公开(公告)号：CN102473575B

公开(公告)日：2016-04-27

申请号：CN201080031271.3

申请日：2010-07-15

Applicant: 艾克塞利斯科技公司

Inventor： 奈尔·卡尔文

IPC: H01J37/09 ,  H01J37/317 ,  H01J3/40 ,  H01J37/02

CPC classification number: H01J37/3171 ,  H01J3/40 ,  H01J37/026 ,  H01J37/09 ,  H01J2237/0041 ,  H01J2237/022 ,  H01J2237/31705

Abstract: 提供一种用于在离子植入系统中减少粒子污染的设备。该设备包括外壳(250)，该外壳具有入口(260)、出口(262)和至少一个进气口叶片侧(264)，所述至少一个进气口叶片侧具有在其内限定的多个进气口叶片(266)。离子植入系统的射束线(P)通过该入口和出口，其中所述至少一个进气口叶片侧的多个进气口叶片被配置成机械地过滤沿射束线行进的离子束的边缘。该外壳可具有两个进气口叶片侧(254A，B)和一个进气口叶片顶部(278)，其中当垂直于该射束线测量时，该外壳的入口和出口的各自的宽度大致由两个进气口叶片侧相对于彼此的位置限定。所述进气口叶片侧的一个或多个可调整地安装，其中该外壳的入口和出口中的一个或多个的宽度可控制。

公开(公告)号：CN100468604C

公开(公告)日：2009-03-11

申请号：CN01818486.3

申请日：2001-08-21

Applicant: 艾克塞利斯技术公司

Inventor： E·R·哈林顿 ,  V·M·本维尼斯特 ,  M·A·格拉夫 ,  R·D·拉斯梅尔

IPC: H01J37/317 ,  H01J37/02 ,  H01J37/30 ,  H01J3/40

CPC classification number: H01J3/40 ,  H01J37/026 ,  H01J37/3002 ,  H01J37/3171 ,  H01J2237/004 ,  H01J2237/022 ,  H01J2237/31705

Abstract: 一种用于禁止污染粒子与离子束(16)一起传输的系统包括一个电场发生器(12、14)，用于产生相对于离子束(16)的行进路径(20)的电场(28)。位于电场(28)的一个区域内并且位于离子束(16)中的粒子(66)充电至与离子束(16)相匹配的极性，以便使得电场(28)可以推动带电粒子(66)移出离子束(16)。

公开(公告)号：CN1311509C

公开(公告)日：2007-04-18

申请号：CN01818276.3

申请日：2001-08-21

Applicant: 艾克塞利斯技术公司

Inventor： E·R·哈林顿 ,  V·M·本维尼斯特 ,  M·A·格拉夫 ,  R·D·拉斯梅尔

IPC: H01J37/317 ,  H01J37/02 ,  H01J37/30 ,  H01J3/40

CPC classification number: H01J37/3171 ,  H01J3/40 ,  H01J37/026 ,  H01J37/3002 ,  H01J2237/004 ,  H01J2237/022 ,  H01J2237/31705

Abstract: 本发明提供一种用于抑制污染物微粒随离子束(44)的传输的系统(10)，所述系统(10)包括：一对电极(14、16)，所述电极(14、16)提供离子束(44)从中行进的相反的电场(26、28、30、32)。当微粒(60)行进过第一电场(26、28)时，离子束(44)中所携带的微粒(60)被带以与离子束(44)极性相匹配的电荷。下游电极(16)提供具有另一个电场(30、32)，以便于排斥带正电荷的微粒(60)远离射束行进方向的下游。

公开(公告)号：CN1473346A

公开(公告)日：2004-02-04

申请号：CN01818276.3

申请日：2001-08-21

Applicant: 艾克塞利斯技术公司

Inventor： E·R·哈林顿 ,  V·M·本维尼斯特 ,  M·A·格拉夫 ,  R·D·拉斯梅尔

IPC: H01J37/317 ,  H01J37/02 ,  H01J37/30 ,  H01J3/40

CPC classification number: H01J37/3171 ,  H01J3/40 ,  H01J37/026 ,  H01J37/3002 ,  H01J2237/004 ,  H01J2237/022 ,  H01J2237/31705

Abstract: 本发明提供一种用于抑制污染物微粒随离子束(44)的传输的系统(10)，所述系统(10)包括：一对电极(14、16)，所述电极(14、16)提供离子束(44)从中行进的相反的电场(26、28、30、32)。当微粒(60)行进过第一电场(26、28)时，离子束(44)中所携带的微粒(60)被带以与离子束(44)极性相匹配的电荷。下游电极(16)提供具有另一个电场(30、32)，以便于排斥带正电荷的微粒(60)远离射束行进方向的下游。

公开(公告)号：US20130180845A1

公开(公告)日：2013-07-18

申请号：US13876100

申请日：2011-09-30

Applicant: Xu Shi ,  Hao Wei

Inventor： Xu Shi ,  Hao Wei

IPC: H01J3/40 ,  B01D45/04

CPC classification number: H01J3/40 ,  B01D45/04 ,  C23C4/134 ,  H01J37/32055 ,  H01J37/32422 ,  H01J37/32871 ,  H01J2237/15

Abstract: A filter for filtering macro-particles from a plasma beam, having a bended duct for carriage of the plasma beam, the bended duct comprising an intermediate portion connected at one end to an inlet portion having a longitudinal axis disposed on an inlet plane and at another opposite end to an outlet portion having a longitudinal axis disposed on an outlet plane. The inlet portion allows the plasma beam containing macro-particles to travel toward the intermediate portion in an incident direction and the outlet portion allows the plasma beam to travel from the intermediate portion in an emergent direction. The intermediate portion is configured to deviate the incident direction to the emergent direction at an angle of more than 90° and thereby remove macro-particles from the plasma beam as it passes through the intermediate portion. The inlet plane and outlet plane are disposed at an offset angle from each other.

Abstract translation: 一种用于从等离子体束过滤大粒子的过滤器，具有用于承载等离子体束的弯曲管道，弯曲管道包括在一端连接到入口部分的中间部分，入口部分具有设置在入口平面上的纵向轴线和另一端 出口部分的相对端具有设置在出口平面上的纵向轴线。 入口部分允许包含大颗粒的等离子体束在入射方向上朝向中间部分行进，并且出口部分允许等离子体束在出射方向上从中间部分行进。 中间部分被配置为以大于90°的角度将入射方向偏离出射方向，从而当等离子体束通过中间部分时从其去除大颗粒。 入口平面和出口平面以彼此偏移的角度设置。

公开(公告)号：US06525326B1

公开(公告)日：2003-02-25

申请号：US09654381

申请日：2000-09-01

Applicant: Eric R. Harrington ,  Victor M. Benveniste ,  Jeffrey A. Burgess ,  John Z. Ye

Inventor： Eric R. Harrington ,  Victor M. Benveniste ,  Jeffrey A. Burgess ,  John Z. Ye

IPC: H01J3730

CPC classification number: H01J3/40 ,  H01J37/026 ,  H01J37/3002 ,  H01J37/3171 ,  H01J2237/004 ,  H01J2237/022 ,  H01J2237/31705

Abstract: A system for inhibiting the transport of contaminant particles with an ion beam includes an electric field generator for generating an electric field relative to a path of travel for the ion beam. A particle located in the ion beam and in a region of the electric field is charged to a polarity according to the ion beam, so that the electric field may urge the charged particle out of the ion beam.

Abstract translation: 用于抑制用离子束输送污染物颗粒的系统包括用于相对于离子束的行进路径产生电场的电场发生器。 位于离子束中并且在电场的区域中的粒子根据离子束被充电到极性，使得电场可以将带电粒子推出离子束。

公开(公告)号：US5502348A

公开(公告)日：1996-03-26

申请号：US169232

申请日：1993-12-20

Applicant: Curtis D. Moyer ,  Lawrence N. Dworsky ,  Robert C. Kane

Inventor： Curtis D. Moyer ,  Lawrence N. Dworsky ,  Robert C. Kane

IPC: H01J21/06 ,  H01J3/40 ,  H01J21/10 ,  H01J1/46 ,  H01J17/24 ,  H01L23/58 ,  H01L29/06

CPC classification number: H01J21/105 ,  H01J3/40 ,  Y10S257/928

Abstract: A ballistic charge transport device including an edge electron emitter defining an elongated central opening therethrough with a receiving terminal (e.g. an anode) at one end of the opening and a getter at the other end. A suitable potential is applied between the emitter and the receiving terminal to attract emitted electrons to the receiving terminal and a different suitable potential is applied between the emitter and the getter so that contaminants, such as ions and other undesirable particles, are accelerated toward and absorbed by the getter.

Abstract translation: 一种弹道电荷传输装置，包括边缘电子发射体，其限定了在开口的一端处具有接收端子（例如阳极）的细长中心开口和另一端的吸气剂。 在发射极和接收端子之间施加合适的电位以将发射的电子吸引到接收端子，并且在发射极和吸气剂之间施加不同的合适电势，使得诸如离子和其它不期望的颗粒的污染物被加速并被吸收 由吸气者。

公开(公告)号：WO2016063329A1

公开(公告)日：2016-04-28

申请号：PCT/JP2014/077827

申请日：2014-10-20

Applicant: 株式会社島津製作所

Inventor： 水谷　司朗

IPC: H02M7/10

CPC classification number: H01J49/10 ,  H01J3/40 ,  H01J49/0036 ,  H01J49/0095 ,  H01J49/022 ,  H01J49/063 ,  H01J49/165 ,  H01J49/4245 ,  H02M7/10 ,  H02M7/103

Abstract: 　ＥＳＩイオン源のノズルに高電圧を印加する高電圧電源は、極性切替えの際に出力端に溜まっている電荷を強制的に放出するスイッチ回路（６２、６５）等を含む電荷放出補助部（２６）を備え、これによって出力電圧の正負の極性の切替えが迅速に行える。本発明に係る質量分析装置では、ノズルに印加する電圧を例えばＶ 1 からＶ 2 （ただしＶ 1 、Ｖ 2 は正でＶ 1 ＞Ｖ 2 ）に変化させるときに、主制御部（９）の制御の下で電圧制御部（２０）は、一旦、負の電圧を出力するように正電圧発生部（２１）及び負電圧発生部（２３）を動作させ、所定時間経過後に、電圧Ｖ 2 を出力するように正電圧発生部（２１）及び負電圧発生部（２３）を動作させる。電圧を単にＶ 1 →Ｖ 2 に変化させるように制御を行うと、電圧の降下が緩慢で切替えに時間が掛かるが、正負の極性を切り替えると出力端に溜まっていた電荷が放出されるので、結果的にＶ 1 からＶ 2 への電圧の切替えも高速に行われる。

Abstract translation: 用于向ESI离子源的喷嘴施加高电压的高压电源设置有包括开关电路（62,65）等的用于强制地释放累积在输出端上的电荷的充电释放辅助单元（26） 在极性切换时结束，结果可以快速切换输出电压的正负极性。 在根据本发明的质谱仪中，当施加到喷嘴的电压例如从V1变为V2（V1和V2为正且V1> V2）时，在控制下的电压控制单元（20） 主控制单元（9）暂时使正电压产生单元（21）和负电压产生单元（23）工作以输出负电压，并且在经过预定时间段之后，电压控制 单元（20）使正电压产生单元（21）和负电压产生单元（23）工作，以输出电压V2。 如果以V1的电压简单地变为V2的方式进行控制，则电压缓慢降低，所以进行切换需要很长时间。 然而，当正极和负极性被切换时，累积在输出端的电荷被释放，导致电压从V1的快速切换到V2。

公开(公告)号：US08129910B2

公开(公告)日：2012-03-06

申请号：US12490251

申请日：2009-06-23

Applicant: David Riley Whaley ,  Ramon Duggal ,  Carter Michael Armstrong

Inventor： David Riley Whaley ,  Ramon Duggal ,  Carter Michael Armstrong

IPC: H01J1/52 ,  H01J5/02

CPC classification number: H01J3/40 ,  H01J1/52 ,  H01J37/026 ,  H01J37/06 ,  H01J2237/0206 ,  H01J2237/0213 ,  H01J2237/06325

Abstract: A system and method of magnetically insulating the cathode of a cold-cathode electron gun is achieved. A strong magnetic field is applied in the vicinity of the cold cathode to deflect and constrain the flow of electrons emitted from structures within the electron gun. The magnetic field largely prevents re-reflected primary and secondary electrons from reaching the cathode, thereby improving the operation and increasing the life of the cold-cathode electron gun. In addition, the insulating magnetic field improves electron beam focusing and enables a reduction in the magnitude of static electric focusing fields employed in the vicinity of the cold cathode, further reducing the electron gun's susceptibility to destructive arcing.

Abstract translation: 实现了冷阴极电子枪的阴极的磁绝缘的系统和方法。 在冷阴极附近施加强磁场以偏转和限制从电子枪内的结构发射的电子的流动。 磁场大大地防止再反射的一次电子和二次电子到达阴极，从而改善了冷阴极电子枪的操作和寿命。 此外，绝缘磁场改善了电子束聚焦，并且能够减少在冷阴极附近使用的静电聚焦场的大小，进一步降低了电子枪对破坏性电弧的敏感性。

公开(公告)号：US20110012033A1

公开(公告)日：2011-01-20

申请号：US12835138

申请日：2010-07-13

Applicant: Neil K. Colvin

Inventor： Neil K. Colvin

IPC: H01J37/317 ,  H01J37/02

CPC classification number: H01J37/3171 ,  H01J3/40 ,  H01J37/026 ,  H01J37/09 ,  H01J2237/0041 ,  H01J2237/022 ,  H01J2237/31705

Abstract: An apparatus is provided for reducing particle contamination in an ion implantation system. The apparatus has an enclosure having an entrance, an exit, and at least one louvered side having a plurality of louvers defined therein. A beamline of the ion implantation system passes through the entrance and exit, wherein the plurality of louvers of the at least one louvered side are configured to mechanically filter an edge of an ion beam traveling along the beamline. The enclosure can have two louvered sides and a louvered top, wherein respective widths of the entrance and exit of the enclosure, when measured perpendicular to the beamline, are generally defined by a position of the two louvered sides with respect to one another. One or more of the louvered sides can be adjustably mounted, wherein the width of one or more of the entrance and exit of the enclosure is controllable.

Abstract translation: 提供了用于减少离子注入系统中的颗粒污染的装置。 该装置具有外壳，其具有入口，出口和至少一个百叶窗，其中限定有多个百叶窗。 离子注入系统的束线通过入口和出口，其中至少一个百叶窗侧的多个百叶窗被配置为机械地过滤沿着束线行进的离子束的边缘。 外壳可以具有两个百叶窗和百叶窗顶部，其中当垂直于束线测量时，外壳的入口和出口的相应宽度通常由两个百叶窗相对于彼此的位置来限定。 一个或多个百叶窗侧面可以可调节地安装，其中外壳的入口和出口中的一个或多个的宽度是可控的。