오버헤드 크레인의 자동 감속장치
    17.
    发明公开
    오버헤드 크레인의 자동 감속장치 无效
    桥式起重机的自动减速装置

    公开(公告)号:KR1019990032665A

    公开(公告)日:1999-05-15

    申请号:KR1019970053760

    申请日:1997-10-20

    Inventor: 김현수

    Abstract: 본 발명은 생산라인에서 각종 중량물을 이동할 때에 사용하는 오버헤드 크레인에 감속 리밋스위치를 장착함으로써, 크랩이 일정영역에 도달하는 경우에는 곧바로 모터에 신호를 보내 속도를 줄여 충돌사고를 예방할 수 있는 오버헤드 크레인의 자동 감속장치에 관한 것으로, 이 자동 감속장치는 양 벽체(2, 2')사이에 길이방향으로 배치되는 제 1이동레일(4, 4')과, 제 1이동레일(4, 4')과 직각인 방향으로 배치되는 제 2이동레일(10, 10')과, 제 1이동레일(4, 4') 및 제 2이동레일(10, 10')을 따라 이동하는 거더(8, 8')와 함께 이동하면서 중량물을 수직방향으로 견인하는 크랩(12)과, 외부에서 공급되는 전기에 의해 크랩(12)을 이동시키는 이송모터(14)와, 제 1이동레일(4, 4')의 양단으로부터 소정의 거리만큼 이격되어 설치되어 있으며, 이송모터(14)의 위치를 감지하여 � �어기(20)로 보내는 정지 리밋스위치(16)와, 정지 리밋스위치(16)의 전방에는 이송모터(14)의 위치를 감지하여 제어기(20)로 보냄으로써, 이송모터(14)의 주행속도가 1차로 감속되도록 하는 감속 리밋스위치(18)로 구성된다.

    마이크로폰 및 그 제조방법
    18.
    发明授权
    마이크로폰 및 그 제조방법 有权
    麦克风及其制造方法

    公开(公告)号:KR101619253B1

    公开(公告)日:2016-05-10

    申请号:KR1020140166784

    申请日:2014-11-26

    Abstract: 마이크로폰및 그제조방법이개시된다. 본발명의일 실시예에따른마이크로폰제조방법은기판을준비한후, 상기기판위에산화막과복수의슬롯을포함하는진동막을형성하는단계; 상기진동막위에희생층과고정막을형성한후, 상기고정막에공기유입구를형성하는단계; 상기고정막과연결되는제1 패드, 진동막과연결되는제2 패드, 및위상지연체가접합되는접합패드가증착되는단계; 상기기판의배면을식각하여관통홀을형성하는단계; 및상기접합패드위에위상지연체를접합하는단계를포함하고, 상기위상지연체를접합하는단계는상기접합패드상에위상지연막들을순차적으로적층하면서각각의위상지연막에통로패턴을형성하여, 상기통로패턴들이연결된음향통로및 그음향통로와연결되는음향홀을형성한다. 또한, 본발명의다른실시예에따른마이크로폰제조방법은기판을준비한후, 상기기판위에산화막과복수의슬롯을포함하는진동막을형성하는단계; 상기진동막위에희생층과고정막을형성한후, 상기고정막에공기유입구를형성하는단계; 상기고정막과연결되는제1 패드, 및진동막과연결되는제2 패드를증착하는단계; 상기기판의배면을식각하여관통홀을형성하는단계; 및상기고정막위에위상지연체를접합하는단계를포함하고, 상기위상지연체를접합하는단계는위상지연막의상면에 PR 패터닝을마스크로해서상기위상지연막을식각하여음향통로를형성하는단계; 및상기위상지연막을상,하방향으로회전시킨후, 상기위상지연막의배면에 PR 패터닝을마스크로해서상기위상지연막을식각하여상기제1 패드와제2 패드의통로, 및음향홀을형성하는단계를포함한다. 또한, 본발명의실시예에따른마이크로폰은복수의관통홀을포함하는기판; 상기기판위에배치되어복수의슬롯을포함하는진동막; 상기진동막위에배치되고, 상기진동막과이격되어잇으며, 복수의공기유입구를포함하는고정막; 및상기고정막위에배치되고, 외부로부터음향이유입되는음향홀및 내부에서상기음향홀과연결되는음향통로가형성된위상지연체를포함한다.

    Abstract translation: 公开了麦克风及其制造方法。 该制造方法包括以下步骤:在制备基板之后,在基板上形成包括氧化膜和多个槽的振动膜; 在形成牺牲层之后在固定膜上形成空气入口,并在固定膜上形成振动膜; 沉积连接到固定膜的第一焊盘,连接到振动膜的第二焊盘和相位延迟装置的接合焊盘; 通过蚀刻衬底的后部形成通孔; 并将相位延迟器件接合在接合焊盘上。 根据本发明的一个实施例,可以通过使用晶片级封装来减小元件的尺寸。

    반도체 기판의 접합 방법
    19.
    发明公开
    반도체 기판의 접합 방법 有权
    半导体衬底的连接方法

    公开(公告)号:KR1020150078447A

    公开(公告)日:2015-07-08

    申请号:KR1020130167810

    申请日:2013-12-30

    Abstract: 본발명의일 실시예에따른반도체기판의접합방법은제1 반도체기판위에정렬키를형성하는단계, 상기제1 반도체기판및 상기정렬키 위에절연막을형성하는단계, 상기절연막위에제1 금속층패턴및 제2 금속층패턴을형성하는단계, 제2 반도체기판위에제1 돌출부, 제2 돌출부및 상기제1 돌출부와상기제2 돌출부사이에위치하는정렬홈을형성하는단계, 상기제1 돌출부및 상기제2 돌출부위에각각제3 금속층패턴및 제4 금속층패턴을형성하는단계, 그리고상기제1 반도체기판및 상기제2 반도체기판을접합하는단계를포함하고, 상기제1 반도체기판및 상기제2 반도체기판의접합시, 상기정렬키는상기정렬홈에위치한다.

    Abstract translation: 根据本发明的实施例,一种用于连接半导体衬底的方法包括以下步骤:在第一半导体衬底上形成布置键; 在所述第一半导体衬底和所述配置键上形成绝缘膜; 在所述绝缘膜上形成第一金属层图案和第二金属层图案; 在第二半导体衬底上形成位于第一突出单元和第二突出单元之间的第一突出单元,第二突出单元和布置槽; 分别在所述第一突出单元和所述第二突出单元上形成第三金属层图案和第四金属层图案; 并且连接所述第一半导体衬底和所述第二半导体衬底,其中当所述第一半导体衬底和所述第二半导体衬底连接时,所述配置键位于所述配置槽上。

    반도체 기판의 접합 방법
    20.
    发明授权
    반도체 기판의 접합 방법 有权
    半导体衬底的连接方法

    公开(公告)号:KR101534705B1

    公开(公告)日:2015-07-07

    申请号:KR1020130167809

    申请日:2013-12-30

    CPC classification number: H01L21/50 H01L21/185 H01L21/30604 H01L21/308

    Abstract: 본발명의일 실시예에따른반도체기판의접합방법은제1 반도체기판위에정렬키를형성하는단계, 제2 반도체기판위에제1 돌출부, 제2 돌출부및 상기제1 돌출부와상기제2 돌출부사이에위치하는정렬홈을형성하는단계, 상기제1 돌출부및 상기제2 돌출부위에각각제1 금속층및 제2 금속층을형성하는단계, 그리고상기제1 반도체기판및 상기제2 반도체기판을접합하는단계를포함하고, 상기제1 반도체기판및 상기제2 반도체기판의접합시, 상기정렬키는상기정렬홈에위치한다.

    Abstract translation: 根据本发明的实施例,一种用于连接半导体衬底的方法包括以下步骤:在第一半导体衬底上形成布置键; 在第二半导体衬底上形成位于第一突出单元和第二突出单元之间的第一突出单元,第二突出单元和布置槽; 在第一突出单元和第二突出单元上分别形成第一金属层和第二金属层; 并且连接所述第一半导体衬底和所述第二半导体衬底,其中当所述第一半导体衬底和所述第二半导体衬底连接时,所述配置键位于所述配置槽上。

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