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公开(公告)号：KR1020090022155A
公开(公告)日：2009-03-04
申请号：KR1020070087261
申请日：2007-08-29
Applicant: 한국전자통신연구원
CPC classification number: G01P15/125 , G01P13/04 , G01H11/06 , H03D2200/007
Abstract: A bipolar driver circuit for detecting the vibration polarity or size of a capacitance type MEMS vibration sensor is provided to sense size or polarity of vibration with a polarity sense circuit using the electrostatic capacity - time variation operation. A bipolar driver circuit for detecting the vibration polarity or size of a capacitance type MEMS vibration sensor comprises an electrostatic capacity - time conversion unit(20) producing an enable signal having the amount of time change corresponding to the capacitance variation of the capacitance type MEMS vibration sensor(10); a vibration detection part(30) detecting polarity and size of vibration by using the enable signal; and an output unit(40) outputting polarity and size of the sensed vibration as the digital value.
Abstract translation: 提供用于检测电容式MEMS振动传感器的振动极性或尺寸的双极性驱动器电路，以使用静电容量 - 时间变化操作来利用极性感测电路感测振动的尺寸或极性。 用于检测电容型MEMS振动传感器的振动极性或尺寸的双极驱动电路包括静电电容 - 时间转换单元（20），产生具有对应于电容型MEMS振动的电容变化的时间变化量的使能信号 传感器（10）; 振动检测部（30），利用所述使能信号检测振动的极性和大小; 以及输出单元（40），其输出感测振动的极性和大小作为数字值。
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公开(公告)号：KR100833508B1
公开(公告)日：2008-05-29
申请号：KR1020060124132
申请日：2006-12-07
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01L29/00
CPC classification number: B81C1/0023 , B81B2207/012 , B81B2207/096 , B81C2203/0118 , H01L2224/13
Abstract: A MEMS(Micro Electro-Mechanical System) package and a method thereof are provided to improve yield by bonding the MEMS device and a driving electronic device directly. A MEMS package comprises an MEMS device(100) and a driving electronic device(200). The MEMS device is made up of an MEMS structure(114) formed on a substrate; a first pad electrode(116) for driving the MEMS structure; a first sealing unit(118) formed at the edge portion of the substrate; and a connection unit(120) formed on the first pad electrode and the first sealing unit. The driving electronic device comprises a second pad electrode(206) and a second sealing unit(208) corresponding to the first pad electrode and the first sealing unit respectively. And the driving electronic device is bonded with the MEMS device.
Abstract translation: 提供MEMS（微机电系统）封装及其方法，以通过直接连接MEMS器件和驱动电子器件来提高产量。 MEMS封装包括MEMS器件（100）和驱动电子器件（200）。 MEMS器件由形成在衬底上的MEMS结构（114）组成; 用于驱动MEMS结构的第一焊盘电极（116）; 形成在所述基板的边缘部的第一密封单元（118） 以及形成在所述第一焊盘电极和所述第一密封单元上的连接单元（120）。 驱动电子设备包括分别对应于第一焊盘电极和第一密封单元的第二焊盘电极（206）和第二密封单元（208）。 并且驱动电子器件与MEMS器件结合。
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公开(公告)号：KR101764314B1
公开(公告)日：2017-08-04
申请号：KR1020110108577
申请日：2011-10-24
Applicant: 한국전자통신연구원
CPC classification number: H04R19/005 , H01L2224/48091 , H01L2224/48137 , H01L2924/15151 , H04R19/04 , H04R31/00 , Y10T29/49005 , H01L2924/00014
Abstract: 패키징공정에서쉽게발생하는진동판의손상을억제하고, 안정적인구조를가지는음향센서및 그제조방법이제공된다. 본발명의일 실시예에의한음향센서의제조방법은, 기판상부에하부전극을형성하고, 상기하부전극에에칭홀을형성하고, 상기에칭홀이형성된하부전극상부에희생층을형성하고, 상기희생층상부에진동판을결합하여음향센서부를형성하는단계, 상기음향센서부의기판하부가음압입력홀을통해외부에노출되도록상기음압입력홀이형성된인쇄회로기판에결합하는단계, 상기인쇄회로기판상에상기음향센서부를덮는덮개를부착하는단계, 상기음향센서부의기판을식각하여음향챔버를형성하는단계및 상기희생층을제거하는단계를포함한다.
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公开(公告)号：KR1020150049193A
公开(公告)日：2015-05-08
申请号：KR1020130129427
申请日：2013-10-29
Applicant: 한국전자통신연구원
CPC classification number: H04R19/005 , H04R2201/003
Abstract: 음향센서및 그제조방법이제공된다. 본발명의개념에따른음향센서제1 관통홀의측벽을덮으며, 기판의상면으로연장되는하부전극패드; 제2 관통홀의측벽을덮으며, 기판의상면으로연장되는진동판패드; 상기음향챔버상에제공되며, 상기하부전극패드와연결되는하부전극; 및상기기판의상면상에서, 상기하부전극과이격되며, 상기진동판패드와연결되는진동판을포함할수 있다.
Abstract translation: 公开了一种声传感器及其制造方法。 根据本发明，声传感器包括：下电极焊盘，其覆盖声传感器的第一通孔并延伸到衬底的上侧; 隔膜垫，其覆盖第二通孔的侧壁并延伸到所述基板的上侧; 下电极，设置在声室上并连接到下电极焊盘; 以及与基板的上侧的下部电极分离并与膜片垫连接的隔膜。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR100964971B1
公开(公告)日：2010-06-21
申请号：KR1020070125467
申请日：2007-12-05
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01L29/84
CPC classification number: G01L9/0042 , Y10T29/42 , Y10T29/49
Abstract: 본 발명은 초소형 반도체식 압력센서 및 그 제조 방법에 관한 것으로서, 기판의 공동 형성 영역을 트랜치 식각하여 복수의 트랜치를 형성하고, 상기 복수의 트랜치를 열적 산화 공정을 통해 산화시켜, 캐비티 형성용 산화막을 형성한 후, 상기 캐비티 형성용 산화막 및 기판의 상부에 맴브레인 모재용 물질막을 형성하고, 상기 맴브레인 모재용 물질막에 복수의 식각홀을 형성하여, 상기 복수의 식각홀을 통해 상기 캐비티 형성용 산화막을 제거함에 의해, 상기 기판에 매몰된 공동을 형성하며, 상기 맴브레인 모재용 물질막의 상부에 맴브레인 보강층을 형성하여, 공동을 밀폐하는 맴브레인막을 형성하고, 상기 맴브레인막의 상부에 압저항형 소재로 이루어진 감지막을 형성함에 의해 구현된다.
MEMS, 압력 센서, 압저항형, CMOS, 공동, 맴브레인-
公开(公告)号：KR100934217B1
公开(公告)日：2009-12-29
申请号：KR1020070127880
申请日：2007-12-10
Applicant: 한국전자통신연구원
CPC classification number: G01H11/02
Abstract: There is provided a micromachined sensor for measuring a vibration, based on silicone micromachining technology, in which a conductor having elasticity is connected to masses moving due to a force generated by the vibration and the vibration is measured by using induced electromotive force generated due to the conductor moving in a magnetic field.
Abstract translation: 提供了一种基于有机硅微机械加工技术的用于测量振动的微机械传感器，其中具有弹性的导体与由于振动产生的力而移动的质量连接，并且通过使用由于该振动产生的感应电动力来测量振动 导体在磁场中移动。
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公开(公告)号：KR1020090130671A
公开(公告)日：2009-12-24
申请号：KR1020080056396
申请日：2008-06-16
Applicant: 한국전자통신연구원 , 한국산업기술대학교산학협력단
IPC: G01P15/08 , G01P15/097
CPC classification number: G01P15/125
Abstract: PURPOSE: A vertical acceleration measuring system is provided to prevent malfunction by removing the change of whole capacitance through offsetting. CONSTITUTION: A fixture(601) supports a fixing part and a moving part. A connection spring(617) connects the fixture and an operational electrode plate support part(615). The connection spring supports the elasticity to the moving part. The connection spring transmits current to the operational electrode plate. The operational electrode plate supporting part supports a first operational electrode plate(603). The operational electrode plate supporting part is made of conductive materials. The first operational electrode plate and the second operational electrode plate(605) measure the displacement according to the acceleration. The first and the second operational electrode plates and the first and second fixing electrode plates(611,613) function as a parallel plate capacitor. A mass sinker(621) applies mass on the moving part.
Abstract translation: 目的：提供垂直加速度测量系统，通过抵消整个电容的变化来防止故障。 构成：固定装置（601）支撑固定部件和移动部件。 连接弹簧（617）连接固定装置和操作电极板支撑部分（615）。 连接弹簧支撑到移动部件的弹性。 连接弹簧将电流传递到操作电极板。 操作电极板支撑部件支撑第一操作电极板（603）。 操作电极板支撑部分由导电材料制成。 第一操作电极板和第二操作电极板（605）根据加速度测量位移。 第一和第二操作电极板以及第一和第二固定电极板（611,613）用作平行板电容器。 质量沉降片（621）在移动部件上施加质量。
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公开(公告)号：KR100907826B1
公开(公告)日：2009-07-14
申请号：KR1020070087256
申请日：2007-08-29
Applicant: 한국전자통신연구원
Abstract: A three-dimensional inclination angle calculation circuit is provided. The three-dimensional inclination angle calculation circuit includes: X-axis, Y-axis, and Z-axis vibration sensors which change X-axis, Y-axis, and Z-axis electrostatic capacitances according to three-dimensional positions of a measured plane with respect to a reference plane, respectively; X-axis, Y-axis, and Z-axis position value acquisition units which acquire X-axis, Y-axis, and Z-axis position values corresponding to the X-axis, Y-axis, and Z-axis electrostatic capacitances, respectively; and an inclination angle calculation unit which calculates an inclination angle of the measured plane with respect to the reference plane based on the X-axis, Y-axis, and Z-axis position values. Accordingly, it is possible to very easily calculate an inclination angle according to a three-dimensional position of a to-be-measured apparatus by using an existing vibration sensor.
Abstract translation: 提供三维倾角计算电路。 三维倾斜角度计算电路包括：根据测量平面的三维位置改变X轴，Y轴和Z轴静电电容的X轴，Y轴和Z轴振动传感器 相对于参考平面分别; 获取对应于X轴，Y轴和Z轴静电电容的X轴，Y轴和Z轴位置值的X轴，Y轴和Z轴位置值获取单元， 分别; 以及倾斜角度计算单元，其基于所述X轴，Y轴和Z轴位置值来计算所测量的平面相对于所述参考平面的倾斜角。 因此，通过使用现有的振动传感器，能够非常容易地根据被测定装置的三维位置来计算倾斜角度。
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公开(公告)号：KR100899812B1
公开(公告)日：2009-05-27
申请号：KR1020070043804
申请日：2007-05-04
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: G01P3/483 , G01P15/125
CPC classification number: G01P15/125 , G01P15/0802
Abstract: 종래의 정전용량형 가속도계는 감지 전극과 기준 전극의 간격을 감소시키는 데 한계가 있으며, 복잡한 공정이 요구되며, 공정에 의해 발생하는 간극의 오차를 보정할 수 있는 방법이 별도로 필요한 단점이 있었다. 본 발명의 정전용량형 가속도계는 기준 전극과 감지 전극의 간격을 매우 좁게 유지할 수 있기 때문에 감지 성능이 매우 우수하고 간단한 공정으로 제조할 수 있을 뿐만 아니라, 공정에 의한 성능 편차를 없애거나 크게 줄일 수 있어 소자의 개별 보정이 불필요한 장점이 있다.
가속도계, 정전용량, 감지전극, 기준전극, 멈추개, 구동부
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