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公开(公告)号:KR1020110118408A
公开(公告)日:2011-10-31
申请号:KR1020100037993
申请日:2010-04-23
Applicant: 포항공과대학교 산학협력단
CPC classification number: C01B32/194 , C01B32/184 , H01B1/04
Abstract: 일함수가 조절된 그래핀을 형성하는 방법을 제공한다. 상기 방법은 기본 그래핀(pristine graphene)을 준비하고, 알곤 이온(argon ion)을 가속시키고, 가속된 상기 알곤 이온을 상기 기본 그래핀에 조사하여 상기 기본 그래핀의 일함수(work function) 와 다른 일함수를 갖는 변형 그래핀을 형성하는 것을 포함한다.
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公开(公告)号:KR101027513B1
公开(公告)日:2011-04-06
申请号:KR1020080068395
申请日:2008-07-15
Applicant: 포항공과대학교 산학협력단
Abstract: 본 발명은 퓨록산분자(furoxan molecule)를 이용한 알카인(alkyne)화합물의 단분자막형성방법에 관한 것으로, 본 발명에 따르면 극자외선을 사용하여 극자외선에 의한 퓨록산분자막의 변화를 유도하여 알카인(alkyne)화합물의 단분자막을 국소적으로 기판의 표면상에 형성시킬 수 있기 때문에 선택적으로 미세한 부분에 알카인(alkyne)화합물의 단분자막에 다른 화학분자를 반응시킬 수 있는 기초기술을 제공한다.
퓨록산, 극자외선, 자기조립분자막, 삼중결합-
公开(公告)号:KR1020100100510A
公开(公告)日:2010-09-15
申请号:KR1020090019437
申请日:2009-03-06
Applicant: 포항공과대학교 산학협력단
IPC: H01L21/306
CPC classification number: G03F7/004 , G03F7/2004 , G03F7/42 , H01L21/306
Abstract: PURPOSE: An extreme ultraviolet photoresist film with pentacene and a method for forming the same are provided to be used in a semiconductor process with a width of less than 30 nm by forming the photosensitive film for the extreme ultraviolet radiation having the thickness of less than several nm. CONSTITUTION: The pentacene is evaporated in vacuum on the solid sample by using the thermal evaporation(S200). The solid sample deposited with the pentacene is radiated with the extreme ultraviolet(S210). The pentacene on a portion where the ultra violet ray is not radiated is removed by heating the solid sample deposited with the pentacene(S230).
Abstract translation: 目的:提供一种具有并五苯的极紫外光致抗蚀剂膜及其形成方法,用于宽度小于30nm的半导体工艺中,通过形成厚度小于几毫微米的极紫外辐射感光膜 纳米。 构成:使用热蒸发,并五苯在固体样品上真空蒸发(S200)。 用并五苯沉积的固体样品用极紫外辐射(S210)。 通过加热用并五苯沉积的固体样品,除去未辐射紫外线的部分上的并五苯(S230)。
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公开(公告)号:KR1020140077138A
公开(公告)日:2014-06-23
申请号:KR1020140051038
申请日:2014-04-28
Applicant: 주식회사 포스코 , 포항공과대학교 산학협력단
CPC classification number: C23C16/26 , B82Y30/00 , B82Y40/00 , C01B32/186 , C21D1/68 , C21D1/72 , C21D3/04 , C21D8/0284 , C21D8/0484 , C23C8/22 , C23C14/022 , C23C14/0605 , C23C16/02 , C23C16/487 , Y10T428/30 , Y10T428/31678
Abstract: 본발명은그래핀피복강판및 이의제조방법에관한것이다. 본발명의그래핀피복강판은강판; 및상기강판위에형성된그래핀층을포함하고있어, 철의산화등 철의부식을방지할수 있고, 열전도도및 전기전도도가매우우수하며, 그래핀의열적안정성에기인하여우수한내열성을가지는그래핀피복강판을제공할수 있다. 본발명에서는또한, 결점이나불순물이거의없는단일결정형태를띠는매우우수한품질의그래핀으로피복된강판을제조하는방법을제공할수 있다.
Abstract translation: 本发明涉及一种石墨烯涂层钢板及其制造方法。 根据本发明,石墨烯涂层钢板包括钢板和形成在钢板上的石墨烯层,因此石墨烯涂层钢板能够防止铁的氧化腐蚀,具有优异的热 导电性和导电性,并且由于石墨烯的热稳定性而具有优异的耐热性。 本发明提供了具有优良质量的具有少量缺陷或杂质的单晶形式的石墨烯的涂覆钢板的制造方法。
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公开(公告)号:KR101403989B1
公开(公告)日:2014-06-10
申请号:KR1020110115302
申请日:2011-11-07
Applicant: 주식회사 포스코 , 포항공과대학교 산학협력단
CPC classification number: C23C16/26 , B82Y30/00 , B82Y40/00 , C01B32/186 , C21D1/68 , C21D1/72 , C21D3/04 , C21D8/0284 , C21D8/0484 , C23C8/22 , C23C14/022 , C23C14/0605 , C23C16/02 , C23C16/487 , Y10T428/30 , Y10T428/31678
Abstract: 본 발명은 그래핀 피복 강판 및 이의 제조 방법에 관한 것이다. 본 발명의 그래핀 피복 강판은 강판; 및 상기 강판 위에 형성된 그래핀층을 포함하고 있어, 철의 산화 등 철의 부식을 방지할 수 있고, 열 전도도 및 전기 전도도가 매우 우수하며, 그래핀의 열적 안정성에 기인하여 우수한 내열성을 가지는 그래핀 피복 강판을 제공할 수 있다. 본 발명에서는 또한, 결점이나 불순물이 거의 없는 단일 결정 형태를 띠는 매우 우수한 품질의 그래핀으로 피복된 강판을 제조하는 방법을 제공할 수 있다.
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公开(公告)号:KR1020120049820A
公开(公告)日:2012-05-17
申请号:KR1020110115302
申请日:2011-11-07
Applicant: 주식회사 포스코 , 포항공과대학교 산학협력단
CPC classification number: C23C16/26 , B82Y30/00 , B82Y40/00 , C01B32/186 , C21D1/68 , C21D1/72 , C21D3/04 , C21D8/0284 , C21D8/0484 , C23C8/22 , C23C14/022 , C23C14/0605 , C23C16/02 , C23C16/487 , Y10T428/30 , Y10T428/31678
Abstract: PURPOSE: A graphene-coated steel sheet and a manufacturing method thereof are provided to ensure high heat resistance of a steel sheet from the thermal stability of graphene and prevent defects or impurities. CONSTITUTION: A graphene-coated steel sheet comprises a steel sheet(11) and a graphene layer(18). The graphene layer is formed on the steel sheet. A method for manufacturing the graphene-coated steel sheet comprises the steps of: cleaning the surface of a steel sheet using inert gas ion(13) in a vacuum container, heating the cleaned steel sheet, and injecting hydrocarbon(17) in the vacuum container to be dissolved and adsorbed on the steel sheet, thereby forming a graphene layer on the steel sheet.
Abstract translation: 目的:提供一种石墨烯涂层钢板及其制造方法,以从石墨烯的热稳定性确保钢板的高耐热性并防止缺陷或杂质。 构成:石墨烯涂层钢板包括钢板(11)和石墨烯层(18)。 在钢板上形成石墨烯层。 一种石墨烯涂覆钢板的制造方法,其特征在于,包括以下步骤:在真空容器中使用惰性气体离子(13)清洗钢板表面,加热清洗后的钢板,将真空容器(17)注入真空容器 被溶解并吸附在钢板上,从而在钢板上形成石墨烯层。
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公开(公告)号:KR1020110001621A
公开(公告)日:2011-01-06
申请号:KR1020090059213
申请日:2009-06-30
Applicant: 포항공과대학교 산학협력단
IPC: H01L21/203
CPC classification number: H01L21/02527 , H01L21/02378 , H01L21/02381 , H01L21/02444 , H01L21/324
Abstract: PURPOSE: A grapheme protective layer and a forming method thereof are provided to prevent the electrical property of a grapheme due to an external factor such as the air and the water by using pentacene as a grapheme protective layer. CONSTITUTION: A pentacene vapor is generated by heating and vaporizing pentacene(S100). The thickness of the pentacene is 1nm~2nm. The pentacene is deposited to the surface of the graphene(S110). The graphene and the pentacene are composed of silicon(Si) or silicon carbide(SiC).
Abstract translation: 目的:提供一种图形保护层及其形成方法,以通过使用并五苯作为刻画保护层来防止由空气和水等外部因素引起的图形的电学性质。 构成:并五苯蒸气通过加热和蒸发并五苯(S100)而产生。 并五苯的厚度为1nm〜2nm。 并五苯沉积到石墨烯的表面(S110)。 石墨烯和并五苯由硅(Si)或碳化硅(SiC)组成。
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