광원의 파장 측정 장치 및 방법과 매질의 특성 측정 장치 및 방법
    201.
    发明公开
    광원의 파장 측정 장치 및 방법과 매질의 특성 측정 장치 및 방법 有权
    用于检测光源波长的装置和方法及装置以及用于检测媒体特性的方法

    公开(公告)号:KR1020150145531A

    公开(公告)日:2015-12-30

    申请号:KR1020140075537

    申请日:2014-06-20

    Inventor: 차명식 최희주

    CPC classification number: G01J3/14 G01J3/45 G01J2003/145 G02B5/3025

    Abstract: 파장측정장치가개시된다. 일실시예에의한파장측정장치는, 외부로부터입사되는빛을투과시키는매질, 상기매질에의한간섭무늬를검출하는검출장치및 상기검출된간섭무늬및 상기매질의특성에기초하여, 상기입사되는빛의파장을측정하는처리장치를포함할수 있다.

    Abstract translation: 公开了一种波长测量装置。 根据本发明的实施例的波长测量装置包括:用于发射从外部接收的光的介质; 用于通过介质检测干涉图案的检测装置; 以及用于基于检测到的干涉图案和介质的特性来测量接收光的波长的处理装置。

    적외선 분광용 회전형 간섭계 최적화 방법
    202.
    发明授权
    적외선 분광용 회전형 간섭계 최적화 방법 有权
    用于红外光谱的旋转干涉仪的优化方法

    公开(公告)号:KR101542894B1

    公开(公告)日:2015-08-07

    申请号:KR1020140046502

    申请日:2014-04-18

    CPC classification number: G01J3/45

    Abstract: 본발명은회전형간섭계에관한것으로서, 더상세하게는적외선영역의기체스펙트럼을고속으로측정할수 있으며진동/충격등의외란으로부터안정적인성능을구현할수 있는푸리에변환적외선(Fourier Transform Infra-Red, FTIR) 분광용회전형분광간섭계의최적화설계를위한최적화방법에대한것이다.

    Abstract translation: 本发明涉及一种旋转干涉仪,更具体地说,涉及一种用于最佳设计傅里叶变换红外(FTIR)旋转干涉仪的优化方法,其可以高速度地测量红外区域中的气体光谱,并且可以对 外部应力如振动或冲击。

    향상된 대역폭 추정
    204.
    发明授权
    향상된 대역폭 추정 有权
    改进的带宽估计

    公开(公告)号:KR101118532B1

    公开(公告)日:2012-03-12

    申请号:KR1020057024950

    申请日:2004-06-14

    CPC classification number: G01J3/02 G01J3/0205 G01J3/027 G01J3/28 G01J3/45

    Abstract: 레이저로부터 방출된 광의 대역폭을 나타내는 제1 파라미터를 나타내는 제1 출력 및 상기 레이저로부터 방출된 광의 대역폭을 나타내는 제2 파라미터를 나타내는 제2 출력을 제공하는 광 대역폭 모니터; 및 실제 대역폭 파라미터를 계산하기 위해, 상기 광 대역폭 모니터에 구체적인 사전결정된 교정 변수를 사용하는 복수변수 방정식의 일부로서 상기 제1 출력 및 제2 출력을 사용하는 실제 대역폭 계산 장치;를 포함하고, 대역폭 미터로 입력되는 레이저로부터 방출된 광의 스펙트럼의 대역폭을 측정하기 위한 대역폭 미터 방법 및 장치가 개시되어 있다. 상기 실제 대역폭 파라미터는 상기 레이저로부터 방출된 광의 스펙트럼의 전체폭내의 최대값의 임의의 퍼센트에서의 스펙트럼 전체폭("FWXM") 또는 상기 레이저로부터 방출된 광의 스펙트럼의 전체 스펙트럼의 에너지의 임의의 퍼센트를 포함하는 스펙트럼의 콘텐트를 한정하는 스펙트럼상의 2개의 포인트 사이의 폭("EX")을 포함할 수 있다. 상기 광 대역폭 모니터는 에탈론을 포함할 수 있고, 상기 제1 출력은 FWXM에서의 에탈론의 광 출력의 프린지의 폭 또는 상기 레이저로부터 방출된 광의 전체 스펙트럼의 에너지의 임의의 퍼센트를 포함하는 스펙트럼상의 2개의 포인트 사이의 폭("EX'")중 적어도 하나를 나타내고, 상기 제2 출력은 제2 FWX''M 또는 EX'''의 적어도 하나를 나타내고, 여기에서, X≠X'' 및 X'≠X'''이다. 상기 사전계산된 교정 변수는 교정 스펙트럼에 대한 제1 출력 및 제2 출력의 발생과 상관된 신뢰의 스탠더드를 사용하여 실제 대역폭 파라미터의 값을 측정함으로써 유도될 수 있다. 상 기 실제 대역폭 파라미터의 값은 방정식: 추정된 실제 BW 파라미터 = K*w
    1 + L*w
    2 + M, 로부터 계산되고, w
    1 는 FWXM 또는 EX'를 나타내는 제1 측정된 출력이고 w
    2 는 FWX''M 또는 EX'''을 나타내는 제2 측정된 출력이다. 상기 장치 및 방법은 레이저 리소그래피 광원 및/또는 집적 회로 리소그래피 툴내에 구현될 수 있다.
    레이저, 스펙트럼, 광원, 대역폭, 광 대역폭 모니터, 실제 대역폭 계산 장치, 대역폭 파라미터, 교정 스펙트럼, 레이저 리소그래피 광원, 집적회로 리소그래피 툴

    레이저 출력의 대역폭을 측정하는 방법 및 장치
    207.
    发明公开
    레이저 출력의 대역폭을 측정하는 방법 및 장치 有权
    光学带宽测量仪,用于非常窄的带宽激光发射光

    公开(公告)号:KR1020060052783A

    公开(公告)日:2006-05-19

    申请号:KR1020067000333

    申请日:2004-06-29

    Abstract: A method and apparatus for measuring bandwidth of light emitted from a laser (12) is disclosed which may comprise: a first (30) and second (34) wavelength sensitive optical bandwidth etalon detectors providing, respectively, an output (32, 36) representative of a first parameter indicative of the bandwidth of the emitted light as measured respectively by the first anal second bandwidth detectors, and an actual bandwidth calculation apparatus (40) adapted to utilize these two outputs as part of a multivariable linear equation employing predetermined calibration variables specific to either the first or the second bandwidth detector, to calculate a first actual bandwidth parameter (FWXM) or a second actual bandwidth parameter (EX).

    Abstract translation: 公开了一种用于测量从激光器(12)发射的光的带宽的方法和装置,其可以包括:分别提供输出(32,36)代表的第一(30)和第二(34)波长敏感的光带宽标准具检测器 指示由第一肛门第二带宽检测器分别测量的发射光的带宽的第一参数,以及适于利用这两个输出作为多变量线性方程的一部分的实际带宽计算装置(40),其采用预定的校准变量 到第一或第二带宽检测器,以计算第一实际带宽参数(FWXM)或第二实际带宽参数(EX)。

    광섬유 페브리-페롯 간섭계
    208.
    发明公开
    광섬유 페브리-페롯 간섭계 失效
    光纤贴片干涉仪

    公开(公告)号:KR1020040013732A

    公开(公告)日:2004-02-14

    申请号:KR1020020046795

    申请日:2002-08-08

    Inventor: 박재희

    CPC classification number: G01J3/26 G01J3/45 G01J2003/262 G01J2003/451

    Abstract: PURPOSE: An optical fiber fabry-perot interferometer is provided to simplify a manufacturing process and to prevent a polarization fading phenomenon by forming an air cavity or a dual core between mirrors. CONSTITUTION: A first optical fiber(13) includes a first core(10) and a first cladding(13). A second optical fiber(20) used in a fabry-perot interferometer includes a second core(17), a hollow section(15) formed at the center of the core(17), and a second cladding(19). The hollow section(15) is filled with air. A third optical fiber includes an internal core(21) and an external core, forming a dual core. A cladding is provided around the external core. The first optical fiber(13) having the first core(10) and the first cladding(13) is bonded to the second optical fiber(20) by cutting predetermined portions of the first and second optical fibers(13,20).

    Abstract translation: 目的:提供光纤fabry-perot干涉仪,以简化制造过程,并通过在反射镜之间形成空气腔或双芯来防止偏振衰落现象。 构成:第一光纤(13)包括第一芯(10)和第一包层(13)。 在法布里罗干涉仪中使用的第二光纤(20)包括第二芯体(17),形成在芯部(17)的中心处的中空部分(15)和第二包层(19)。 空心部分(15)充满空气。 第三光纤包括内芯(21)和外芯,形成双芯。 围绕外部芯体设置包层。 通过切割第一和第二光纤(13,20)的预定部分,具有第一芯(10)和第一包层(13)的第一光纤(13)与第二光纤(20)接合。

    정보획득방법
    209.
    发明授权

    公开(公告)号:KR100354852B1

    公开(公告)日:2003-04-21

    申请号:KR1019970703780

    申请日:1995-12-07

    CPC classification number: G01J3/45 G01J3/453

    Abstract: PCT No. PCT/DK95/00492 Sec. 371 Date May 13, 1997 Sec. 102(e) Date May 13, 1997 PCT Filed Dec. 7, 1995 PCT Pub. No. WO96/18089 PCT Pub. Date Jun. 13, 1996A method is suggested for obtaining information on the electromagnetic spectrum of a sample, the method comprising (a) generating a plurality of substantially identical signals, (b) determining the shape of a first number of the signals by performing a first number of scans of a first range of signal width, (c) determining the shape of a second number of the signals by performing a second number of scans of a second range of signal width, the second range being comprised by the first range and comprising a portion of the first range in which the signals have maximum absolute amplitude, (d) combining data from the first number of scans and the second number of scans so as to obtain data corresponding to the shape of the signals, and (e) performing a mathematical transformation of the combined data so as to obtain the information on the electromagnetic spectrum of the sample. According to this method, the electromagnetic spectrum-and especially an absorption spectrum for use in quantitative analysis of the sample-may be obtained faster than is possible using prior art methods.

    Abstract translation: PCT No.PCT / DK95 / 00492 Sec。 371日期1997年5月13日 102(e)日期1997年5月13日PCT申请日1995年12月7日PCT Pub。 WO96 / 18089 PCT Pub。 日期1996年6月13日建议一种用于获得关于样品的电磁谱的信息的方法,该方法包括(a)产生多个基本上相同的信号,(b)通过执行一个或多个信号来确定第一数量的信号的形状 (c)通过执行信号宽度的第二范围的第二扫描次数来确定第二数量的信号的形状,第二范围由第一范围包括,以及 包括其中信号具有最大绝对振幅的第一范围的一部分,(d)组合来自第一扫描数目和第二扫描数目的数据,以便获得对应于信号形状的数据,以及(e) 执行组合数据的数学变换以获得关于样本的电磁波谱的信息。 根据该方法,可以比使用现有技术的方法更快地获得电磁谱(并且尤其是用于定量分析样品的吸收光谱)。

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