公开(公告)号：JP2005133217A

公开(公告)日：2005-05-26

申请号：JP2004312100

申请日：2004-10-27

Applicant: Internatl Business Mach Corp ,  インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーションInternational Business Maschines Corporation

Inventor： KIM HYUNGJUN ,  KELLOCK ANDREW J ,  ROSSNAGEL STEPHEN M

IPC: C23C16/50 ,  B32B9/00 ,  C23C16/08 ,  C23C16/34 ,  C23C16/46 ,  C23C28/00 ,  H01L21/205 ,  H01L21/28 ,  H01L21/283 ,  H01L21/285 ,  H01L21/314 ,  H01L21/768 ,  H01L23/52

CPC classification number: C23C16/45542 ,  C23C16/34 ,  C23C16/45525 ,  H01L21/28562 ,  H01L21/76843

Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method for producing a copper diffusion barrier having high reliability.
SOLUTION: In the method, TaN with various nitrogen content is deposited by a plasma enhanced atomic layer deposition method. Using a mixture of hydrogen and nitrogen plasma, the nitrogen content in the film can be controlled from 0 to N/Ta=1.7. By turning off the nitrogen flow during deposition of TaN, a TaN/Ta bilayer is easily grown, which has copper diffusion barrier properties superior to those of a single Ta layer or a single TaN layer.
COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI

Abstract translation: 解决的问题：提供一种具有高可靠性的铜扩散阻挡层的制造方法。 解决方案：在该方法中，通过等离子体增强的原子层沉积方法沉积具有各种氮含量的TaN。 使用氢和氮等离子体的混合物，膜中的氮含量可以从0到N / Ta = 1.7。 通过在TaN沉积期间关闭氮气流，容易生长TaN / Ta双层，其具有优于单个Ta层或单个TaN层的铜扩散阻挡性能。 版权所有（C）2005，JPO＆NCIPI

公开(公告)号：DE112012003274T5

公开(公告)日：2014-06-26

申请号：DE112012003274

申请日：2012-07-13

Applicant: IBM

Inventor： HARRER STEFAN ,  ROSSNAGEL STEPHEN M ,  ROYYURU AJAY K ,  WALKER GEORGE F ,  MARTYNA GLENN J ,  POLONSKY STANISLAV ,  LUAN BINQUAN ,  PENG HONGBO ,  STOLOVITZKY GUSTAVO A

IPC: G01N27/30

Abstract: Eine Technik zum Steuern der Bewegung von einem oder mehreren mit einem Polymer verbundenen geladenen Gebilden durch einen Nanokanal wird bereitgestellt. Ein erstes Reservoir und ein zweites Reservoir sind durch den Nanokanal verbunden. Eine Elektrodenanordnung ist entlang des Nanokanals positioniert, wobei das erste Reservoir, das zweite Reservoir und der Nanokanal mit Fluid gefüllt sind. Eine erste Elektrode befindet sich im ersten Reservoir und eine zweite Elektrode im zweiten Reservoir. Die erste und die zweite Elektrode sind so konfiguriert, dass sie das eine oder die mehreren mit dem Polymer verbundenen geladenen Gebilde in den Nanokanal lenken. Eine Elektrodenanordnung ist so konfiguriert, dass sie das eine oder die mehreren geladenen Gebilde in dem Nanokanal einschließt, wenn sie im Hinblick auf Einschließen gesteuert wird. Die Elektrodenanordnung ist so konfiguriert, dass sie das eine oder die mehreren geladenen Gebilde entlang des Nanokanals bewegt, wenn sie im Hinblick auf Bewegen gesteuert wird.

公开(公告)号：GB2488928B

公开(公告)日：2014-04-02

申请号：GB201209216

申请日：2010-07-29

Applicant: IBM

Inventor： COTTE JOHN M ,  JAHNES CHRISTOPHER V ,  PENG HONGBO ,  ROSSNAGEL STEPHEN M

IPC: B01D67/00 ,  B01D71/02 ,  G01N27/60 ,  G01R27/26

公开(公告)号：DE112010004190T8

公开(公告)日：2013-03-14

申请号：DE112010004190

申请日：2010-07-29

Applicant: IBM

Inventor： COTTE JOHN M ,  JAHNES CHRISTOPHER V ,  PENG HONGBO ,  ROSSNAGEL STEPHEN M

IPC: G01R27/26 ,  G01N27/60

公开(公告)号：GB2488928A

公开(公告)日：2012-09-12

申请号：GB201209216

申请日：2010-07-29

Applicant: IBM

Inventor： COTTE JOHN M ,  JAHNES CHRISTOPHER V ,  PENG HONGBO ,  ROSSNAGEL STEPHEN M

IPC: B01D67/00 ,  B01D71/02 ,  G01N27/60 ,  G01R27/26

Abstract: A filter includes a membrane having a plurality of nanochannels (14) formed therein. A first surface charge material (18) is deposited on an end portion of the nanochannels. The first surface charge material includes a surface charge to electrostatically influence ions in an electrolytic solution (20) such that the nanochannels reflect ions back into the electrolytic solution while passing a fluid of the electrolytic solution. Methods for making and using the filter are also provided.

公开(公告)号：CA2786121A1

公开(公告)日：2011-07-21

申请号：CA2786121

申请日：2011-01-10

Applicant: IBM

Inventor： AFZALI-ARDAKANI ALI ,  ROSSNAGEL STEPHEN M

IPC: B01D71/02 ,  B01D67/00 ,  C02F1/44

Abstract: A filter includes a membrane having a plurality of nanochannels formed therein. Functionalized nanoparticles are deposited through self assembly onto surfaces defining the nanochannels so as to decrease the final diameter of the membrane. Methods for making and using the filter are also provided.

公开(公告)号：GB2506556B

公开(公告)日：2015-06-10

申请号：GB201400400

申请日：2012-07-02

Applicant: IBM

Inventor： ELMEGREEN BRUCE GORDON ,  MARTYNA GLENN J ,  NEWNS DENNIS ,  ROSSNAGEL STEPHEN M ,  SOLOMAN PAUL MICHAEL

IPC: H01L41/09 ,  H01L41/08 ,  H01L49/00

Abstract: A 4-terminal piezoelectronic transistor (PET) which includes a piezoelectric (PE) material disposed between first and second electrodes; an insulator material disposed on the second electrode; a third electrode disposed on the insulator material and a piezoresistive (PR) material disposed between the third electrode and a fourth electrode. An applied voltage across the first and second electrodes causing a pressure from the PE material to be applied to the PR material through the insulator material, the electrical resistance of the PR material being dependent upon the pressure applied by the PE material. The first and second electrodes are electrically isolated from the third and fourth electrodes. Also disclosed are logic devices fabricated from 4-terminal PETs and a method of fabricating a 4-terminal PET.

公开(公告)号：DE112011102970T5

公开(公告)日：2013-08-08

申请号：DE112011102970

申请日：2011-07-20

Applicant: IBM

Inventor： ROSSNAGEL STEPHEN M ,  HAIGHT RICHARD A

Abstract: Zur Herstellung eines Pseudokondensators mit einer hohen gespeicherten Energiedichte wird ein nanoporöses Schablonen-Trägermaterial verwendet, bei dem es sich um ein Trägermaterial aus anodisch erzeugtem Aluminiumoxid (AAO) handelt. Ein pseudokapazitives Material wird mittels Atomlagenabscheidung, chemischer Gasphasenabscheidung und/oder elektrochemischer Abscheidung unter Verwendung einer Keimbildungsschicht konform entlang den Seitenwänden des AAO-Trägermaterials abgeschieden. Die Stärke des pseudokapazitiven Materials auf den Wänden kann bei dem Abscheidungsprozess präzise gesteuert werden. Das AAO wird geätzt, um ein Array von Nanoröhrchen aus dem PC-Material zu bilden, die zylindrisch und strukturstabil mit Hohlräumen darin sind. Da das als Gerüst dienende AAO-Trägermaterial entfernt wird, bleibt nur das aktive PC-Material übrig, wodurch die maximale Energie pro Masse erreicht wird. Nanoröhrchen können zudem von einem Trägermaterial gelöst werden, sodass freistehende Nanoröhrchen mit regelloser Ausrichtung auf ein leitfähiges Trägermaterial aufgebracht werden können, um eine Elektrode eines Pseudokondensators zu bilden.

公开(公告)号：DE112012002454T5

公开(公告)日：2014-03-27

申请号：DE112012002454

申请日：2012-07-02

Applicant: IBM

Inventor： SOLOMON PAUL M ,  ELMEGREEN BRUCE G ,  MARTYNA GLENN J ,  ROSSNAGEL STEPHEN M ,  NEWNS DENNIS M

IPC: H01L41/00

Abstract: Ein piezoelektronischer Transistor (PET) mit 4 Anschlüssen, welcher ein piezoelektrisches (PE) Material, das zwischen einer ersten und zweiten Elektrode angeordnet ist; ein Isolatormaterial, das auf der zweiten Elektrode angeordnet ist; eine dritte Elektrode, die auf dem Isolatormaterial angeordnet ist und ein piezoresistives (PR) Material umfasst, das zwischen der dritten Elektrode und einer vierten Elektrode angeordnet ist. Eine über die erste und zweite Elektrode angelegte Spannung bewirkt, dass ein Druck von dem PE Material durch das Isolatormaterial auf das PR Material ausgeübt wird, wobei der elektrische Widerstand des PR Materials von dem Druck abhängt, der von dem PE Material ausgeübt wird. Die erste und zweite Elektrode sind von der dritten und vierten Elektrode elektrisch isoliert. Ebenfalls offenbart werden Logikeinheiten, die aus PETs mit 4 Anschlüssen hergestellt werden, und ein Verfahren zur Herstellung eines PET mit 4 Anschlüssen.

公开(公告)号：DE112010004190T5

公开(公告)日：2012-11-29

申请号：DE112010004190

申请日：2010-07-29

Applicant: IBM

Inventor： COTTE JOHN M ,  JAHNES CHRISTOPHER V ,  PEN HONGBO ,  ROSSNAGEL STEPHEN M

IPC: G01R27/26 ,  G01N27/60

Abstract: Ein Filter umfasst eine Membran, welche mehrere darin ausgebildete Nanokanäle (14) aufweist. Ein erstes Oberflächenladungsmaterial (18) ist auf einen Endabschnitt der Nanokanäle aufgebracht. Das erste Oberflächenladungsmaterial umfasst eine Oberflächenladung, um Ionen in einer elektrolytischen Lösung (20) derart elektrostatisch zu beeinflussen, dass die Nanokanäle Ionen in die elektrolytische Lösung zurückweisen, während ein Fluid der elektrolytischen Lösung durchgelassen wird. Es werden auch Verfahren zur Herstellung und Verwendung des Filters bereitgestellt.