公开(公告)号：KR1020050065900A

公开(公告)日：2005-06-30

申请号：KR1020030097062

申请日：2003-12-26

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 박용우 ,  서동우 ,  류호준 ,  표현봉 ,  백문철 ,  손영준 ,  김남 ,  안준원

IPC: G01J4/04

CPC classification number: G01J4/04 ,  G01J1/0444 ,  G01R13/403 ,  H04N9/3197

Abstract: 본 발명은 집적 광 픽업 헤드(integrated optical pickup head, IOPH)를 광 자기 헤드로 구현하기 위해 필요한 Kerr 각도 측정 모듈에 관한 것이다. 본 발명의 Kerr 측정 모듈은 포토 다이오드, 홀로그래픽(holographic) 입력 커플러, 홀로그래픽 편광빔 분리기, 프리즘 등으로 구성되며, 실리카 기판으로 만들어진 광 도파로 격자렌즈(Focusing waveguide grating coupler)와 결합되어 광 자기 디스크로부터 반사되는 빔의 회전된 편광각을 검출하는 기능을 갖는다. 디스크에 반사된 빔은 격자렌즈에 의해 도파로를 따라 커플링되지만, 그 중 일부는 커플링되지 않고 실리카 기판을 투과하여 입력 커플러로 입사한다. 홀로그래픽 격자로 이루어진 입력 커플러는 홀로그래픽 편광빔 분리기의 빔 입사각을 만든다. 입력 커플러에 의해 회절된 빔 중 p 파는 편광빔 분리기를 투과하고(0차 회절), s 파는 브래그(Bragg) 조건을 만족하는 각도로 회절(1차 회절)한다. 편광 분리된 두 빔은 프리즘을 투과하여 분리되고, 공간적으로 분리된 빔은 포토 다이오드에 의해 각각의 파워가 검출된다.

公开(公告)号：KR1020050008280A

公开(公告)日：2005-01-21

申请号：KR1020030048178

申请日：2003-07-15

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 박용우 ,  백문철 ,  서동우 ,  류호준 ,  손영준 ,  표현봉

IPC: G02B6/12

Abstract: PURPOSE: An optical waveguide grating lens and a method for manufacturing the same are provided to obtain a coupling effect larger than 50% by making the optical coupling to be formed in a direction to the cladding. CONSTITUTION: An optical waveguide grating lens includes a substrate cladding(111), a core layer(112) and a top cladding(113). The core layer is formed thereon the sloped grating. The top cladding is provided with a Fresnel lens formed thereon. The optical waveguide grating lens is characterized in that the Fresnel grating lens focuses the light on the focal point after the single mode is diffracted to the top cladding by the sloped grating.

Abstract translation: 目的：提供一种光波导光栅透镜及其制造方法，通过使光耦合形成在与包层的方向上，获得大于50％的耦合效果。 构成：光波导光栅透镜包括基底包层（111），芯层（112）和顶部覆层（113）。 芯层在其上形成倾斜的光栅。 顶部包层上形成有菲涅耳透镜。 光波导光栅透镜的特征在于，在通过倾斜光栅将单模式衍射到顶部包层之后，菲涅耳光栅透镜将光聚焦在焦点上。

公开(公告)号：KR100461505B1

公开(公告)日：2004-12-14

申请号：KR1020020011404

申请日：2002-03-04

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 백문철 ,  심규환 ,  한기평 ,  김약연 ,  손영준 ,  김태엽 ,  조경익 ,  홍성의 ,  윤순길

IPC: H01L21/84

Abstract: PURPOSE: A method for manufacturing a nitride semiconductor substrate is provided to be capable of reducing manufacturing costs and increasing the area. CONSTITUTION: A buffer layer(11) made of an aluminum nitride(AlN) film is formed on a silicon substrate(10) for buffering lattice mismatch by using MBE(Molecular Bean Epitaxy). An oxide layer(11a) is formed on the buffer layer(11) by performing thermal oxidation processing. A nitride layer(12) is formed on the oxide layer(11a). Then, the silicon substrate(10) is removed.

Abstract translation: 目的：提供一种用于制造氮化物半导体衬底的方法，以能够降低制造成本和增加面积。 构成：在硅衬底（10）上形成由氮化铝（AlN）膜制成的缓冲层（11），以通过使用MBE（分子束外延）缓冲晶格失配。 通过执行热氧化处理在缓冲层（11）上形成氧化物层（11a）。 在氧化物层（11a）上形成氮化物层（12）。 然后，去除硅衬底（10）。

公开(公告)号：KR1020000002824A

公开(公告)日：2000-01-15

申请号：KR1019980023758

申请日：1998-06-23

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 손영준 ,  김도훈 ,  정해빈 ,  박흥옥 ,  김보우

IPC: H01L21/027

Abstract: PURPOSE: A wafer or reticle aligning method is provided to align the wafer or the reticle in an exposing equipment by measuring the horizontal, vertical and revolving errors of the aligning mark. CONSTITUTION: The wafer or reticle aligning method comprises the steps of: marking the aligning marks more than two on the wafer or the reticle; dividing the wafer or the reticle into the two spaces and making each part of the aligning mark existed in each space having the different area or shape from each other; moving the relative position of the aligning ray; and aligning the relative position of the wafer or the reticle by using the time interval between the aligning signals and the relative intensity strength of the aligning signals.

Abstract translation: 目的：提供晶片或掩模版对准方法，通过测量对准标记的水平，垂直和旋转误差来将晶片或掩模版对准曝光设备。 构成：晶片或掩模版对准方法包括以下步骤：在晶片或掩模版上标记两个以上的对准标记; 将晶片或掩模版分成两个空间，并使对准标记的每个部分存在于彼此不同的区域或形状的每个空间中; 移动对准射线的相对位置; 并且通过使用对准信号之间的时间间隔和对准信号的相对强度强度来对准晶片或掩模版的相对位置。

公开(公告)号：KR100593690B1

公开(公告)日：2006-06-30

申请号：KR1020030097062

申请日：2003-12-26

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 박용우 ,  서동우 ,  류호준 ,  표현봉 ,  백문철 ,  손영준 ,  김남 ,  안준원

IPC: G01J4/04

Abstract: 본 발명은 집적 광 픽업 헤드(integrated optical pickup head, IOPH)를 광 자기 헤드로 구현하기 위해 필요한 Kerr 각도 측정 모듈에 관한 것이다. 본 발명의 Kerr 측정 모듈은 포토 다이오드, 홀로그래픽(holographic) 입력 커플러, 홀로그래픽 편광빔 분리기, 프리즘 등으로 구성되며, 실리카 기판으로 만들어진 광 도파로 격자렌즈(Focusing waveguide grating coupler)와 결합되어 광 자기 디스크로부터 반사되는 빔의 회전된 편광각을 검출하는 기능을 갖는다. 디스크에 반사된 빔은 격자렌즈에 의해 도파로를 따라 커플링되지만, 그 중 일부는 커플링되지 않고 실리카 기판을 투과하여 입력 커플러로 입사한다. 홀로그래픽 격자로 이루어진 입력 커플러는 홀로그래픽 편광빔 분리기의 빔 입사각을 만든다. 입력 커플러에 의해 회절된 빔 중 p 파는 편광빔 분리기를 투과하고(0차 회절), s 파는 브래그(Bragg) 조건을 만족하는 각도로 회절(1차 회절)한다. 편광 분리된 두 빔은 프리즘을 투과하여 분리되고, 공간적으로 분리된 빔은 포토 다이오드에 의해 각각의 파워가 검출된다.
격자렌즈, 입력 커플러, 편광빔 분리기, 회절격자, 홀로그래픽

Abstract translation: 本发明涉及实现具有磁光头的集成光学拾取头（IOPH）所需的克尔角测量模块。 本发明的克尔测量装置是一个光电二极管，全息（全息）输入耦合器，全息偏振光束分离器，由棱镜或类似的，在与光学波导光栅透镜组合（聚焦波导光栅耦合器）制成的二氧化硅基体磁光盘的 以及检测从光束反射的光束的旋转偏振角的功能。 光盘上的反射光束通过光栅透镜沿波导耦合，但其中一些透过硅衬底而不耦合并进入输入耦合器。 由全息光栅组成的输入耦合器产生全息偏振分束器的光束入射角。 通过在满足布拉格（布拉格）条件（第一衍射）的角度通过偏振分束器传输的输入耦合器P波，和（零阶衍射）中，s波衍射光束的衍射。 由偏振光分开的两个光束被棱镜透射并分开，并且由光电二极管检测空间分离的光束。

公开(公告)号：KR1020030072528A

公开(公告)日：2003-09-15

申请号：KR1020020011404

申请日：2002-03-04

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 백문철 ,  심규환 ,  한기평 ,  김약연 ,  손영준 ,  김태엽 ,  조경익 ,  홍성의 ,  윤순길

IPC: H01L21/84

Abstract: PURPOSE: A method for manufacturing a nitride semiconductor substrate is provided to be capable of reducing manufacturing costs and increasing the area. CONSTITUTION: A buffer layer(11) made of an aluminum nitride(AlN) film is formed on a silicon substrate(10) for buffering lattice mismatch by using MBE(Molecular Bean Epitaxy). An oxide layer(11a) is formed on the buffer layer(11) by performing thermal oxidation processing. A nitride layer(12) is formed on the oxide layer(11a). Then, the silicon substrate(10) is removed.

Abstract translation: 目的：提供一种制造氮化物半导体衬底的方法，以能够降低制造成本并增加面积。 构成：通过使用MBE（Molecular Bean Epitaxy）在硅衬底（10）上形成由氮化铝（AlN）膜制成的缓冲层（11），用于缓冲晶格失配。 通过进行热氧化处理，在缓冲层（11）上形成氧化物层（11a）。 在氧化物层（11a）上形成氮化物层（12）。 然后，去除硅衬底（10）。

公开(公告)号：KR1020020051212A

公开(公告)日：2002-06-28

申请号：KR1020000080800

申请日：2000-12-22

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 한기평 ,  손영준 ,  김태엽 ,  백문철 ,  조경익

IPC: G11B7/124 ,  G11B7/1353 ,  G11B7/1387

Abstract: PURPOSE: An optical data storage device using an SIL(Solid Immersion Lens) and a waveguide diffraction grating coupler is provided to install an optical storage head device combining the waveguide diffraction grating coupler with the SIL and a cartridge, and to use an optical fiber for inducing light, thereby obtaining high storage density without polluting a head of an optical storage device and a storage medium. CONSTITUTION: A recording medium(101) rotates on the basis of the first rotation hub in a cartridge. One end of a rotary arm(102) is fixed into the second rotation hub in the cartridge. A flying head(104) is attached to a free end of the rotary arm, and writes data on the recording medium or reads the data from the recording medium. An optical waveguide is installed up to outside of the cartridge from the flying head. The rotary arm rotates within an angle where the rotary arm is capable of guiding the flying head up to an utmost inner track from an utmost outer track of the cartridge.

Abstract translation: 目的：提供使用SIL（固体浸没透镜）和波导衍射光栅耦合器的光学数据存储装置，以安装将波导衍射光栅耦合器与SIL和盒组合在一起的光存储头装置，并使用光纤 诱导光，从而获得高存储密度而不污染光学存储装置和存储介质的头部。 构成：记录介质（101）基于盒中的第一旋转毂旋转。 旋转臂（102）的一端固定在盒中的第二旋转毂中。 飞头（104）附接到旋转臂的自由端，并将数据写入记录介质或从记录介质读取数据。 光学波导从飞头安装到盒的外部。 旋转臂在旋转臂能够从盒的最外侧轨迹引导飞头到最大内轨的角度内旋转。

公开(公告)号：KR100258175B1

公开(公告)日：2000-06-01

申请号：KR1019970075365

申请日：1997-12-27

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 김도훈 ,  손영준 ,  권진혁 ,  정해빈 ,  김보우

IPC: H01L21/027

Abstract: PURPOSE: A method and an apparatus for aligning a reticle are provided to measure the rotation of the reticle and to achieve the high accuracy of a position alignment by using a position sensing device. CONSTITUTION: A reticle aligning device comprises a semiconductor laser module(201) including a semiconductor laser(210) and a collimator lens(211) for generating a parallel laser beam(202). A prism(203) is provided to refract the parallel laser beam(202) generated from the semiconductor layer module(201) at a right angle. Slits(205) are formed in a reticle(204) to allow the refracted laser beam to pass through the reticle(204). A position sensing device(206) is provided to detect the position of the parallel laser beam which passes through the slit(205) of the reticle(204).

Abstract translation: 目的：提供一种用于校准掩模版的方法和装置，以测量标线的旋转，并通过使用位置检测装置实现位置对准的高精度。 构成：掩模版对准装置包括半导体激光器模块（201），其包括用于产生平行激光束（202）的半导体激光器（210）和准直透镜（211）。 提供棱镜（203）以使直角从半导体层模块（201）产生的平行激光束（202）折射。 狭缝（205）形成在掩模版（204）中以允许折射的激光束通过标线（204）。 设置位置检测装置（206）以检测穿过标线（204）的狭缝（205）的平行激光束的位置。

公开(公告)号：KR100516919B1

公开(公告)日：2005-09-27

申请号：KR1020030047637

申请日：2003-07-12

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 박용우 ,  손영준 ,  백문철 ,  서동우 ,  류호준 ,  표현봉

IPC: G02B6/12

Abstract: 본 발명은 광 커플링 효율(coupling efficiency)을 향상시킬 수 있는 광 도파로 격자 렌즈(Focusing waveguide grating coupler, FWGC) 및 이를 이용한 광 픽업 헤드(optical pickup head)에 관한 것으로, 평면 도파로(planar waveguide), 단일 빔 출력 도파로 격자 커플러(waveguide grating for one-beam coupling), 프레넬(Fresnel) 격자 렌즈로 구성된다. 평면 도파로를 통해 도파되는 단일 모드(single mode)가 단일 빔 출력 도파로 격자 커플러에 의해 기판 클래딩(substrate cladding) 쪽으로 커플링된다. 모드로부터 빠져 나온 빔은 모드 진행 방향의 반대쪽과 기판을 향하여 전파하다가 반사형 프레넬 렌즈에 의해 회절되어 상부 클래딩(over cladding) 밖으로 빠져 나오면서 초점으로 모인다. 기존의 광 도파로 격자 렌즈가 클래딩 쪽과 기판 쪽으로 각각 50%의 커플링 효율을 갖는 반면, 본 발명의 광 도파로 격자 렌즈는 단일 출력빔을 만들어내므로 50% 이상의 커플링 효율을 얻을 수 있다.

公开(公告)号：KR1020050065901A

公开(公告)日：2005-06-30

申请号：KR1020030097063

申请日：2003-12-26

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 백문철 ,  손영준 ,  서동우 ,  류호준 ,  표현봉 ,  박용우

IPC: G02B6/34

CPC classification number: G11B7/1353 ,  G02B6/124

Abstract: 본 발명은 평면 격자렌즈에 관한 것으로, 기판 위에 형성된 클래드층 및 코어층을 포함하여 구성되며 입사되는 레이저 광을 단일모드로 유지하는 광도파로와, 코어층 상부의 일정영역에 소정 길이의 격자 간격을 갖도록 형성되는 격자렌즈를 구비하되, 광도파로로 입사된 광은 격자렌즈의 수직방향으로 초점을 형성하도록 구성한다. 본 평면 격자렌즈를 이용하면, 모바일 광디스크 용 초소형 픽업 헤드에 사용할 수 있도록 한다.