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公开(公告)号：KR100550008B1
公开(公告)日：2006-02-08
申请号：KR1020030007992
申请日：2003-02-08
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: C07D273/01 , H01L29/04
Abstract: 유기 박막 트랜지스터 소자 제작에 사용될 수 있는 유기 반도체 물질인 펜타센(pentacene)의 전구체(precusor)로 가용성의 펜타센 유도체들과 이들의 제조 방법 및 펜타센 박막 제조 방법에 관하여 개시한다. 본 발명에 따른 펜타센 유도체는 펜타센과 디에노파일(dienophile)과의 딜스-알더(Diels-Alder) 반응 생성물로 이루어진다. 펜타센 유도체를 제조하기 위하여 펜타센과 디에노파일을 유기 용매에서 딜스-알더(Diels-Alder) 반응시킨 후, 상기 딜스-알더 반응 생성물을 정제한다. 이와 같이 얻어진 펜타센 유도체를 사용하여 펜타센 유도체 용액을 형성한 후, 형성된 펜타센 유도체 용액을 상온에서 200 ℃의 온도로 가열(pyrolysis)하여 진공증착 또는 용액 공정을 이용하여 펜타센 박막을 형성한다.
펜타센 유도체, 딜스-알더 반응, 디에노파일(dienophile), 저온 공정-
公开(公告)号：KR100521697B1
公开(公告)日：2005-10-14
申请号：KR1020030087487
申请日：2003-12-04
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: C23C16/00
Abstract: 시간 분할 급속 가열 폴리머(polymer) 박막 증착 장치 및 방법을 제시한다. 본 발명의 일 관점에 따른 증착 장비는, 반응 챔버, 기판 지지부, 기판 기판 냉각부, 폴리머 박막 증착에 참여할 증착 소스 기상 및 폴리머화를 위한 활성화제 기상을 교번적으로 기판 상에 공급하는 샤워링(shower ring), 활성화제 기상을 활성화하는 데 도움을 주는 열적 에너지를 제공하는 제1가열부를 포함하여 구성되고, 또한, 샤워 링으로 제공될 증착 소스 기상을 위한 증착 소스를 담는 증착 소스통, 활성화제 소스를 담는 활성화제 소스통, 증착 소스통 및 활성화제 소스통을 가열하는 제2가열부, 및 증착 소스의 기상 및 활성화제 기상이 시간 분할에 따라 선택적으로 상호 독립적으로 샤워링으로 이송되도록 허용하는 이송로를 포함하여 구성된다.
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公开(公告)号：KR1020050054153A
公开(公告)日：2005-06-10
申请号：KR1020030087487
申请日：2003-12-04
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: C23C16/00
CPC classification number: C23C16/52 , B05D1/60 , C23C16/4485 , C23C16/45565 , C23C16/482 , Y10S261/65
Abstract: 시간 분할 급속 가열 폴리머(polymer) 박막 증착 장치 및 방법을 제시한다. 본 발명의 일 관점에 따른 증착 장비는, 반응 챔버, 기판 지지부, 기판 기판 냉각부, 폴리머 박막 증착에 참여할 증착 소스 기상 및 폴리머화를 위한 활성화제 기상을 교번적으로 기판 상에 공급하는 샤워링(shower ring), 활성화제 기상을 활성화하는 데 도움을 주는 열적 에너지를 제공하는 제1가열부를 포함하여 구성되고, 또한, 샤워 링으로 제공될 증착 소스 기상을 위한 증착 소스를 담는 증착 소스통, 활성화제 소스를 담는 활성화제 소스통, 증착 소스통 및 활성화제 소스통을 가열하는 제2가열부, 및 증착 소스의 기상 및 활성화제 기상이 시간 분할에 따라 선택적으로 상호 독립적으로 샤워링으로 이송되도록 허용하는 이송로를 포함하여 구성된다.
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公开(公告)号：KR100473806B1
公开(公告)日：2005-03-10
申请号：KR1020020059133
申请日：2002-09-28
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01L21/20
CPC classification number: C23C14/228 , C23C14/12 , C23C14/243
Abstract: 본 발명은 유기물 박막 및 유기물 소자를 위한 대면적 유기물 기상 증착 장치 및 제조 방법을 제공한다. 본 발명의 일관점에 따르는 유기물 기상 증착 장치는 크게 증착부와 소스부(source part)를 포함하여 구성되며, 증착부는 반응 챔버와, 반응 챔버 내에 설치되어 도입되는 기판을 지지하는 기판 지지부, 기판 지지부에 설치되어 기판의 온도를 조절하는 기판 온도 조절부, 및 기판 지지부에 대향되게 반응 챔버 내에 설치되어 증착 반응에 참여할 유기물 소스 기상(organic source gas phase)을 기판 상으로 균일하게 분배하는 샤워헤드(shower head)를 포함하여 구성되고, 소스부는 샤워 헤드로 제공될 유기물 소스 기상을 발생시키는 소스 챔버(source chamber)와, 소스 챔버를 감싸 소스 챔버에서 유기물 소스 기상이 유기물 재료로부터 기화되도록 허용하고 유량 조절계에 의해 제어되어 공급되는 이송 가스, 희석 가스, 유기물 소스 기상의 이송로 및 제어 밸브들을 가열하 는 가열부, 유기물 소스 기상을 반응 챔버로 이송하기 위한 이송 가스를 제공하는 이송 가스 공급원 및 희석 가스 공급원을 포함하여 구성된다.
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公开(公告)号：KR1020040072067A
公开(公告)日：2004-08-18
申请号：KR1020030007992
申请日：2003-02-08
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: C07D273/01 , H01L29/04
Abstract: PURPOSE: Pentacene derivatives, a method for preparing the same, and a method for preparing pentacene thin film are provided, thereby improving solubility of pentacene derivatives to organic solvent, so that the pentacene thin film can be prepared by Diels-Alder reaction through pyrolysis without using a vacuum device. CONSTITUTION: The pentacene derivatives are provided, wherein R1 is hydrogen, halogen, alkoxy, amino, hydroxy, thiol, nitro or cyano optionally substituted C1-C10 alkyl, optionally substituted C5-C10 cycloalkyl, or optionally substituted C5-C10 aromatic carbohydrate. The method for preparing the pentacene derivatives comprises the steps of: Diels-Alder reacting pentacene with dienophile in organic solvent of hydrogen, halogen, alkoxy, amino, hydroxy, thiol, nitro or cyano optionally substituted C1-C10 aromatic compounds at -40 deg. C to circulation temperature of the organic solvent; and purifying the Diels-Alder reaction products by using column chromatography. The method for preparing pentacene thin film comprises pyrolysis of the Diels-Alder reacted pentacene derivatives at 200 deg. C by using thermal evaporation, or solution based process such as spin coating, inkjet printing, screen printing and dipping.
Abstract translation: 目的：并五苯衍生物，其制备方法及其制备并五苯薄膜的方法，提高并五苯衍生物对有机溶剂的溶解度，使得并五苯薄膜可以通过热解法制备狄尔斯 - 阿尔德反应， 使用真空装置。 构成：提供并五苯衍生物，其中R 1为氢，卤素，烷氧基，氨基，羟基，硫醇，硝基或氰基任选取代的C 1 -C 10烷基，任选取代的C 5 -C 10环烷基或任选取代的C 5 -C 10芳族碳水化合物。 并五苯衍生物的制备方法包括以下步骤：狄尔斯 - 阿尔德在-40℃下将并五苯与亲二烯体在氢，卤素，烷氧基，氨基，羟基，硫醇，硝基或氰基任选取代的C 1 -C 10芳族化合物的有机溶剂中反应。 C到有机溶剂的循环温度; 并通过柱色谱纯化狄尔斯 - 阿尔德反应产物。 制备并五苯薄膜的方法包括在200℃下狄尔斯 - 阿尔德反应并五苯衍生物的热解。 C通过使用热蒸发或溶液基工艺如旋涂，喷墨印刷，丝网印刷和浸渍。
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Patent Agency Ranking16.发明公开생체 분자 또는 고분자 어레이 형성용 프로그래머블마스크 및 이를 이용한 생체 분자 또는 고분자 어레이형성 방법 失效用于形成生物分子或聚合物阵列的可编程掩模和使用其生产生物分子或聚合物阵列的方法
公开(公告)号：KR1020040041823A
公开(公告)日：2004-05-20
申请号：KR1020020069882
申请日：2002-11-12
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: C12Q1/68
Abstract: PURPOSE: A programmable mask for forming a biomolecule or polymer array and a method for producing the biomolecule or polymer array using the same are provided, thereby easily and cheaply forming the array with high density, and producing the biomolecule or polymer with high purity. CONSTITUTION: A programmable mask for forming a biomolecule or polymer array comprises an unit pixel of array and a driver circuit portion for selectively supplying the electric power to each pixel, wherein the each unit pixel comprises a solution containing charged particles inhibiting the progression of incident light and moved by electrophoresis, and an electrode for supplying the electric power to the particles for controlling the permeability of the incident light by change of the particle arrangement, wherein the solution is suspending fluid consisting of fluid and numerous charged particles; and the particles are barium sulphate, kaolin, zinc oxide or TiO2 particles with a size of 500 to 3000 angstrom.
Abstract translation: 目的：提供用于形成生物分子或聚合物阵列的可编程掩模和使用其制备生物分子或聚合物阵列的方法，从而容易且便宜地以高密度形成阵列，并且生产高纯度的生物分子或聚合物。 构成：用于形成生物分子或聚合物阵列的可编程掩模包括阵列的单位像素和用于选择性地向每个像素提供电力的驱动器电路部分，其中每个单位像素包括含有抑制入射光的进行的带电粒子的溶液 并通过电泳移动;以及电极，用于向粒子供给电力，用于通过粒子排列的改变来控制入射光的透过率，其中该溶液是由流体和许多带电粒子组成的悬浮液; 并且颗粒是尺寸为500至3000埃的硫酸钡，高岭土，氧化锌或TiO 2颗粒。
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公开(公告)号：KR1020040033332A
公开(公告)日：2004-04-28
申请号：KR1020020061486
申请日：2002-10-09
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: G02F1/167
Abstract: PURPOSE: Charged particles for an electrophoresis display coated with a functional organic compound, and a method for manufacturing the same are provided to easily manufacture charged particles having the high mobility, the reflexibility, and the bistability. CONSTITUTION: A colloid solution formed of dispersed inorganic oxide particles is formed in a solvent(10). A uniform mixture is formed by mixing a functional organic compound with the colloid solution(20). A temperature of the mixture is decreased while being agitated so that crystals are formed by coating the inorganic oxide particles with the crystallized organic particles(30). The formed crystals are dividedly purified(40). A control agent for electric charges is attached to surfaces of the crystals(50).
Abstract translation: 目的：提供涂布有功能性有机化合物的电泳显示器的带电粒子及其制造方法，以容易地制造具有高迁移率，反射性和双稳性的带电粒子。 构成：在溶剂（10）中形成由分散的无机氧化物颗粒形成的胶体溶液。 通过将功能性有机化合物与胶体溶液（20）混合形成均匀的混合物。 在搅拌的同时，混合物的温度降低，从而通过用结晶的有机颗粒（30）涂覆无机氧化物颗粒而形成晶体。 将形成的晶体分开纯化（40）。 用于电荷的控制剂附着在晶体（50）的表面上。
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公开(公告)号：KR100426495B1
公开(公告)日：2004-04-14
申请号：KR1020010086832
申请日：2001-12-28
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01L27/102 , B82Y40/00
CPC classification number: H01L51/0504 , B82Y10/00 , H01L51/0048
Abstract: The present invention relates to a semiconductor device using a single carbon nanotube and a method of manufacturing the same. In a process of manufacturing a bipolar transistor using a p-n junction, a given region of a single carbon nanotube of a N type is exposed by means of a common semiconductor manufacturing process and the exposed portion of a carbon nanotube of a P type is then made to be a carbon a single carbon nanotube of a N type by means of a doping process, thus forming a P-N-P or N-P-N bipolar transistor. Therefore, the present invention can improve the integration degree and the operating speed of the device.
Abstract translation: 本发明涉及使用单个碳纳米管的半导体器件及其制造方法。 在使用pn结制造双极晶体管的过程中，通过共同的半导体制造工艺暴露N型单个碳纳米管的给定区域，然后制成P型碳纳米管的暴露部分 通过掺杂工艺成为N型单碳纳米管的碳，从而形成PNP或NPN双极晶体管。 因此，本发明可以提高装置的集成度和运行速度。
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公开(公告)号：KR1020040014029A
公开(公告)日：2004-02-14
申请号：KR1020020047195
申请日：2002-08-09
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: G02F1/167
CPC classification number: G02F1/167
Abstract: PURPOSE: An electrophoresis display is provided to solve a problem of agglomeration of two charged particles and a problem of a reaction time difference between two charged particles when an electric field is applied. CONSTITUTION: A bottom electrode(103) is located on a bottom film(101). A bottom electrode protection film(105) is formed on the above bottom electrode. A plurality of micro capsules(107) are formed on the bottom electrode protection film(105) and are coated or capsulated in a micro size and do not operate distinctly by an electric field. A particle(111) and/or a transparent fluid(109) are included in the micro capsule and have one visual color. A charged particle(113) is distributed between the plurality of micro capsules and has a different visual color and is distributed in the dielectric fluid as operating distinctly by an electric field. And a top electrode protection film(115) and a top electrode(117) are located on the micro capsule in sequence.
Abstract translation: 目的：提供电泳显示器来解决两个带电粒子的团聚问题，以及当施加电场时两个带电粒子之间的反应时间差的问题。 构成：底部电极（103）位于底部薄膜（101）上。 底部电极保护膜（105）形成在上述底部电极上。 多个微胶囊（107）形成在底部电极保护膜（105）上，并且以微小的尺寸涂覆或封装，并且不会被电场明显地操作。 颗粒（111）和/或透明流体（109）包括在微胶囊中并具有一种视觉颜色。 带电粒子（113）分布在多个微胶囊之间并且具有不同的视觉色彩，并且分布在介电流体中，由电场明显地操作。 并且顶部电极保护膜（115）和顶部电极（117）依次位于微胶囊上。
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公开(公告)号：KR101904953B1
公开(公告)日：2018-10-10
申请号：KR1020120134655
申请日：2012-11-26
CPC classification number: H01L51/5268 , C23C14/12 , G02B5/0242 , G02B5/0247 , H01L51/56 , H01L2251/5315
Abstract: 본발명의일 실시예에따른유기산란층의제조방법은반응챔버와소스챔버를포함하는증착장치를제공하고, 기판을상기반응챔버내에고정하는것, 상기반응챔버와연결되며기화된유기물소스를공급하는상기소스챔버에 25°C 내지 50°C의이송가스를공급하는것, 상기이송가스와상기기화된유기물소스가샤워해드를통하여상기반응챔버내로분사되는것, 및상기기화된유기물소스가분자화되어형성된유기입자들이상기기판상에증착되어불균일한표면을유기산란층을형성하는것을포함한다.
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