公开(公告)号：NL2005699A

公开(公告)日：2011-01-06

申请号：NL2005699

申请日：2010-11-16

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： JAK MARTIN ,  BANINE VADIM ,  SOER WOUTER ,  YAKUNIN ANDREI ,  KAMPEN MAARTEN ,  SCHASFOORT AD

IPC: G03F7/20 ,  G21K1/06

公开(公告)号：NL2010227A

公开(公告)日：2013-03-19

申请号：NL2010227

申请日：2013-02-01

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： SCHASFOORT AD

IPC: G03F7/20

公开(公告)号：NL2006551A

公开(公告)日：2011-05-17

申请号：NL2006551

申请日：2011-04-06

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： SCHASFOORT AD ,  HUIJBREGTSE JEROEN ,  VANNEER ROELAND ,  STORM ARNOLDUS ,  SLIGTE EDWIN ,  KEMPEN ANTONIUS ,  JONKER WOUTER ,  HUIJSER TIMO

IPC: G03F7/20