리텐션 밸브를 이용한 원자층 증착 공정의 흐름 정체 시스템

    公开(公告)号:WO2021172746A1

    公开(公告)日:2021-09-02

    申请号:PCT/KR2021/000444

    申请日:2021-01-13

    Abstract: 본 발명의 일 실시예에 따른 리텐션 밸브를 이용한 원자층 증착 공정의 흐름 정체 시스템은 기판과 반응유체를 수용하기 위한 내부공간을 가지는 증착 챔버; 상기 증착 챔버의 내부공간으로 반응유체를 공급하는 유체 공급기; 상기 증착 챔버를 진공 상태로 유지하기 위한 진공 펌프; 상기 증착 챔버에서 상기 진공 펌프로 반응유체가 이동하도록 유로를 제공하는 가스 라인; 상기 가스 라인과 연통되고, 상기 증착 챔버에 수용된 반응유체의 머무름 시간을 조절하는 리텐션 밸브; 및 상기 리텐션 밸브의 작동을 제어하는 컨트롤러를 포함한다.

    프로톤 전도성 산화물 연료전지 및 이의 제조방법
    14.
    发明授权
    프로톤 전도성 산화물 연료전지 및 이의 제조방법 有权
    质子陶瓷燃料电池及其制造方法

    公开(公告)号:KR101680626B1

    公开(公告)日:2016-11-29

    申请号:KR1020140062250

    申请日:2014-05-23

    CPC classification number: Y02P70/56

    Abstract: 본발명은프로톤전도성산화물연료전지및 이의제조방법에관한것으로, 연료극지지체소재로저렴하고, 화학적안정성및 전자전도성이우수한이종물질을선정하고, 상기연료극지지체상에이온전도성및 전자전도성이우수한프로톤전도성산화물및 금속촉매를포함하는중간층을도입함으로써구성층간발생할수 있는계면결함을방지하여단전지의장기안정성을확보하고, 내부저항을감소시켜연료전지의성능을향상시킨다.

    Abstract translation: 本发明涉及一种质子传导性氧化物燃料电池及其制造方法。 本发明的质子传导性氧化物燃料电池使用具有优异的化学稳定性和电子传导性以及作为阳极支撑体中使用的材料的成本效益的异种材料。 本发明的燃料电池还在阳极支撑体上形成由金属催化剂和质子传导性氧化物构成的中间层,其具有优异的离子和电子传导性,从而防止在所述层内发生的界面缺陷。 此外,燃料电池显示出端电池的长期稳定性,并通过降低内阻来提高燃料电池的性能。

    프로톤 전도성 산화물 연료전지 및 이의 제조방법
    15.
    发明公开
    프로톤 전도성 산화물 연료전지 및 이의 제조방법 有权
    原子陶瓷燃料电池及其制造方法

    公开(公告)号:KR1020150134873A

    公开(公告)日:2015-12-02

    申请号:KR1020140062250

    申请日:2014-05-23

    Abstract: 본발명은프로톤전도성산화물연료전지및 이의제조방법에관한것으로, 연료극지지체소재로저렴하고, 화학적안정성및 전자전도성이우수한이종물질을선정하고, 상기연료극지지체상에이온전도성및 전자전도성이우수한프로톤전도성산화물및 금속촉매를포함하는중간층을도입함으로써구성층간발생할수 있는계면결함을방지하여단전지의장기안정성을확보하고, 내부저항을감소시켜연료전지의성능을향상시킨다.

    Abstract translation: 本发明涉及一种质子传导性氧化物燃料电池及其制造方法。 本发明的质子传导性氧化物燃料电池使用具有优异的化学稳定性和电子传导性以及作为阳极支撑体中使用的材料的成本效益的异种材料。 本发明的燃料电池还在阳极支撑体上形成由金属催化剂和质子传导性氧化物构成的中间层,其具有优异的离子和电子传导性,从而防止在所述层内发生的界面缺陷。 此外,燃料电池显示出端电池的长期稳定性,并通过降低内阻来提高燃料电池的性能。

    항균 구조물의 제조 방법
    20.
    发明公开
    항균 구조물의 제조 방법 无效
    抗细菌结构及其制造方法

    公开(公告)号:KR1020160056017A

    公开(公告)日:2016-05-19

    申请号:KR1020140155851

    申请日:2014-11-11

    Abstract: 항균구조물은대상체및 대상체상에형성되며, 광촉매반응에의하여활성산소종(reactive oxygen species)을생성하여항균기능을수행하는실버프리(silver-free) 나노박막을포함한다. 이로써항균구조물은우수한항균효과를가질수 있다.

    Abstract translation: 本发明涉及一种抗菌结构,其特征在于,包括:物体; 以及形成在物体上的无银纳米薄膜,通过光催化反应产生活性氧,进行抗菌功能。 因此,抗菌结构具有优异的抗菌作用。

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