탄화규소 반도체 소자용 트렌치 제조 공정

    公开(公告)号:KR101776333B1

    公开(公告)日:2017-09-08

    申请号:KR1020110127489

    申请日:2011-12-01

    Abstract: 본발명은탄화규소반도체소자용트렌치제조공정에관한것으로, 트렌치내부에그래스가발생하거나또는마이크로트렌칭현상이나타나는것을방지하여, 트렌치벽면의기울기는수직에가깝고바닥면은평탄한 U형구조를가질수 있도록하는탄화규소반도체소자용트렌치제조공정에관한것이다. 이를위해본 발명에서는탄화규소반도체웨이퍼를투입하지않은채, 반응기내부에폴리머를증착하는단계와; 식각마스크가패터닝된탄화규소반도체웨이퍼를반응기내로투입하고, 식각가스를공급하면서바이어스전력및 유도결합플라즈마(ICP) 전력을인가하여트렌치식각을수행하는단계;를포함하며, 상기탄화규소반도체웨이퍼의식각마스크는인듐틴 산화물계물질로패터닝된것을특징으로하는탄화규소반도체소자용트렌치제조공정을제공한다.

    압저항 센서
    3.
    发明授权
    압저항 센서 有权
    PIEZORESISTIVE传感器

    公开(公告)号:KR101542971B1

    公开(公告)日:2015-08-07

    申请号:KR1020130165486

    申请日:2013-12-27

    CPC classification number: H01L29/84 G01L1/18 G01L5/162

    Abstract: 압저항센서는반도체기판, 상기반도체기판에서중심체를중심으로십자형태로형성된 4개의빔, 및상기 4개의빔 위에형성된 16개의압저항패턴을포함하고, 상기 16개의압저항패턴은 X자형태로구성되어상기 4개의빔에배치되는 4개의압저항패턴그룹을포함한다. 압저항센서의측정정밀도가향상될수 있다.

    탄화규소 반도체 소자용 트렌치 제조 공정
    4.
    发明公开
    탄화규소 반도체 소자용 트렌치 제조 공정 有权
    在碳化硅半导体中形成铁素体的方法

    公开(公告)号:KR1020130061269A

    公开(公告)日:2013-06-11

    申请号:KR1020110127489

    申请日:2011-12-01

    Abstract: PURPOSE: A method for forming a trench for a silicon carbide semiconductor device is provided to simplify a manufacturing process by performing a two-step process once. CONSTITUTION: A polymer is deposited in a reactor excluding a wafer(S1). The wafer is put into the reactor. Electric power is applied to etch a trench(S2). An etching mask of the wafer is patterned with indium tin oxide. [Reference numerals] (S1) Polymer deposition in a reactor; (S2) Etching

    Abstract translation: 目的:提供一种用于形成用于碳化硅半导体器件的沟槽的方法,以通过执行两步法一次来简化制造过程。 构成:将聚合物沉积在不包括晶片的反应器(S1)中。 将晶片放入反应器中。 施加电力来蚀刻沟槽(S2)。 用铟锡氧化物对晶片的蚀刻掩模进行图案化。 (附图标记)(S1)反应器中的聚合物沉积; (S2)蚀刻

    차량 타이어용 전원발생장치

    公开(公告)号:KR101047654B1

    公开(公告)日:2011-07-07

    申请号:KR1020080045114

    申请日:2008-05-15

    Inventor: 이용성

    CPC classification number: H02N2/186

    Abstract: 본 발명에 따른 차량 타이어용 전원발생장치는, 내부 공간이 형성된 하우징과, 상기 하우징에 배치되는 고정 웨이퍼와, 상기 고정 웨이퍼와 접하고, 외부의 진동, 압력 및 음향에너지에 의해 전기 에너지가 생성 가능토록 구비된 다이아프램을 포함하여,
    차량 타이어의 공기압을 모니터링하기 위해 구비되는 시스템(TPMS)의 전자장치를 작동하도록 외부의 진동이나 압력 및 음향에너지를 이용하여 기계적인 응력의 작용에 따라 전기를 생성할 수 있는 압전체를 포함하는 다이아프램을 이용하여 소형 및 내구성이 우수한 전원발생장치를 구비함으로써 타이어와 같이 외부의 단절된 부위에 배치되는 전자장치의 사용 시 상기 전원발생장치를 사용하고, 종래 외부의 단절된 부위에 배치되는 전자장치에 자체 배터리를 사용할 시 발생되었던 주기적으로 배터리를 교환해야 하는 문제점을 해결하는 효과를 얻을 수 있다.
    타이어, 압전체, 다이아프램, 웨이퍼, 전극

    압전체를 이용하는 전원발생장치
    6.
    发明授权
    압전체를 이용하는 전원발생장치 有权
    发电机使用压电材料

    公开(公告)号:KR100837926B1

    公开(公告)日:2008-06-13

    申请号:KR1020060122827

    申请日:2006-12-06

    Inventor: 이용성

    CPC classification number: H02N2/18 H01L41/1136

    Abstract: 본 발명은 내구성이 강화됨과 아울러 작은 진동으로 큰 전원을 발생시킬 수 있는 압전체를 이용하는 전원발생장치에 관한 것이다.
    본 발명의 압전체를 이용하는 전원발생장치는 (+) 단자와; 상기 (+) 단자에 비접촉되며 상기 (+) 단자를 감싸는 (-) 단자와; 상기 (+) 단자 및 (-) 단자에 일단이 접속되고 상기 (+) 단자 및 (-) 단자를 중심으로 방사형을 이루며 다수 개의 압전체들과; 상기 (+) 단자 및 (-) 단자가 비접속된 상기 다수 개의 압전체들의 타단에 각각 접속된 질량을 가지는 질량체들을 구비한다.
    전자장치, 전원, 압전체, 방사형

    자동차용 아웃 사이드 미러 가열 장치
    7.
    发明授权
    자동차용 아웃 사이드 미러 가열 장치 失效
    用于汽车的外侧镜的加热装置

    公开(公告)号:KR100361278B1

    公开(公告)日:2002-11-18

    申请号:KR1019990068140

    申请日:1999-12-31

    Inventor: 이용성

    Abstract: 본발명은아웃사이드미러에관한것으로서, 보다상세하게는자동차의운전석및 조수석실외에설치된아웃사이드미러를가열할수 있는자동차용아웃사이드미러가열장치에관한것으로서, 아웃사이드미러의승온속도를빠르게함과아울러미러를가열하는데따른가열장치의가격을저렴하게할 수있는자동차용아웃사이드미러가열장치를제공함에있다. 상기한목적을실현하기위하여본 발명은반사를위해배면에크롬이도포된미러를소정온도로가열하도록전원을온/오프시키는스위치와, 상기크롬면에직접도포되어스위치조작에의해통전된전류를균일하게인가하도록 +, - 전류가교번인가되도록서로간격을두고평행하게순차배열된다수의전극, 이전극을토해흐른전류에의해가열된크롬의온도를감지하도록설치된온도리드스위치및이 온도리드스위치에의해일정온도범위이내에서만온되고그 이하온도에서는오프되도록작동하면서전극에전류를공급/차단하는릴레이로이루어진것을특징으로한다.

    발수유리의 제조방법
    8.
    发明公开
    발수유리의 제조방법 无效
    制备水中玻璃的方法

    公开(公告)号:KR1020010057553A

    公开(公告)日:2001-07-04

    申请号:KR1019990068240

    申请日:1999-12-31

    Inventor: 이용성

    Abstract: PURPOSE: Provided is a method for preparing a water-repellent glass. Therefore, provided yttrium oxide added water-repellent glass has a wider contact angle and improved durability and water-repelling property. CONSTITUTION: The method comprises steps of: (i) preparing globular silica particles by tetraethylorthosilicate under base catalyst; (ii) adding 20-50 wt.% of tetraethylorthosilicate to the globular silica of the step (i) to prepare a silica colloid; (iii) reacting the silica colloid of the step (ii) with adding tetraethylorthosilicate thereto under acid catalyst to prepare a silica sol where the globular silica is dispersed in linear silica; (iv) reacting the silica sol of the step (iii) with adding tetraethylorthosilicate thereto under acid catalyst to prepare a mixture where the globular silica is dispersed in the linear silica and yttrium oxide; and (v) after coating the glass base plate with the mixture of the step (iv) and sintering it to prepare a substrate layer, coating it with fluoroalkylsilane to prepare a water-repellent layer.

    Abstract translation: 目的:提供一种防水玻璃的制备方法。 因此,提供的氧化钇添加防水玻璃具有更宽的接触角和改善的耐久性和防水性。 方法:该方法包括以下步骤:(i)在碱催化剂下由原硅酸四乙酯制备球状二氧化硅颗粒; (ii)向步骤(i)的球状二氧化硅中加入20-50重量%的原硅酸四乙酯以制备二氧化硅胶体; (iii)使酸性催化剂上的步骤(ii)的二氧化硅胶体与原硅酸四乙酯反应,制备二氧化硅溶胶,其中球状二氧化硅分散在线性二氧化硅中; (ⅳ)在酸催化剂下使步骤(ⅲ)的二氧化硅溶胶与原硅酸四乙酯反应,制备球状二氧化硅分散在线性二氧化硅和氧化钇中的混合物; 和(v)用步骤(iv)的混合物涂覆玻璃基板并烧结以制备基材层后,用氟代烷基硅烷涂覆以制备防水层。

    마이크로폰 및 그 제조방법
    9.
    发明授权
    마이크로폰 및 그 제조방법 有权
    麦克风及其制造方法

    公开(公告)号:KR101619253B1

    公开(公告)日:2016-05-10

    申请号:KR1020140166784

    申请日:2014-11-26

    Abstract: 마이크로폰및 그제조방법이개시된다. 본발명의일 실시예에따른마이크로폰제조방법은기판을준비한후, 상기기판위에산화막과복수의슬롯을포함하는진동막을형성하는단계; 상기진동막위에희생층과고정막을형성한후, 상기고정막에공기유입구를형성하는단계; 상기고정막과연결되는제1 패드, 진동막과연결되는제2 패드, 및위상지연체가접합되는접합패드가증착되는단계; 상기기판의배면을식각하여관통홀을형성하는단계; 및상기접합패드위에위상지연체를접합하는단계를포함하고, 상기위상지연체를접합하는단계는상기접합패드상에위상지연막들을순차적으로적층하면서각각의위상지연막에통로패턴을형성하여, 상기통로패턴들이연결된음향통로및 그음향통로와연결되는음향홀을형성한다. 또한, 본발명의다른실시예에따른마이크로폰제조방법은기판을준비한후, 상기기판위에산화막과복수의슬롯을포함하는진동막을형성하는단계; 상기진동막위에희생층과고정막을형성한후, 상기고정막에공기유입구를형성하는단계; 상기고정막과연결되는제1 패드, 및진동막과연결되는제2 패드를증착하는단계; 상기기판의배면을식각하여관통홀을형성하는단계; 및상기고정막위에위상지연체를접합하는단계를포함하고, 상기위상지연체를접합하는단계는위상지연막의상면에 PR 패터닝을마스크로해서상기위상지연막을식각하여음향통로를형성하는단계; 및상기위상지연막을상,하방향으로회전시킨후, 상기위상지연막의배면에 PR 패터닝을마스크로해서상기위상지연막을식각하여상기제1 패드와제2 패드의통로, 및음향홀을형성하는단계를포함한다. 또한, 본발명의실시예에따른마이크로폰은복수의관통홀을포함하는기판; 상기기판위에배치되어복수의슬롯을포함하는진동막; 상기진동막위에배치되고, 상기진동막과이격되어잇으며, 복수의공기유입구를포함하는고정막; 및상기고정막위에배치되고, 외부로부터음향이유입되는음향홀및 내부에서상기음향홀과연결되는음향통로가형성된위상지연체를포함한다.

    Abstract translation: 公开了麦克风及其制造方法。 该制造方法包括以下步骤:在制备基板之后,在基板上形成包括氧化膜和多个槽的振动膜; 在形成牺牲层之后在固定膜上形成空气入口,并在固定膜上形成振动膜; 沉积连接到固定膜的第一焊盘,连接到振动膜的第二焊盘和相位延迟装置的接合焊盘; 通过蚀刻衬底的后部形成通孔; 并将相位延迟器件接合在接合焊盘上。 根据本发明的一个实施例,可以通过使用晶片级封装来减小元件的尺寸。

    이차전지용 집전체
    10.
    发明公开
    이차전지용 집전체 有权
    二次电池的基板

    公开(公告)号:KR1020130124216A

    公开(公告)日:2013-11-13

    申请号:KR1020130049828

    申请日:2013-05-03

    Abstract: The present invention provides a lithium-sulfur battery including an aluminum substrate of a sulfur cathode and a copper substrate of a lithium anode which have the shape of a nodule. Also the present invention provides a method for manufacturing a lithium-sulfur battery comprising the steps of: melting aluminum or copper; producing an aluminum or copper film by using electrodeposition; and determining the size of the nodule by controlling the pattern in the process of treating the surface of the film. [Reference numerals] (AA,BB) Anode sulfur electrode;(CC) Flat-type electricity collecting body;(DD) Nodule shape Al collecting body;(EE,FF) Cathode lithium electrode;(GG) Flat-type Cu electricity collecting body;(HH) Nodule shape Cu collecting body

    Abstract translation: 本发明提供一种锂硫电池,其包括硫阴极的铝基板和具有结节形状的锂阳极的铜基板。 本发明还提供了一种制造锂硫电池的方法,包括以下步骤:熔融铝或铜; 通过电沉积制造铝或铜膜; 以及通过在处理所述膜的表面的过程中控制所述图案来确定所述结节的尺寸。 (参考编号)(AA,BB)阳极硫电极;(CC)扁平型集电体;(DD)结节形状的集电体;(EE,FF)阴极锂电极;(GG)扁平型铜电收集 身体;(HH)结节状Cu收集体

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