二氧化硅粉、二氧化硅容器及该粉或容器的制造方法

    公开(公告)号:CN102482137B

    公开(公告)日:2014-09-10

    申请号:CN201080036839.0

    申请日:2010-09-01

    Abstract: 本发明是一种二氧化硅容器的制造方法,该二氧化硅容器具备:基体,其具有旋转对称性,以二氧化硅作为主成分,且至少在外周部分含有气泡;以及内层,其被形成在该基体的内表面上,并由透明二氧化硅玻璃所构成;其中,所述二氧化硅容器的制造方法,至少准备二氧化硅粉来作为用以形成前述内层的原料粉,并利用该内层形成用原料粉即二氧化硅粉来形成前述内层,该二氧化硅粉,其粒径为10~1000μm,含有合计浓度为50~5000重量ppm(wt.ppm)的Ca、Sr、Ba,且在真空下加热至1000℃时的氢分子的放出量为3×1016~3×1019分子/g。由此,提供一种二氧化硅容器及其制造方法,该二氧化硅容器是高尺寸精确度,且该二氧化硅容器的内壁是实质上不含气泡且厚度大的透明二氧化硅玻璃层,而在高温下也具有高度耐久性,并能以低成本来制造;以及提供一种用以制造这样的二氧化硅容器的二氧化硅粉及其制造方法。

    制造用于受激准分子激光的合成石英玻璃的方法

    公开(公告)号:CN101798168B

    公开(公告)日:2014-03-26

    申请号:CN201010138731.4

    申请日:2010-01-19

    Abstract: 本发明公开了一种制造用于受激准分子激光的合成石英玻璃的方法,该方法通过如下方式来制造上述合成石英玻璃:在靶上沉积氧化硅颗粒以形成多孔氧化硅母材,所述氧化硅颗粒通过使氧化硅原材料在真空烧结炉中的氢氧焰中气相水解或氧化分解得到;将所述多孔氧化硅母材玻璃化;并对玻璃化的材料进行热成型、退火处理及氢掺杂处理,其中多孔氧化硅母材的玻璃化包括:(a)在400℃以上、且低于900℃的温度范围,将真空压力保持在20.0Pa以下的步骤;(b)在900℃以上、且低于1100℃的温度范围,将真空压力保持在10.0Pa以下的步骤;及(c)在1100℃至透明玻璃化温度的温度范围,将真空压力保持在3.0Pa以下的步骤。

    二氧化硅粉、二氧化硅容器及该粉或容器的制造方法

    公开(公告)号:CN102482137A

    公开(公告)日:2012-05-30

    申请号:CN201080036839.0

    申请日:2010-09-01

    Abstract: 本发明是一种二氧化硅容器的制造方法,该二氧化硅容器具备:基体,其具有旋转对称性,以二氧化硅作为主成分,且至少在外周部分含有气泡;以及内层,其被形成在该基体的内表面上,并由透明二氧化硅玻璃所构成;其中,所述二氧化硅容器的制造方法,至少准备二氧化硅粉来作为用以形成前述内层的原料粉,并利用该内层形成用原料粉即二氧化硅粉来形成前述内层,该二氧化硅粉,其粒径为10~1000μm,含有合计浓度为50~5000重量ppm(wt.ppm)的Ca、Sr、Ba,且在真空下加热至1000℃时的氢分子的放出量为3×1016~3×1019分子/g。由此,提供一种二氧化硅容器及其制造方法,该二氧化硅容器是高尺寸精确度,且该二氧化硅容器的内壁是实质上不含气泡且厚度大的透明二氧化硅玻璃层,而在高温下也具有高度耐久性,并能以低成本来制造;以及提供一种用以制造这样的二氧化硅容器的二氧化硅粉及其制造方法。

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