公开(公告)号：NL2011761A

公开(公告)日：2014-01-13

申请号：NL2011761

申请日：2013-11-08

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： KUZNETSOV ALEXEY ,  BOOGAARD ARJEN ,  HUIJBREGTSE JEROEN ,  NIKIPELOV ANDREY ,  KAMPEN MAARTEN

IPC: G03F7/20 ,  H05G2/00

公开(公告)号：NL2006551A

公开(公告)日：2011-05-17

申请号：NL2006551

申请日：2011-04-06

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： SCHASFOORT AD ,  HUIJBREGTSE JEROEN ,  VANNEER ROELAND ,  STORM ARNOLDUS ,  SLIGTE EDWIN ,  KEMPEN ANTONIUS ,  JONKER WOUTER ,  HUIJSER TIMO

IPC: G03F7/20