步骤; （c）在施加交流电的两个电极层中滴加石墨烯氧化物溶液之后，使用介电电泳法在两个电极层之间形成石墨烯氧化物电介质层的步骤; 和（d）在形成在两个电极层之间的氧化石墨烯介电层的表面上组合化学品的步骤。
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公开(公告)号：KR1020130134539A
公开(公告)日：2013-12-10
申请号：KR1020120058124
申请日：2012-05-31
Applicant: 연세대학교 산학협력단
IPC: H01L29/861
CPC classification number: H01L29/1606 , H01L29/4236 , H01L29/66621
Abstract: The present invention provides a method for manufacturing a semiconductor device having excellent stability and productivity through a simple lithography process with graphene having good electrical conductivity and palladium allowing easy exchange of electrons with the graphene and a semiconductor device manufactured by the method. The method for manufacturing a semiconductor device according to the present invention comprises the steps of forming a groove in a substrate and sequentially laminating a gate electrode and a dielectric inside the groove; applying graphene on the substrate to touch the upper surface of the dielectric; patterning the applied graphene in a desired shape using a lithography process; applying photoresist to the substrate so that palladium can be coated on a part of the patterned graphene and then patterning the photoresist through the lithography process; depositing the palladium on the patterned photoresist to coat the palladium on a part of the graphene; removing all photoresist and palladium except for the palladium coated on the part of the graphene; and forming a source electrode and a drain electrode to be connected to both sides of the graphene.
Abstract translation: 本发明提供了一种制造半导体器件的方法，该半导体器件通过简单的光刻工艺具有优异的稳定性和生产率，其中石墨烯具有良好的导电性和允许易于与石墨烯交换电子的钯和通过该方法制造的半导体器件。 根据本发明的半导体器件的制造方法包括以下步骤：在衬底中形成沟槽，并且在沟槽内依次层叠栅电极和电介质; 在基板上施加石墨烯以接触电介质的上表面; 使用光刻工艺将所施加的石墨烯图案化成期望的形状; 将光致抗蚀剂施加到基底上，使得钯可以涂覆在图案化的石墨烯的一部分上，然后通过光刻工艺图案化光致抗蚀剂; 将钯沉积在图案化的光致抗蚀剂上以在石墨烯的一部分上涂覆钯; 除去涂覆在石墨烯部分上的钯以外的所有光致抗蚀剂和钯; 以及形成与石墨烯两侧连接的源电极和漏电极。
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Patent Agency Ranking16.发明公开그라핀을 이용한 인쇄회로기판 제조방법, 이 제조방법에 의해 제조된 인쇄회로기판, 이를 구비한 디스플레이 장치 无效制造方法印刷电路板使用石墨，由制造方法制造的印刷电路板和具有印刷电路板的显示装置
公开(公告)号：KR1020130125571A
公开(公告)日：2013-11-19
申请号：KR1020120049201
申请日：2012-05-09
Applicant: 연세대학교 산학협력단
Abstract: The present invention provides a polymer-based flexible printed circuit board and a fabrication method thereof : capable of fabricating a printed circuit board having superior electrical, optical and mechanical characteristics with costs lower than the existing method; and capable of comprising an electrical and electronic circuit by effectively applying the graphene to the surface, although which surface subject to install is a curved surface by forming a material of a printed circuit board with a flexible polymer material, which printed circuit board uses graphene as a transmission line conductor of the printed circuit board circuit pattern is printed on. The printed circuit board fabrication method using graphene according to the present invention includes: a first step for preparing a substrate consisting of a polymer material; a second step for forming a line groove in a circuit pattern on the substrate; a third step for coating a graphene dispersion solution and intruding the coated graphene dispersion solution in the line groove; a fourth step for removing the graphene dispersion solution coated on the substrate part except for the line groove part; and a fifth step for finally completing a printed circuit board having graphene patterned by vaporizing moisture and volatile material included in the graphene dispersion solution injected into the line groove.
Abstract translation: 本发明提供一种基于聚合物的柔性印刷电路板及其制造方法：能够制造具有优于现有方法成本的电气，光学和机械特性优异的印刷电路板; 并且能够通过有效地将石墨烯施加到表面上而包括电气和电子电路，尽管通过用柔性聚合物材料形成印刷电路板的材料，但是要安装的表面是弯曲表面，印刷电路板使用石墨烯作为 印刷电路板电路图案的传输线导体。 根据本发明的使用石墨烯的印刷电路板制造方法包括：制备由聚合物材料构成的基板的第一步骤; 用于在基板上形成电路图案中的线槽的第二步骤; 第三步，用于涂覆石墨烯分散液并将涂覆的石墨烯分散液侵入管线槽中; 除去涂布在除了线槽部之外的基板部分上的石墨烯分散液的第四步骤; 以及用于最终完成具有通过蒸发注入到线槽中的石墨烯分散溶液中的水分和挥发性材料而图案化的石墨烯的印刷电路板的第五步骤。
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公开(公告)号：KR1020110039803A
公开(公告)日：2011-04-20
申请号：KR1020090096809
申请日：2009-10-12
Applicant: 연세대학교 산학협력단
Abstract: PURPOSE: A graphene gas sensor unit, a complex thereof, and a manufacturing method thereof are provided to improve sensitivity even if the gas sensor unit is used for a long time. CONSTITUTION: A graphene gas sensor unit comprises a substrate(10), grapheme(20), and metal electrodes(30). A groove(11) is formed in the substrate and is composed of silicon or polydimethylsiloxane with an oxidized silicon film. A protective layer is formed on the substrate. The grapheme is hung on a part of the groove and forms a channel. The channel formation part of the grapheme is bent in a half-circle shape. The metal electrodes are formed in both ends of the groove of the substrate and are composed of gold.
Abstract translation: 目的：提供石墨烯气体传感器单元及其复合体及其制造方法，即使长时间使用气体传感器单元也能提高灵敏度。 构成：石墨烯气体传感器单元包括基底（10），图形（20）和金属电极（30）。 在基板上形成有由氧化硅膜构成的硅或聚二甲基硅氧烷构成的槽（11）。 在基板上形成保护层。 刻字挂在凹槽的一部分上，形成一个通道。 字形的通道形成部分弯曲成半圆形。 金属电极形成在基板的槽的两端，由金构成。
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公开(公告)号：KR101778214B1
公开(公告)日：2017-09-14
申请号：KR1020160074513
申请日：2016-06-15
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: G01N27/30 , G01N27/416 , H01L29/16 , G01N27/04
CPC classification number: G01N27/304 , G01N27/04 , G01N27/4162 , H01L29/1606
Abstract: 공중부유형(suspended) 그래핀구조를이용한가스센서(gas sensor)는, 기판; 상기기판상에어레이형태로배열되며, 인가된전력에의해서로상이한가열온도로가열되도록구성된복수개의그래핀가열체; 상기복수개의그래핀가열체에전력을인가하도록구성된전원부; 및상기복수개의그래핀가열체가대상가스에노출되고, 상기복수개의그래핀가열체에전력이인가된상태에서상기복수개의그래핀가열체의저항을측정함으로써상기대상가스를특정하도록구성된측정부를포함할수 있다. 각각의그래핀가열체는, 상기전원부에전기적으로연결된전극및 상기전극에전기적으로연결되며상기기판으로부터이격되어위치하는그래핀층을포함할수 있다. 그래핀가열체를어레이형태로구성하되각 가열체의구조제어를통하여가열온도가다양하게구배된어레이구조를적용함으로써, 다양한온도에서의대상가스에대한반응성을동시에추출할수 있다.
Abstract translation: 使用悬浮石墨烯结构的气体传感器包括基板; 多个石墨烯加热体的被配置为被加热到不同的加热温度被设置在基板上的排列图案，由施加的电功率; 电源，被配置为向所述多个石墨烯加热元件施加功率; 包括并暴露于加热体是气体到所述多个石墨烯，其中所述多个是测量部的，通过测量多个石墨烯加热体的电阻，以便在两销电力指定目标气体到加热体是状态配置 你可以。 各石墨烯加热体的是电连接到所述电极和电连接到所述电极到所述动力源，并且可以包含其位于与基板的距离的是被钉扎层。 石墨烯，但是通过施加阵列结构中的加热温度进行各种梯度相应的加热元件的结构控制配置在阵列形式的加热元件，可以在同一时间不同温度eseoui与目标气体出口的反应性。
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公开(公告)号：KR1020170060321A
公开(公告)日：2017-06-01
申请号：KR1020150164611
申请日：2015-11-24
Applicant: 한국과학기술연구원
Abstract: 가스센싱장치는, 입력된가스에반응하여센서데이터를출력하도록구성된센서부; 하나이상의단일가스에대해상기센서부에서출력된센서데이터인제1 벡터를포함하는데이터베이스가저장된저장부; 및상기데이터베이스에기초하여, 하나이상의혼합가스에대응되는제2 벡터를포함하는확장데이터베이스를생성하고, 상기센서부의대상가스에대한센서데이터를상기확장데이터베이스와비교함으로써상기대상가스를검지하도록구성된검지부를포함한다. 상기가스센싱장치에의하면, 단일가스에대한데이터베이스만으로단일가스와혼합가스를모두인지하고분류할수 있다.
Abstract translation: 该气体传感装置包括：传感器单元，被配置为响应于输入的气体输出传感器数据; 存储单元，用于存储数据库，所述数据库包括针对至少一种单一气体从传感器单元输出的传感器数据输入1矢量; 以及检测单元，被配置为通过基于数据库将传感器单元的目标气体的传感器数据与扩展数据库进行比较并且生成包括与至少一种混合气体对应的第二矢量的扩展数据库来检测目标气体， 它包括。 根据该气体传感设备，可以通过单个气体数据库来识别单个气体和混合气体并对其进行分类。
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公开(公告)号：KR101755269B1
公开(公告)日：2017-07-10
申请号：KR1020160018425
申请日：2016-02-17
Applicant: 한국과학기술연구원
Abstract: 가스센싱장치는, 입력된가스에반응하여센서데이터를출력하도록구성된센서부; 하나이상의단일가스에대해상기센서부에서출력된센서데이터인제1 벡터를포함하는데이터베이스가저장된저장부; 및상기데이터베이스에기초하여, 하나이상의혼합가스에대응되는제2 벡터를포함하는확장데이터베이스를생성하고, 상기센서부의대상가스에대한센서데이터를상기확장데이터베이스와비교함으로써상기대상가스를검지하도록구성된검지부를포함한다. 상기가스센싱장치에의하면, 단일가스에대한데이터베이스만으로단일가스와혼합가스를모두인지하고분류할수 있다.
Abstract translation: 该气体传感装置包括：传感器单元，被配置为响应于输入的气体输出传感器数据; 存储单元，用于存储数据库，所述数据库包括针对至少一种单一气体从传感器单元输出的传感器数据输入1矢量; 以及检测单元，被配置为通过基于数据库将传感器单元的目标气体的传感器数据与扩展数据库进行比较并且生成包括与至少一种混合气体对应的第二矢量的扩展数据库来检测目标气体， 它包括。 根据该气体传感设备，可以通过单个气体数据库来识别单个气体和混合气体并对其进行分类。
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