公开(公告)号：WO2013001171A1

公开(公告)日：2013-01-03

申请号：PCT/FI2012/050693

申请日：2012-06-29

Applicant: MURATA ELECTRONICS OY ,  KUISMA, Heikki

Inventor： KUISMA, Heikki

IPC: H01L25/04 ,  H01L25/16 ,  B81C1/00

CPC classification number: B81B7/0074 ,  B81B2201/0235 ,  B81B2201/025 ,  B81B2201/0257 ,  B81B2201/0264 ,  B81B2201/036 ,  B81B2207/012 ,  B81B2207/095 ,  B81C1/00333 ,  G01C19/5783 ,  G01L19/0084 ,  G01L19/148 ,  G01P1/023 ,  G01P1/026 ,  G01P15/0802 ,  H01L21/568 ,  H01L23/528 ,  H01L23/5389 ,  H01L24/16 ,  H01L24/17 ,  H01L24/19 ,  H01L24/32 ,  H01L24/73 ,  H01L24/83 ,  H01L24/92 ,  H01L24/96 ,  H01L24/97 ,  H01L25/16 ,  H01L25/18 ,  H01L25/50 ,  H01L27/14618 ,  H01L2223/6677 ,  H01L2224/12105 ,  H01L2224/16145 ,  H01L2224/16227 ,  H01L2224/1703 ,  H01L2224/32145 ,  H01L2224/32225 ,  H01L2224/73204 ,  H01L2224/8312 ,  H01L2224/8319 ,  H01L2224/92125 ,  H01L2224/97 ,  H01L2924/12042 ,  H01L2924/14 ,  H01L2924/1433 ,  H01L2924/1461 ,  H01L2924/15311 ,  H01L2924/181 ,  H01L2924/18162 ,  H01L2224/81 ,  H01L2224/83 ,  H01L2924/00012 ,  H01L2924/00

Abstract: A method of making a system-in-package device, and a system-in-package device is disclosed. In the method, at least one first species die with predetermined dimensions, at least one second species die with predetermined dimensions, and at least one further component of the system-in-device is included in the system-in package device. At least one of the first and second species dies is selected for redimensioning, and material is added to at least one side of the selected die such that the added material and the selected die form a redimensioned die structure. A connecting layer is formed on the redimensioned die structure. The redimensioned die structure is dimensioned to allow mounting of the non-selected die and the at least one further component into contact with the redimensioned die structure via the connecting layer.

Abstract translation: 公开了一种制造系统级封装器件的方法，以及一种系统级封装器件。 在该方法中，至少一个具有预定尺寸的第一种模具，具有预定尺寸的至少一个第二种类模具，并且系统级装置中的至少一个另外的部件被包括在系统包装装置中。 选择第一和第二种类模具中的至少一种用于重新定尺，并且将材料添加到所选择的模具的至少一侧，使得添加的材料和所选择的模具形成重新定尺的模具结构。 在重新定型的模具结构上形成连接层。 重新定尺寸的模具结构的尺寸被设计成允许安装未选择的模具和至少一个另外的部件通过连接层与重新定向的模具结构接触。

公开(公告)号：WO2012148604A2

公开(公告)日：2012-11-01

申请号：PCT/US2012/030286

申请日：2012-03-23

Applicant: CLEAN ENERGY LABS, LLC ,  LACKOWSKI, William Martin ,  EVERETT, William Neil ,  PINKERTON, Joseph F.

Inventor： LACKOWSKI, William Martin ,  EVERETT, William Neil ,  PINKERTON, Joseph F.

IPC: B82B3/00

CPC classification number: B82B3/0023 ,  B81B2201/018 ,  B81B2201/036 ,  B81B2203/0109 ,  B81B2207/053 ,  B81C3/001 ,  B81C2201/019 ,  B81C2201/0194 ,  B81C2203/036 ,  B81C2203/051 ,  G01L9/0042 ,  H01H1/0094

Abstract: The present invention relates to thin membranes (such as graphene windows) and methods of aligned transfer of such thin membranes to substrates. The present invention further relates to devices that include such thin membranes.

Abstract translation: 本发明涉及薄膜（例如石墨烯窗）和将这种薄膜对准转移到基底的方法。 本发明还涉及包括这种薄膜的装置。

公开(公告)号：WO2011049963A3

公开(公告)日：2011-08-18

申请号：PCT/US2010053221

申请日：2010-10-19

Applicant: UNIV MICHIGAN ,  HAQUE RAZI-UL ,  WISE KENSALL

Inventor： HAQUE RAZI-UL ,  WISE KENSALL

IPC: H01L23/055 ,  H01L23/08

CPC classification number: C03C19/00 ,  B81B2201/036 ,  B81B2201/058 ,  B81C1/00095 ,  F04B19/006 ,  Y10T428/24479

Abstract: A method of embedding material in a glass substrate is provided. The method includes providing a glass composition and a mold substrate having a patterned surface defining a recess therein. The mold substrate is formed from a material having a higher reflow temperature than the glass composition. A surface wettability of the patterned surface is increased relative to the glass composition. At least a portion of the glass composition is flowed into the recess defined by the patterned surface of the mold substrate, followed by solidifying the glass composition to form a solidified glass layer. Material is removed from the solidified glass layer until a portion of the underlying patterned surface of the mold substrate is exposed with at least a portion of the mold substrate embedded in the solidified glass layer to thereby form the glass substrate having the material embedded therein.

Abstract translation: 提供了一种将材料嵌入玻璃基板中的方法。 该方法包括提供具有在其中限定凹槽的图案化表面的玻璃组合物和模具基板。 模具基板由具有比玻璃组合物高的回流温度的材料形成。 图案化表面的表面可润湿性相对于玻璃组合物增加。 至少一部分玻璃组合物流入由模具基材的图案化表面限定的凹部，接着固化玻璃组合物以形成固化的玻璃层。 将材料从固化的玻璃层移除，直到模具基板的下面的图案化表面的一部分暴露，且模具基板的至少一部分嵌入固化的玻璃层中，从而形成其中嵌入有材料的玻璃基板。

公开(公告)号：WO2008035295A3

公开(公告)日：2009-02-05

申请号：PCT/IB2007053796

申请日：2007-09-19

Applicant: KONINKL PHILIPS ELECTRONICS NV ,  GILLIES MURRAY F ,  DEN TOONDER JACOB M J ,  JOHNSON MARK T ,  PONJEE MARC W G

Inventor： GILLIES MURRAY F ,  DEN TOONDER JACOB M J ,  JOHNSON MARK T ,  PONJEE MARC W G

IPC: B81B3/00

CPC classification number: B81B3/0029 ,  B81B2201/036

Abstract: The Invention concerns to a micro-actuator device for the use in biochip or bio-system. In order to achieve a micro-actuator device for the use as a micro pump in biosensors or bio-systems, or at least bio-chips, by which the actuation can be steered very precisely and effective, the solution is that the micro actuator consist of a photosensitive actuator element (1), which can be deformed from a reversal basic-form into an activated deformation form by photonic activation of a light source (3, 4, L1, L2) in order to generate with this controlled movement a defined flow in a gas or a liquid.

Abstract translation: 本发明涉及用于生物芯片或生物系统的微致动器装置。 为了实现微致动器装置，用作生物传感器或生物系统中的微泵，或至少可以非常精确和有效地转动致动的生物芯片，解决方案是微型致动器包括 感光致动器元件（1），其可以通过光源（3,4，L1，L2）的光子激活而从反转基本形式变形为激活的变形形式，以便以该受控运动产生定义的 在气体或液体中流动。

公开(公告)号：WO2008106928A3

公开(公告)日：2009-01-22

申请号：PCT/DE2008000313

申请日：2008-02-22

Applicant: FRAUNHOFER GES FORSCHUNG ,  UNIV CHEMNITZ TECH ,  OTTO THOMAS ,  MORSCHHAUSER ANDREAS ,  NESTLER JOERG ,  GESSNER THOMAS ,  VOIGT SEBASTIAN

Inventor： OTTO THOMAS ,  MORSCHHAUSER ANDREAS ,  NESTLER JOERG ,  GESSNER THOMAS ,  VOIGT SEBASTIAN

IPC: B81C1/00 ,  B81C99/00 ,  F04B43/04 ,  H01H50/00

CPC classification number: B81C1/00698 ,  B81B2201/016 ,  B81B2201/036 ,  B81B2201/038 ,  B81B2203/0127 ,  B81C1/00158 ,  F04B43/043

Abstract: The present invention relates to a method for the production of membranes that can be electrically and/or magnetically activated, particularly for switches or pumps. In the method, microparticles and/or nanoparticles (5) having magnetic and/or electric properties are mixed with a matrix material in a flowable state, which has elastic properties after solidification. The matrix material is applied to a substrate as a layer (1), and a distribution of the particles in the layer (1) is selectively modified by means of one or more electric and/or magnetic fields in order to achieve an accumulation (2, 3) of the particles (5) on one or a plurality of locations in the layer (1). The layer (1) is subsequently solidified using the accumulated particles in order to form one or more membranes (16). The invention also relates to a magnetic actuator having such a membrane. The method enables the use of elastic membranes having magnetic, or magnetizable, particles incorporated therein, without having an adverse influence on the elastic properties in certain regions of the membrane.

Abstract translation: 本发明涉及用于生产电和/或磁性变化的膜的方法，特别是用于开关，或泵。 在微米和/或纳米粒子（5）的方法中与具有容纳在具有可流动状态的基质材料的磁性和/或电气特性混合，经过硬化的弹性特性。 的基质材料被应用作为在基板上的层（1）和所述颗粒在层中的分布（1）选择性地与一个或多个电气和/或磁场改变为积累（图2，3）的颗粒（5） 所得到的层（1）的一个或多个点。 的层（1），然后用累积颗粒固化，以形成一个或多个膜（16）。 本发明还涉及具有这样的膜的磁致动器。 该方法使得能够使用具有嵌入的磁性或可磁化颗粒的弹性膜而不会在膜产生不利影响的某些区域中的弹性特性。

公开(公告)号：WO2008106928A2

公开(公告)日：2008-09-12

申请号：PCT/DE2008/000313

申请日：2008-02-22

Applicant: FRAUNHOFER GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E. V. ,  TECHNISCHE UNIVERSITÄT CHEMNITZ ,  OTTO, Thomas ,  MORSCHHAUSER, Andreas ,  NESTLER, Jörg ,  GESSNER, Thomas ,  VOIGT, Sebastian

Inventor： OTTO, Thomas ,  MORSCHHAUSER, Andreas ,  NESTLER, Jörg ,  GESSNER, Thomas ,  VOIGT, Sebastian

IPC: B81C1/00

CPC classification number: B81C1/00698 ,  B81B2201/016 ,  B81B2201/036 ,  B81B2201/038 ,  B81B2203/0127 ,  B81C1/00158 ,  F04B43/043

Abstract: Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung von elektrisch und/oder magnetisch ansteuerbaren Membranen, insbesondere für Schalter oder Pumpen. Bei dem Verfahren werden Mikro- und/oder Nanopartikel (5) mit magnetischen und/oder elektrischen Eigenschaften mit einem in fließfähigem Zustand befindlichen Matrixmaterial vermischt, das nach einer Verfestigung elastische Eigenschaften aufweist. Das Matrixmaterial wird als Schicht (1) auf ein Substrat aufgebracht und eine Verteilung der Partikel in der Schicht (1) mit einem oder mehreren elektrischen und/oder magnetischen Feldern gezielt verändert, um eine Anhäufung (2, 3) der Partikel (5) an einer oder mehreren Stellen der Schicht (1) zu erhalten. Die Schicht (1) wird anschließend mit den angehäuften Partikeln zur Bildung einer oder mehrerer Membranen (16) verfestigt. Die Erfindung betrifft auch einen magnetischen Aktor mit einer derartigen Membran. Das Verfahren ermöglicht die Nutzung von elastischen Membranen mit eingelagerten magnetischen oder magnetisierbaren Partikeln, ohne die elastischen Eigenschaften in bestimmten Bereichen der Membran negativ zu beeinflussen.

Abstract translation: 本发明涉及用于生产电和/或磁性变化的膜的方法，特别是用于开关，或泵。 在微米和/或纳米粒子（5）的方法中与具有容纳在具有可流动状态的基质材料的磁性和/或电气特性混合，经过硬化的弹性特性。 的基质材料被应用作为在基板上的层（1）和所述颗粒在层中的分布（1）选择性地与一个或多个电气和/或磁场改变为积累（图2，3）的颗粒（5） 所得到的层（1）的一个或多个点。 的层（1），然后用累积颗粒固化，以形成一个或多个膜（16）。 本发明还涉及具有这样的膜的磁致动器。 该方法使得能够使用具有嵌入的磁性或可磁化颗粒的弹性膜而不会在膜产生不利影响的某些区域中的弹性特性。

公开(公告)号：WO2007064404A8

公开(公告)日：2008-04-24

申请号：PCT/US2006039135

申请日：2006-10-03

Applicant: KIONIX INC ,  YOUNG LINCOLN ,  ZHOU PENG

Inventor： YOUNG LINCOLN ,  ZHOU PENG

IPC: B01L3/00 ,  B32B27/00 ,  F04B43/04 ,  F04B53/10

CPC classification number: F16K7/12 ,  B01F5/0683 ,  B01F5/0688 ,  B01F11/0071 ,  B01F13/0059 ,  B01F2215/0034 ,  B01L3/502707 ,  B01L3/50273 ,  B01L3/502738 ,  B01L2200/12 ,  B01L2300/0816 ,  B01L2300/0861 ,  B01L2300/0867 ,  B01L2300/0887 ,  B01L2400/0481 ,  B01L2400/0487 ,  B01L2400/06 ,  B01L2400/0638 ,  B01L2400/0655 ,  B01L2400/084 ,  B29C65/4895 ,  B29C66/004 ,  B29C66/54 ,  B29C66/5412 ,  B29C66/71 ,  B29K2025/00 ,  B29K2025/04 ,  B29K2033/08 ,  B29K2069/00 ,  B29K2101/12 ,  B29L2031/7496 ,  B29L2031/7506 ,  B29L2031/756 ,  B81B3/0021 ,  B81B2201/036 ,  B81B2201/054 ,  B81B2203/0127 ,  B81C1/00103 ,  B81C1/00158 ,  F04B43/028 ,  F04B43/043 ,  F04B43/06 ,  F15C1/08 ,  F16K99/0001 ,  F16K99/0015 ,  F16K99/0021 ,  F16K99/0034 ,  F16K99/0055 ,  F16K99/0057 ,  F16K99/0059 ,  F16K2099/0074 ,  F16K2099/0076 ,  F16K2099/0078 ,  F16K2099/008 ,  F16K2099/0084 ,  F16K2099/0094 ,  Y10T29/49405 ,  Y10T137/212 ,  Y10T137/2202 ,  Y10T137/2218 ,  Y10T137/8593 ,  Y10T137/85978 ,  Y10T156/1002 ,  Y10T156/1043 ,  B29K2033/12 ,  B29K2025/06

Abstract: Plastic microfluidic structures having a substantially rigid diaphragm that actuates between a relaxed state wherein the diaphragm sits against the surface of a substrate and an actuated state wherein the diaphragm is moved away from the substrate. As will be seen from the following description, the microfluidic structures formed with this diaphragm provide easy to manufacture and robust systems, as well readily made components such as valves and pumps.

Abstract translation: 塑料微流体结构具有基本上刚性的膜片，其在松弛状态之间起作用，其中隔膜抵靠衬底的表面，以及致动状态，其中隔膜移动离开衬底。 从以下描述可以看出，用这种隔膜形成的微流体结构提供易于制造和坚固的系统，以及易于制造的部件，例如阀和泵。

公开(公告)号：WO2008035295A2

公开(公告)日：2008-03-27

申请号：PCT/IB2007/053796

申请日：2007-09-19

Applicant: KONINKLIJKE PHILIPS ELECTRONICS N.V. ,  GILLIES, Murray, F. ,  DEN TOONDER, Jacob, M., J. ,  JOHNSON, Mark, T. ,  PONJEE, Marc, W., G.

Inventor： GILLIES, Murray, F. ,  DEN TOONDER, Jacob, M., J. ,  JOHNSON, Mark, T. ,  PONJEE, Marc, W., G.

CPC classification number: B81B3/0029 ,  B81B2201/036

Abstract: The Invention concerns to a micro-actuator device for the use in biochip or bio-system. In order to achieve a micro-actuator device for the use as a micro pump in biosensors or bio-systems, or at least bio-chips, by which the actuation can be steered very precisely and effective, the solution is that the micro actuator consist of a photosensitive actuator element (1), which can be deformed from a reversal basic-form into an activated deformation form by photonic activation of a light source (3, 4, L1, L2) in order to generate with this controlled movement a defined flow in a gas or a liquid.

Abstract translation: 本发明涉及用于生物芯片或生物系统的微致动器装置。 为了实现微致动器装置，用作生物传感器或生物系统中的微泵，或至少可以非常精确和有效地转动致动的生物芯片，解决方案是微型致动器包括 感光致动器元件（1），其可以通过光源（3,4，L1，L2）的光子激活而从反转基本形式变形为激活的变形形式，以便以该受控运动产生定义的 在气体或液体中流动。

公开(公告)号：WO2005052371A1

公开(公告)日：2005-06-09

申请号：PCT/FR2004/050584

申请日：2004-11-12

Applicant: STMICROELECTRONICS SA ,  BOUCHE, Guillaume

Inventor： BOUCHE, Guillaume

IPC: F04B43/04

CPC classification number: F04B43/043 ,  B81B7/0093 ,  B81B2201/036 ,  B81B2203/0127 ,  B81B2203/0315 ,  H01L23/473 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

Abstract: L'invention concerne une pompe comprenant : une cavité formée dans un substrat isolant, la partie supérieure du substrat située à proximité de la cavité constituant une bordure, une couche conductrice recouvrant l'intérieur de la cavité jusqu'à la bordure et recouvrant éventuellement la bordure, une membrane souple, constituée d'un matériau conducteur, placée au-dessus de la cavité et s'appuyant sur la bordure, une couche diélectrique recouvrant la couche conductrice ou la membrane de façon à isoler les portions de la couche conductrice et de la membrane qui sont proches l’une de l’autre, au moins un conduit d’aération formé dans le substrat isolant qui débouche dans la cavité par une ouverture de la couche conductrice, et des bornes d’application d’une tension entre la couche conductrice et la membrane.

Abstract translation: 本发明涉及一种泵，包括：形成在绝缘基板内部的空腔，所述基板的上部位于包括边缘的空腔附近; 导电层，覆盖空腔的内部直到边缘并且可选地覆盖边缘本身; 由导电材料制成的柔性膜，放置在空腔上方并抵靠边缘; 覆盖导电层或膜的电介质层，由此绝缘导电层和膜彼此靠近的部分; 形成在所述绝缘基板中的至少一个通气线，所述曝气线经由所述导电层中的开口而进入所述空腔， 用于在导电层和膜之间施加电压的端子。

公开(公告)号：WO0101025A2

公开(公告)日：2001-01-04

申请号：PCT/US0017740

申请日：2000-06-27

Applicant: CALIFORNIA INST OF TECHN ,  UNGER MARC A ,  CHOU HOU PU ,  THORSEN TODD A ,  SCHERER AXEL ,  QUAKE STEPHEN R

Inventor： UNGER MARC A ,  CHOU HOU-PU ,  THORSEN TODD A ,  SCHERER AXEL ,  QUAKE STEPHEN R

IPC: G03F7/20 ,  B01L3/00 ,  B81B1/00 ,  B81B3/00 ,  B81B7/00 ,  B81C1/00 ,  B81C99/00 ,  C12Q1/68 ,  F04B17/00 ,  F04B35/04 ,  F04B43/04 ,  F15C5/00 ,  F16K7/00 ,  F16K17/02 ,  F16K99/00 ,  F16K17/00

CPC classification number: B29C51/00 ,  B01L3/502707 ,  B01L3/50273 ,  B01L3/502738 ,  B01L2300/0861 ,  B01L2300/0887 ,  B01L2300/123 ,  B01L2400/046 ,  B01L2400/0481 ,  B01L2400/0655 ,  B33Y80/00 ,  B81B5/00 ,  B81B2201/036 ,  B81B2201/054 ,  B81C1/00119 ,  B81C2201/019 ,  B81C2201/034 ,  C12Q1/6874 ,  F04B43/043 ,  F15C1/06 ,  F15C5/00 ,  F16K11/20 ,  F16K13/00 ,  F16K31/126 ,  F16K99/0001 ,  F16K99/0015 ,  F16K99/0046 ,  F16K99/0048 ,  F16K99/0051 ,  F16K99/0059 ,  F16K2099/0074 ,  F16K2099/0076 ,  F16K2099/0078 ,  F16K2099/008 ,  F16K2099/0094 ,  Y10T137/0491 ,  Y10T137/0497 ,  Y10T137/2224 ,  Y10T137/87249 ,  Y10T156/10 ,  Y10T428/24479 ,  Y10T428/24744 ,  C12Q2535/125

Abstract: A method of fabricating an elastomeric structure, comprising : forming a first elastomeric layer on top of a first micromachined mold, the first micromachined mold having a first raised protrusion which forms a first recess extending along a bottom surface of the first elastomeric layer; forming a second elastomeric layer on top of a second micromachined mold, the second micromachined mold having a second raised protrusion which forms a second recess extending along a bottom surface of the second elastomeric layer; bonding the bottom surface of the second elastomeric layer onto a top surface of the first elastomeric layer such that a control channel forms in the second recess between the first and second elastomeric layers; and positioning the first elastomeric layer on top of a planar substrate such that a flow channel forms in the first recess between the first elastomeric layer and the planar substrate.

Abstract translation: 一种制造弹性体结构的方法，包括：在第一微机械模具的顶部上形成第一弹性体层，所述第一微机械模具具有第一凸起突起，所述第一凸起形成沿所述第一弹性体层的底表面延伸的第一凹陷; 在第二微机械模具的顶部上形成第二弹性体层，所述第二微机械模具具有第二凸起突起，所述第二凸起形成沿着所述第二弹性体层的底表面延伸的第二凹陷; 将所述第二弹性体层的底表面结合到所述第一弹性体层的顶表面上，使得在所述第一和第二弹性体层之间的所述第二凹陷中形成控制通道; 以及将第一弹性体层定位在平面基底的顶部上，使得在第一弹性体层和平面基底之间的第一凹陷中形成流动通道。