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公开(公告)号:CN102165345A
公开(公告)日:2011-08-24
申请号:CN200980137197.0
申请日:2009-08-21
Applicant: 三菱电线工业株式会社
IPC: G02B6/036 , C03B37/014 , G02B6/00
CPC classification number: G02B6/03683 , C03B37/01446 , C03B2201/08 , C03B2201/21 , C03B2201/23 , C03B2201/28 , C03B2201/31 , C03B2203/23 , G02B6/03694 , G02B6/14
Abstract: 本发明公开一种光纤(10),其包括:纤芯(11)、覆盖该纤芯(11)设置且折射率比该纤芯(11)低的第一包层(12)、以及覆盖第一包层(12)设置且折射率比该第一包层(12)低的第二包层(13)。在第一包层(12)中掺杂有光衰减掺杂剂,该光衰减掺杂剂的浓度从内周侧朝着外周侧增加。在第一包层(12)中掺杂有光衰减掺杂剂,该光衰减掺杂剂的浓度从内周侧朝着外周侧增加。
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公开(公告)号:CN101503273A
公开(公告)日:2009-08-12
申请号:CN200910004087.9
申请日:2009-02-09
Applicant: 康宁股份有限公司
IPC: C03B20/00
CPC classification number: C03B19/1453 , C03B2201/07 , C03B2201/075 , C03B2201/21 , C03B2201/22 , C03C3/06 , C03C4/0071 , C03C4/0085 , C03C2201/21 , C03C2201/22 , C03C2201/23 , C03C2203/54 , G03F7/70966
Abstract: 本发明涉及具有低OH、OD浓度的无卤化物的玻璃。提供一种在至少约50平方厘米的孔面积上具有小于或等于约5ppm的折射率均匀性的熔凝石英玻璃。所述熔凝石英玻璃还基本不含卤素,并具有小于约160纳米的吸附边缘。该玻璃通过以下方式干燥,在固结前使硅石烟炱毛坯与一氧化碳接触,降低羟基(即,OH,其中H是氕和氘氧基(OD),其中,D是氘)的总浓度,在一个实施方式中降低至小于约20重量ppm,在另一个实施方式中降低至小于5重量ppm,在第三实施方式中降低至小于约1重量ppm。
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公开(公告)号:CN102482137B
公开(公告)日:2014-09-10
申请号:CN201080036839.0
申请日:2010-09-01
Applicant: 信越石英株式会社
CPC classification number: C03B19/095 , C01B33/12 , C01P2004/61 , C03B2201/21 , C03B2201/54 , C30B15/10 , C30B29/06 , Y02P40/57 , Y10T428/131 , Y10T428/1317 , Y10T428/2982
Abstract: 本发明是一种二氧化硅容器的制造方法,该二氧化硅容器具备:基体,其具有旋转对称性,以二氧化硅作为主成分,且至少在外周部分含有气泡;以及内层,其被形成在该基体的内表面上,并由透明二氧化硅玻璃所构成;其中,所述二氧化硅容器的制造方法,至少准备二氧化硅粉来作为用以形成前述内层的原料粉,并利用该内层形成用原料粉即二氧化硅粉来形成前述内层,该二氧化硅粉,其粒径为10~1000μm,含有合计浓度为50~5000重量ppm(wt.ppm)的Ca、Sr、Ba,且在真空下加热至1000℃时的氢分子的放出量为3×1016~3×1019分子/g。由此,提供一种二氧化硅容器及其制造方法,该二氧化硅容器是高尺寸精确度,且该二氧化硅容器的内壁是实质上不含气泡且厚度大的透明二氧化硅玻璃层,而在高温下也具有高度耐久性,并能以低成本来制造;以及提供一种用以制造这样的二氧化硅容器的二氧化硅粉及其制造方法。
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公开(公告)号:CN101798168B
公开(公告)日:2014-03-26
申请号:CN201010138731.4
申请日:2010-01-19
Applicant: 信越化学工业株式会社
IPC: C03B20/00
CPC classification number: C03B19/1453 , C03B19/1469 , C03B2201/075 , C03B2201/21 , C03B2207/20 , Y02P40/57
Abstract: 本发明公开了一种制造用于受激准分子激光的合成石英玻璃的方法,该方法通过如下方式来制造上述合成石英玻璃:在靶上沉积氧化硅颗粒以形成多孔氧化硅母材,所述氧化硅颗粒通过使氧化硅原材料在真空烧结炉中的氢氧焰中气相水解或氧化分解得到;将所述多孔氧化硅母材玻璃化;并对玻璃化的材料进行热成型、退火处理及氢掺杂处理,其中多孔氧化硅母材的玻璃化包括:(a)在400℃以上、且低于900℃的温度范围,将真空压力保持在20.0Pa以下的步骤;(b)在900℃以上、且低于1100℃的温度范围,将真空压力保持在10.0Pa以下的步骤;及(c)在1100℃至透明玻璃化温度的温度范围,将真空压力保持在3.0Pa以下的步骤。
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公开(公告)号:CN103570225A
公开(公告)日:2014-02-12
申请号:CN201310466661.9
申请日:2013-07-09
Applicant: 信越化学工业株式会社
IPC: C03B20/00
CPC classification number: C03C3/04 , B29C33/38 , C03B19/1453 , C03B20/00 , C03B32/00 , C03B2201/07 , C03B2201/21 , C03B2201/23 , C03C3/06 , C03C2201/21 , C03C2201/23 , C03C2203/40 , C03C2203/52 , Y02P40/57
Abstract: 通过使提供硅的原料在氢氧焰中进行火焰水解来制备二氧化硅微细颗粒,将所述二氧化硅微细颗粒沉积在旋转石英玻璃靶上的同时使它们熔融并且玻璃化,从而形成合成石英玻璃锭,成型,退火,并且在至少600℃温度和最多5Pa压力下保持至少12小时进行脱氢处理。该合成石英玻璃具备高氦气渗透性并且适合行成纳米压印模具。
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公开(公告)号:CN102482137A
公开(公告)日:2012-05-30
申请号:CN201080036839.0
申请日:2010-09-01
Applicant: 信越石英株式会社
CPC classification number: C03B19/095 , C01B33/12 , C01P2004/61 , C03B2201/21 , C03B2201/54 , C30B15/10 , C30B29/06 , Y02P40/57 , Y10T428/131 , Y10T428/1317 , Y10T428/2982
Abstract: 本发明是一种二氧化硅容器的制造方法,该二氧化硅容器具备:基体,其具有旋转对称性,以二氧化硅作为主成分,且至少在外周部分含有气泡;以及内层,其被形成在该基体的内表面上,并由透明二氧化硅玻璃所构成;其中,所述二氧化硅容器的制造方法,至少准备二氧化硅粉来作为用以形成前述内层的原料粉,并利用该内层形成用原料粉即二氧化硅粉来形成前述内层,该二氧化硅粉,其粒径为10~1000μm,含有合计浓度为50~5000重量ppm(wt.ppm)的Ca、Sr、Ba,且在真空下加热至1000℃时的氢分子的放出量为3×1016~3×1019分子/g。由此,提供一种二氧化硅容器及其制造方法,该二氧化硅容器是高尺寸精确度,且该二氧化硅容器的内壁是实质上不含气泡且厚度大的透明二氧化硅玻璃层,而在高温下也具有高度耐久性,并能以低成本来制造;以及提供一种用以制造这样的二氧化硅容器的二氧化硅粉及其制造方法。
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公开(公告)号:CN102180595A
公开(公告)日:2011-09-14
申请号:CN201010625211.6
申请日:2010-12-24
Applicant: 信越化学工业株式会社
CPC classification number: G03F7/2008 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , C03B19/1423 , C03B19/1453 , C03B2201/21 , C03B2201/23 , C03B2201/42 , C03B2207/06 , C03B2207/12 , C03B2207/36 , C03C3/06 , C03C2201/06 , G03F1/24
Abstract: 本发明涉及掺杂二氧化钛的石英玻璃及其制备方法。更具体地涉及一种掺杂二氧化钛的石英玻璃,该玻璃在900℃热处理100小时后经历小于或等于100ppm的OH基团浓度的降低,所述玻璃适合作为EUV光刻部件。
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公开(公告)号:CN101730667A
公开(公告)日:2010-06-09
申请号:CN200880023314.6
申请日:2008-04-28
Applicant: 康宁股份有限公司
CPC classification number: C03C3/06 , C03B19/1453 , C03B2201/07 , C03B2201/075 , C03B2201/12 , C03B2201/20 , C03B2201/21 , C03B2201/22 , C03B2201/23 , C03B2201/31 , C03C2201/22 , C03C2201/23 , C03C2203/54
Abstract: OH和OD中至少一种的合并浓度最高达到约50ppm的熔凝氧化硅玻璃和熔凝氧化硅制品。所述熔凝氧化硅玻璃这样制备:在包含干燥剂的惰性气氛中干燥熔凝氧化硅烟炱坯体,然后在包含惰性气体和氧气的气氛中加热干烟炱坯体,从干烟炱坯体中除去残余干燥剂。
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公开(公告)号:CN108698908A
公开(公告)日:2018-10-23
申请号:CN201780010996.6
申请日:2017-02-13
Applicant: 贺利氏石英玻璃有限两合公司
CPC classification number: C03C3/06 , C03B19/066 , C03B19/12 , C03B19/14 , C03B2201/07 , C03B2201/21 , C03B2201/23 , C03C11/00 , C03C2201/21 , C03C2201/23 , C03C2201/80 , C03C2203/54
Abstract: 一种已知的合成制造的含孔石英玻璃的漫射体材料具有至少99.9%SiO2的化学纯度、不超过1%的方石英含量以及在2.0到2.18g/cm3范围内的密度。从此开始,为了指示在以下方面获得改善之漫射体材料:在宽波长范围内具有朗伯行为的漫反射性、高材料均质性和抗UV辐射性,根据本发明提出石英玻璃的羟基含量在至少200wt.ppm的范围内且至少80%的孔隙具有小于20μm的最大孔隙尺寸。
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公开(公告)号:CN107209323A
公开(公告)日:2017-09-26
申请号:CN201580075601.1
申请日:2015-12-15
Applicant: NKT光子学有限公司
IPC: G02B6/02 , C03B37/012
CPC classification number: G02B6/03694 , C03B37/02781 , C03B37/0279 , C03B37/10 , C03B2201/02 , C03B2201/12 , C03B2201/21 , C03B2201/22 , C03B2203/14 , C03B2203/23 , C03B2203/42 , C03C13/045 , C03C13/046 , C03C25/1061 , C03C25/1062 , C03C25/1068 , C03C25/607 , C03C2201/02 , C03C2201/21 , C03C2201/22 , G02B6/02347 , G02B6/02357 , G02B6/02361 , G02B6/02366 , G02B6/02395 , G02B6/14 , G02F1/365 , G02F2001/3528
Abstract: 本发明涉及一种光子晶体光纤(PCF)、PCF的制备方法以及包括这种PCF的超连续谱光源。PCF具有纵轴并且包括沿所述纵轴的长度延伸的芯和围绕所述芯的包层区域。至少所述包层区域包括多个在至少微结构长度部分中的以沿着所述PCF的纵轴延伸的内含物形式的微结构。在所述微结构长度部分的至少抗劣化长度部分中,PCF包含氢和/或氘。在至少所述抗劣化长度部分中,所述PCF还包括围绕所述包层区域的主涂层,该主涂层在低于Th的温度下不透氢和/或氘,其中Th为至少约50℃,优选地,50℃
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