알카인(alkyne)화합물의 단분자막형성방법
    12.
    发明授权
    알카인(alkyne)화합물의 단분자막형성방법 失效
    包括炔的分子单层的制造方法

    公开(公告)号:KR101027513B1

    公开(公告)日:2011-04-06

    申请号:KR1020080068395

    申请日:2008-07-15

    Abstract: 본 발명은 퓨록산분자(furoxan molecule)를 이용한 알카인(alkyne)화합물의 단분자막형성방법에 관한 것으로, 본 발명에 따르면 극자외선을 사용하여 극자외선에 의한 퓨록산분자막의 변화를 유도하여 알카인(alkyne)화합물의 단분자막을 국소적으로 기판의 표면상에 형성시킬 수 있기 때문에 선택적으로 미세한 부분에 알카인(alkyne)화합물의 단분자막에 다른 화학분자를 반응시킬 수 있는 기초기술을 제공한다.
    퓨록산, 극자외선, 자기조립분자막, 삼중결합

    펜타신으로 구성된 극자외선용 감광막 및 그의 형성 방법
    13.
    发明公开
    펜타신으로 구성된 극자외선용 감광막 및 그의 형성 방법 有权
    具有PENTACENE的极限超紫外线光电离膜及其形成方法

    公开(公告)号:KR1020100100510A

    公开(公告)日:2010-09-15

    申请号:KR1020090019437

    申请日:2009-03-06

    CPC classification number: G03F7/004 G03F7/2004 G03F7/42 H01L21/306

    Abstract: PURPOSE: An extreme ultraviolet photoresist film with pentacene and a method for forming the same are provided to be used in a semiconductor process with a width of less than 30 nm by forming the photosensitive film for the extreme ultraviolet radiation having the thickness of less than several nm. CONSTITUTION: The pentacene is evaporated in vacuum on the solid sample by using the thermal evaporation(S200). The solid sample deposited with the pentacene is radiated with the extreme ultraviolet(S210). The pentacene on a portion where the ultra violet ray is not radiated is removed by heating the solid sample deposited with the pentacene(S230).

    Abstract translation: 目的:提供一种具有并五苯的极紫外光致抗蚀剂膜及其形成方法,用于宽度小于30nm的半导体工艺中,通过形成厚度小于几毫微米的极紫外辐射感光膜 纳米。 构成:使用热蒸发,并五苯在固体样品上真空蒸发(S200)。 用并五苯沉积的固体样品用极紫外辐射(S210)。 通过加热用并五苯沉积的固体样品,除去未辐射紫外线的部分上的并五苯(S230)。

    그래핀 피복 강판 및 이의 제조 방법
    16.
    发明公开
    그래핀 피복 강판 및 이의 제조 방법 有权
    石墨涂层钢及其制备方法

    公开(公告)号:KR1020120049820A

    公开(公告)日:2012-05-17

    申请号:KR1020110115302

    申请日:2011-11-07

    Abstract: PURPOSE: A graphene-coated steel sheet and a manufacturing method thereof are provided to ensure high heat resistance of a steel sheet from the thermal stability of graphene and prevent defects or impurities. CONSTITUTION: A graphene-coated steel sheet comprises a steel sheet(11) and a graphene layer(18). The graphene layer is formed on the steel sheet. A method for manufacturing the graphene-coated steel sheet comprises the steps of: cleaning the surface of a steel sheet using inert gas ion(13) in a vacuum container, heating the cleaned steel sheet, and injecting hydrocarbon(17) in the vacuum container to be dissolved and adsorbed on the steel sheet, thereby forming a graphene layer on the steel sheet.

    Abstract translation: 目的:提供一种石墨烯涂层钢板及其制造方法,以从石墨烯的热稳定性确保钢板的高耐热性并防止缺陷或杂质。 构成:石墨烯涂层钢板包括钢板(11)和石墨烯层(18)。 在钢板上形成石墨烯层。 一种石墨烯涂覆钢板的制造方法,其特征在于,包括以下步骤:在真空容器中使用惰性气体离子(13)清洗钢板表面,加热清洗后的钢板,将真空容器(17)注入真空容器 被溶解并吸附在钢板上,从而在钢板上形成石墨烯层。

    펜타신으로 구성되는 그라핀 보호막 및 그 형성 방법
    17.
    发明公开
    펜타신으로 구성되는 그라핀 보호막 및 그 형성 방법 无效
    保护层与PENTACENE及其形成方法

    公开(公告)号:KR1020110001621A

    公开(公告)日:2011-01-06

    申请号:KR1020090059213

    申请日:2009-06-30

    Abstract: PURPOSE: A grapheme protective layer and a forming method thereof are provided to prevent the electrical property of a grapheme due to an external factor such as the air and the water by using pentacene as a grapheme protective layer. CONSTITUTION: A pentacene vapor is generated by heating and vaporizing pentacene(S100). The thickness of the pentacene is 1nm~2nm. The pentacene is deposited to the surface of the graphene(S110). The graphene and the pentacene are composed of silicon(Si) or silicon carbide(SiC).

    Abstract translation: 目的:提供一种图形保护层及其形成方法,以通过使用并五苯作为刻画保护层来防止由空气和水等外部因素引起的图形的电学性质。 构成:并五苯蒸气通过加热和蒸发并五苯(S100)而产生。 并五苯的厚度为1nm〜2nm。 并五苯沉积到石墨烯的表面(S110)。 石墨烯和并五苯由硅(Si)或碳化硅(SiC)组成。

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