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公开(公告)号：WO2012064102A2
公开(公告)日：2012-05-18
申请号：PCT/KR2011/008512
申请日：2011-11-09
CPC classification number: C23C16/26 , B82Y30/00 , B82Y40/00 , C01B32/186 , C21D1/68 , C21D1/72 , C21D3/04 , C21D8/0284 , C21D8/0484 , C23C8/22 , C23C14/022 , C23C14/0605 , C23C16/02 , C23C16/487 , Y10T428/30 , Y10T428/31678
Abstract: 본 발명은 그래핀 피복 강판 및 이의 제조 방법에 관한 것이다. 본 발명의 그래핀 피복 강판은 강판; 및 상기 강판 위에 형성된 그래핀층을 포함하고 있어, 철의 산화 등 철의 부식을 방지할 수 있고, 열 전도도 및 전기 전도도가 매우 우수하여, 그래핀의 열적 안정성에 기인하여 우수한 내열성을 가지는 그래핀 피복 강판을 제공할 수 있다. 본 발명에서는 또한, 결점이나 불순물이 거의 없는 단일 결정 형태를 띠는 매우 우수한 품질의 그래핀으로 피복된 강판을 제조하는 방법을 제공할 수 있다.
Abstract translation: 石墨烯涂覆钢板及其制造方法技术领域本发明涉及石墨烯涂覆钢板及其制造方法。 本发明的石墨烯涂布钢板包括：钢板; 以及形成在钢板上的石墨烯层。 因此，提供了一种石墨烯涂覆钢板，其中防止铁的腐蚀，例如铁的氧化，并且具有非常优异的导热性和导电性，以及由于热稳定性导致的优异的耐热性 石墨烯。 此外，根据本发明的制造石墨烯涂层钢板的方法能够制造具有单一形状的颗粒和很少或没有缺陷或杂质的高品质石墨烯涂层钢板。
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公开(公告)号：KR1020100008022A
公开(公告)日：2010-01-25
申请号：KR1020080068395
申请日：2008-07-15
Applicant: 포항공과대학교 산학협력단
Abstract: PURPOSE: A method for manufacturing a molecule monolayer including an alkyne compound is provided to form a molecule monolayer of an alkyne compound in a minute and precise level from a furoxan monolayer on the surface of a substrate using extreme ultraviolet rays. CONSTITUTION: A method for manufacturing a molecule monolayer including an alkyne compound comprises: a molecular layer formation step that forms a furoxan monolayer on the surface of a substrate; and a light irradiation step that irradiates extreme ultraviolet rays to the furoxan monolayer formed in the sample preparation step. A method for forming a molecule monolayer comprises the steps of: washing a substrate for forming the furoxan monolayer; forming an APDES((3-aminoproryl)diethoxymethylsilane) molecular monolayer on the surface of washed substrate; and forming the furoxan monolayer by reacting the furoxan compound on the APDES molecular monolayer.
Abstract translation: 目的：提供用于制造包含炔化合物的分子单层的方法，以使用极紫外线从基底表面上的呋喃糖单层以微细且精确的水平形成炔化合物的分子单层。 构成：制造包含炔化合物的分子单层的方法包括：分子层形成步骤，在基材表面上形成呋喃糖单层; 以及向样品制备工序中形成的呋喃糖单层照射极紫外线的光照射工序。 形成分子单层的方法包括以下步骤：洗涤形成呋喃糖单层的底物; 在洗涤的底物的表面上形成APDES（（3-氨基环戊基）二乙氧基甲基硅烷）分子单层; 并通过使呋喃糖化合物与APDES分子单层反应形成呋喃糖单层。
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公开(公告)号：KR101532170B1
公开(公告)日：2015-06-30
申请号：KR1020140051038
申请日：2014-04-28
Applicant: 주식회사 포스코 , 포항공과대학교 산학협력단
CPC classification number: C23C16/26 , B82Y30/00 , B82Y40/00 , C01B32/186 , C21D1/68 , C21D1/72 , C21D3/04 , C21D8/0284 , C21D8/0484 , C23C8/22 , C23C14/022 , C23C14/0605 , C23C16/02 , C23C16/487 , Y10T428/30 , Y10T428/31678
Abstract: 본발명은그래핀피복강판및 이의제조방법에관한것이다. 본발명의그래핀피복강판은강판; 및상기강판위에형성된그래핀층을포함하고있어, 철의산화등 철의부식을방지할수 있고, 열전도도및 전기전도도가매우우수하며, 그래핀의열적안정성에기인하여우수한내열성을가지는그래핀피복강판을제공할수 있다. 본발명에서는또한, 결점이나불순물이거의없는단일결정형태를띠는매우우수한품질의그래핀으로피복된강판을제조하는방법을제공할수 있다.
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公开(公告)号：KR1020060103627A
公开(公告)日：2006-10-04
申请号：KR1020050025426
申请日：2005-03-28
Applicant: 학교법인 포항공과대학교 , 포항공과대학교 산학협력단
IPC: G01N35/10
Abstract: 본 발명의 진공 챔버 내부로의 시료 이송장치는 진공 챔버 내부에서 시료를 분석함에 있어서, 진공 챔버 내부로 시료 홀더의 이송을 용이하게 하고, 이송된 시료 홀더의 장착을 용이하게 하는 것으로서, 시료를 진공 챔버 내부로 이송하여 장착하며, 시료를 부착하는 시료 홀더, 상기 시료 홀더의 일측에 형성되는 삽입구로 삽입되어 삽입구의 다른 측에 결합되는 돌기를 그 선단에 구비하는 커넥션 로드, 및 상기 커넥션 로드의 시료 홀더 반대측에 결합되는 바아(bar)를 포함한다.
방사광, 가속기, 진공 챔버, 시료, 홀더-
公开(公告)号：KR101178555B1
公开(公告)日：2012-08-30
申请号：KR1020100037993
申请日：2010-04-23
Applicant: 포항공과대학교 산학협력단
Abstract: 일함수가 조절된 그래핀을 형성하는 방법을 제공한다. 상기 방법은 기본 그래핀(pristine graphene)을 준비하고, 알곤 이온(argon ion)을 가속시키고, 가속된 상기 알곤 이온을 상기 기본 그래핀에 조사하여 상기 기본 그래핀의 일함수(work function) 와 다른 일함수를 갖는 변형 그래핀을 형성하는 것을 포함한다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR101067054B1
公开(公告)日：2011-09-22
申请号：KR1020090019437
申请日：2009-03-06
Applicant: 포항공과대학교 산학협력단
IPC: H01L21/306
Abstract: 방향성 다중고리 화합물의 하나인 펜타신으로 구성된 극자외선용 감광막 및 그의 형성 방법을 제공한다. 진공 중에서 펜타신을 고체 시료에 증착시키고, 이에 극자외선을 조사하며, 가열을 통해 노광되지 않은 감광막을 제거한다. 최근 미세화되고 있는 반도체 공정에 이용될 수 있다.
펜타신(Pentacene), 감광제, 감광막, 극자외선-
公开(公告)号：KR100631748B1
公开(公告)日：2006-10-11
申请号：KR1020050025426
申请日：2005-03-28
Applicant: 학교법인 포항공과대학교 , 포항공과대학교 산학협력단
IPC: G01N35/10
Abstract: 본 발명의 진공 챔버 내부로의 시료 이송장치는 진공 챔버 내부에서 시료를 분석함에 있어서, 진공 챔버 내부로 시료 홀더의 이송을 용이하게 하고, 이송된 시료 홀더의 장착을 용이하게 하는 것으로서, 시료를 진공 챔버 내부로 이송하여 장착하며, 시료를 부착하는 시료 홀더, 상기 시료 홀더의 일측에 형성되는 삽입구로 삽입되어 삽입구의 다른 측에 결합되는 돌기를 그 선단에 구비하는 커넥션 로드, 및 상기 커넥션 로드의 시료 홀더 반대측에 결합되는 바아(bar)를 포함한다.
방사광, 가속기, 진공 챔버, 시료, 홀더Abstract translation: 用于将样品转移到真空室中的样品转移装置便于将样品架转移到真空室中并且便于将转移的样品架安装在分析真空室中的样品中。 连接杆插入到形成在样品保持器的一侧处的插入端口中，并且在连接杆的尖端设置有与插入端口的另一侧连接的突起， 还有一个连接到支架另一侧的杆。
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公开(公告)号：KR1020110118408A
公开(公告)日：2011-10-31
申请号：KR1020100037993
申请日：2010-04-23
Applicant: 포항공과대학교 산학협력단
CPC classification number: C01B32/194 , C01B32/184 , H01B1/04
Abstract: 일함수가 조절된 그래핀을 형성하는 방법을 제공한다. 상기 방법은 기본 그래핀(pristine graphene)을 준비하고, 알곤 이온(argon ion)을 가속시키고, 가속된 상기 알곤 이온을 상기 기본 그래핀에 조사하여 상기 기본 그래핀의 일함수(work function) 와 다른 일함수를 갖는 변형 그래핀을 형성하는 것을 포함한다.
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公开(公告)号：KR101027513B1
公开(公告)日：2011-04-06
申请号：KR1020080068395
申请日：2008-07-15
Applicant: 포항공과대학교 산학협력단
Abstract: 본 발명은 퓨록산분자(furoxan molecule)를 이용한 알카인(alkyne)화합물의 단분자막형성방법에 관한 것으로, 본 발명에 따르면 극자외선을 사용하여 극자외선에 의한 퓨록산분자막의 변화를 유도하여 알카인(alkyne)화합물의 단분자막을 국소적으로 기판의 표면상에 형성시킬 수 있기 때문에 선택적으로 미세한 부분에 알카인(alkyne)화합물의 단분자막에 다른 화학분자를 반응시킬 수 있는 기초기술을 제공한다.
퓨록산, 극자외선, 자기조립분자막, 삼중결합-
公开(公告)号：KR1020100100510A
公开(公告)日：2010-09-15
申请号：KR1020090019437
申请日：2009-03-06
Applicant: 포항공과대학교 산학협력단
IPC: H01L21/306
CPC classification number: G03F7/004 , G03F7/2004 , G03F7/42 , H01L21/306
Abstract: PURPOSE: An extreme ultraviolet photoresist film with pentacene and a method for forming the same are provided to be used in a semiconductor process with a width of less than 30 nm by forming the photosensitive film for the extreme ultraviolet radiation having the thickness of less than several nm. CONSTITUTION: The pentacene is evaporated in vacuum on the solid sample by using the thermal evaporation(S200). The solid sample deposited with the pentacene is radiated with the extreme ultraviolet(S210). The pentacene on a portion where the ultra violet ray is not radiated is removed by heating the solid sample deposited with the pentacene(S230).
Abstract translation: 目的：提供一种具有并五苯的极紫外光致抗蚀剂膜及其形成方法，用于宽度小于30nm的半导体工艺中，通过形成厚度小于几毫微米的极紫外辐射感光膜 纳米。 构成：使用热蒸发，并五苯在固体样品上真空蒸发（S200）。 用并五苯沉积的固体样品用极紫外辐射（S210）。 通过加热用并五苯沉积的固体样品，除去未辐射紫外线的部分上的并五苯（S230）。
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