Abstract:
The present invention relates to a deposition device for an organic-inorganic hybrid thin film and a method for manufacturing an organic-inorganic hybrid thin film using the same. In the deposition device for an organic-inorganic hybrid thin film, an atomic layer deposition chamber for the deposition of inorganic matters and a thermal deposition chamber for the depositing of organic matters are vertically connected. A gate valve is arranged in a connection path connecting the chambers. An injection port for supplying an inorganic deposition source is arranged in the atomic layer deposition chamber. A unit for heating an organic deposition source is arranged in the thermal deposition chamber. In the formation of a molecular organic-inorganic thin film, the present invention can form the multi-layered physical thin film of the organic and inorganic layers using a thermal deposition method and an atomic layer deposition method and the multi-layered thin film of the organic and inorganic layers through a chemical combination on the interface of the organic and inorganic layers.
Abstract:
A transfer sheet is obtained by removing a base material after forming a metal oxide/nitride/sulfide thin film and a polymer support layer on the base material. The transfer sheet is used for transferring the metal oxide/nitride/sulfide thin film by removing the polymer support layer after the polymer support layer is attached to the desired base material. Various electronic devices using a graphene electrode and the like are easily used by forming the transferred metal oxide/nitride/sulfide thin film with a desired thickness.
Abstract:
본 발명은 유기-무기 하이브리드 박막 증착 장치 및 이를 통한 유기-무기 하이브리드 박막 제조 방법에 관한 것으로, 무기물 증착을 위한 원자층 증착 챔버와 유기물 증착을 위한 열 증착 챔버가 상하로 연결되어 있고, 상기 챔버들을 연결하는 연결 통로에 게이트 밸브가 배치되어 있으며, 상기 원자층 증착 챔버에는 무기물 증착원을 공급하기 위한 주입구가 구비되어 있고, 상기 열 증착 챔버에는 유기물 증착원을 가열하기 위한 수단이 구비되어 있는, 유기-무기 하이브리드 박막 증착 장치를 제공한다. 본 발명에 따르면, 분자 단위의 유기-무기 박막 형성에 있어서 열 증착법과 원자층 증착법을 이용하여 유기층/무기층의 물리적 다층 박막과 유기층과 무기층의 계면에서의 화학적 결합에 의한 유기층/무기층의 다층 박막을 형성할 수 있다.