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公开(公告)号:KR1020150145531A
公开(公告)日:2015-12-30
申请号:KR1020140075537
申请日:2014-06-20
Applicant: 부산대학교 산학협력단
IPC: G01J3/14
CPC classification number: G01J3/14 , G01J3/45 , G01J2003/145 , G02B5/3025
Abstract: 파장측정장치가개시된다. 일실시예에의한파장측정장치는, 외부로부터입사되는빛을투과시키는매질, 상기매질에의한간섭무늬를검출하는검출장치및 상기검출된간섭무늬및 상기매질의특성에기초하여, 상기입사되는빛의파장을측정하는처리장치를포함할수 있다.
Abstract translation: 公开了一种波长测量装置。 根据本发明的实施例的波长测量装置包括:用于发射从外部接收的光的介质; 用于通过介质检测干涉图案的检测装置; 以及用于基于检测到的干涉图案和介质的特性来测量接收光的波长的处理装置。
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公开(公告)号:KR101542894B1
公开(公告)日:2015-08-07
申请号:KR1020140046502
申请日:2014-04-18
Applicant: 국방과학연구소
IPC: G01J3/45
CPC classification number: G01J3/45
Abstract: 본발명은회전형간섭계에관한것으로서, 더상세하게는적외선영역의기체스펙트럼을고속으로측정할수 있으며진동/충격등의외란으로부터안정적인성능을구현할수 있는푸리에변환적외선(Fourier Transform Infra-Red, FTIR) 분광용회전형분광간섭계의최적화설계를위한최적화방법에대한것이다.
Abstract translation: 本发明涉及一种旋转干涉仪,更具体地说,涉及一种用于最佳设计傅里叶变换红外(FTIR)旋转干涉仪的优化方法,其可以高速度地测量红外区域中的气体光谱,并且可以对 外部应力如振动或冲击。
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公开(公告)号:KR101350262B1
公开(公告)日:2014-01-16
申请号:KR1020120017070
申请日:2012-02-20
Applicant: 한국과학기술연구원
CPC classification number: G01J3/45 , G01J3/0218 , G01J3/26 , G01N21/7703 , G01N2021/772 , G01N2021/7723 , G01N2021/7779 , G02B6/10
Abstract: 본 명세서는, 광원에서 형성된 빛에 대하여 광섬유 패브리-페롯 간섭계의 원리에 의한 간섭파를 형성하는 헤더부, 및 상기 간섭파의 파장 변화를 기초로 특정 가스의 존재 여부를 판단하는 광 스펙트럼 분석기를 포함하되, 상기 헤더부는, 상기 특정 가스에 의하여 팽창 또는 수축하는 감지 물질을 포함하고, 상기 간섭파는, 상기 감지 물질의 팽창 또는 수축에 따라 상기 파장이 변화하는 것을 특징으로 하는 가스 감지 장치 및 그 헤더부에 관한 것이다.
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公开(公告)号:KR101118532B1
公开(公告)日:2012-03-12
申请号:KR1020057024950
申请日:2004-06-14
Applicant: 사이머 엘엘씨
Inventor: 라팍로버트제이.
IPC: G01J3/28
CPC classification number: G01J3/02 , G01J3/0205 , G01J3/027 , G01J3/28 , G01J3/45
Abstract: 레이저로부터 방출된 광의 대역폭을 나타내는 제1 파라미터를 나타내는 제1 출력 및 상기 레이저로부터 방출된 광의 대역폭을 나타내는 제2 파라미터를 나타내는 제2 출력을 제공하는 광 대역폭 모니터; 및 실제 대역폭 파라미터를 계산하기 위해, 상기 광 대역폭 모니터에 구체적인 사전결정된 교정 변수를 사용하는 복수변수 방정식의 일부로서 상기 제1 출력 및 제2 출력을 사용하는 실제 대역폭 계산 장치;를 포함하고, 대역폭 미터로 입력되는 레이저로부터 방출된 광의 스펙트럼의 대역폭을 측정하기 위한 대역폭 미터 방법 및 장치가 개시되어 있다. 상기 실제 대역폭 파라미터는 상기 레이저로부터 방출된 광의 스펙트럼의 전체폭내의 최대값의 임의의 퍼센트에서의 스펙트럼 전체폭("FWXM") 또는 상기 레이저로부터 방출된 광의 스펙트럼의 전체 스펙트럼의 에너지의 임의의 퍼센트를 포함하는 스펙트럼의 콘텐트를 한정하는 스펙트럼상의 2개의 포인트 사이의 폭("EX")을 포함할 수 있다. 상기 광 대역폭 모니터는 에탈론을 포함할 수 있고, 상기 제1 출력은 FWXM에서의 에탈론의 광 출력의 프린지의 폭 또는 상기 레이저로부터 방출된 광의 전체 스펙트럼의 에너지의 임의의 퍼센트를 포함하는 스펙트럼상의 2개의 포인트 사이의 폭("EX'")중 적어도 하나를 나타내고, 상기 제2 출력은 제2 FWX''M 또는 EX'''의 적어도 하나를 나타내고, 여기에서, X≠X'' 및 X'≠X'''이다. 상기 사전계산된 교정 변수는 교정 스펙트럼에 대한 제1 출력 및 제2 출력의 발생과 상관된 신뢰의 스탠더드를 사용하여 실제 대역폭 파라미터의 값을 측정함으로써 유도될 수 있다. 상 기 실제 대역폭 파라미터의 값은 방정식: 추정된 실제 BW 파라미터 = K*w
1 + L*w
2 + M, 로부터 계산되고, w
1 는 FWXM 또는 EX'를 나타내는 제1 측정된 출력이고 w
2 는 FWX''M 또는 EX'''을 나타내는 제2 측정된 출력이다. 상기 장치 및 방법은 레이저 리소그래피 광원 및/또는 집적 회로 리소그래피 툴내에 구현될 수 있다.
레이저, 스펙트럼, 광원, 대역폭, 광 대역폭 모니터, 실제 대역폭 계산 장치, 대역폭 파라미터, 교정 스펙트럼, 레이저 리소그래피 광원, 집적회로 리소그래피 툴-
公开(公告)号:KR101045482B1
公开(公告)日:2011-06-30
申请号:KR1020090042578
申请日:2009-05-15
Applicant: 캐논 가부시끼가이샤
CPC classification number: G03B27/54 , G01B11/24 , G01J3/45 , G01J2003/1213 , G01J2003/1226 , G03F9/7003 , G03F9/7015 , G03F9/7026 , G03F9/7088
Abstract: 표면 형상 측정 장치는, 피측정 물체의 표면 형상을 측정하도록 구성되고, 광원으로부터의 백색광을 2개의 광빔으로 분할하도록 구성된 빔 분할부와, 상기 빔 분할부에 의해 분할되어 상기 물체 또는 참조면에 향하게 된 각 광빔의 입사각을 증가시키도록 각각 구성된 한 쌍의 프리즘 ― 각 프리즘은 상기 백색광의 파장 이하의 주기에서 형성되고 모스-아이 형상(moth-eye shape)을 갖는 반사 방지부를 가짐 ― 과, 상기 물체로부터의 물체광과 제2 프리즘을 거친, 상기 참조면으로부터의 참조광을 겹치게 해서 백색 간섭 광을 생성하도록 구성된 겹침부와, 상기 백색 간섭 광을 복수의 파장의 각각마다 이산적으로 분리하도록 구성된 리오 필터(Lyot filter)를 포함한다.
표면 형상 측정, 노광, 리오 필터, 파워 스펙트럼-
公开(公告)号:KR1020070038040A
公开(公告)日:2007-04-09
申请号:KR1020067025887
申请日:2005-05-17
Applicant: 세모메테크 에이/에스
Inventor: 아른비다르손,뵈르쿠르 , 라르센,한스
CPC classification number: G01J3/45 , G01J3/0202 , G01J3/453 , G01N21/35 , G01N21/3563 , G01N21/3577 , G01N21/359 , G01N2021/3595 , G01N2201/0691 , G01N2201/129
Abstract: 본 발명은 간섭 정보를 시료의 화학적 또는/및 물리적 특성과 상관시키는 대안 전략을 제공한다. 이 전략은 간섭 분광법에 따른 최신 기술 보다 유리한 실질적인 기술적, 상업적 이점을 제공하는 방법 및 시스템으로 실현된다. 본 발명은 또한 간섭계를 표준화는 방법 및 표준화된 간섭계를 사용한 방법 및 시스템을 제공한다.
시료 판정, 간섭계, 표준화, 변조, 광.-
公开(公告)号:KR1020060052783A
公开(公告)日:2006-05-19
申请号:KR1020067000333
申请日:2004-06-29
Applicant: 사이머 엘엘씨
Inventor: 라팍로버트제이.
CPC classification number: G01J1/4257 , G01J1/0228 , G01J3/02 , G01J3/027 , G01J3/28 , G01J3/45
Abstract: A method and apparatus for measuring bandwidth of light emitted from a laser (12) is disclosed which may comprise: a first (30) and second (34) wavelength sensitive optical bandwidth etalon detectors providing, respectively, an output (32, 36) representative of a first parameter indicative of the bandwidth of the emitted light as measured respectively by the first anal second bandwidth detectors, and an actual bandwidth calculation apparatus (40) adapted to utilize these two outputs as part of a multivariable linear equation employing predetermined calibration variables specific to either the first or the second bandwidth detector, to calculate a first actual bandwidth parameter (FWXM) or a second actual bandwidth parameter (EX).
Abstract translation: 公开了一种用于测量从激光器(12)发射的光的带宽的方法和装置,其可以包括:分别提供输出(32,36)代表的第一(30)和第二(34)波长敏感的光带宽标准具检测器 指示由第一肛门第二带宽检测器分别测量的发射光的带宽的第一参数,以及适于利用这两个输出作为多变量线性方程的一部分的实际带宽计算装置(40),其采用预定的校准变量 到第一或第二带宽检测器,以计算第一实际带宽参数(FWXM)或第二实际带宽参数(EX)。
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公开(公告)号:KR1020040013732A
公开(公告)日:2004-02-14
申请号:KR1020020046795
申请日:2002-08-08
Applicant: 학교법인 계명대학교
Inventor: 박재희
IPC: G01J3/26
CPC classification number: G01J3/26 , G01J3/45 , G01J2003/262 , G01J2003/451
Abstract: PURPOSE: An optical fiber fabry-perot interferometer is provided to simplify a manufacturing process and to prevent a polarization fading phenomenon by forming an air cavity or a dual core between mirrors. CONSTITUTION: A first optical fiber(13) includes a first core(10) and a first cladding(13). A second optical fiber(20) used in a fabry-perot interferometer includes a second core(17), a hollow section(15) formed at the center of the core(17), and a second cladding(19). The hollow section(15) is filled with air. A third optical fiber includes an internal core(21) and an external core, forming a dual core. A cladding is provided around the external core. The first optical fiber(13) having the first core(10) and the first cladding(13) is bonded to the second optical fiber(20) by cutting predetermined portions of the first and second optical fibers(13,20).
Abstract translation: 目的:提供光纤fabry-perot干涉仪,以简化制造过程,并通过在反射镜之间形成空气腔或双芯来防止偏振衰落现象。 构成:第一光纤(13)包括第一芯(10)和第一包层(13)。 在法布里罗干涉仪中使用的第二光纤(20)包括第二芯体(17),形成在芯部(17)的中心处的中空部分(15)和第二包层(19)。 空心部分(15)充满空气。 第三光纤包括内芯(21)和外芯,形成双芯。 围绕外部芯体设置包层。 通过切割第一和第二光纤(13,20)的预定部分,具有第一芯(10)和第一包层(13)的第一光纤(13)与第二光纤(20)接合。
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公开(公告)号:KR100354852B1
公开(公告)日:2003-04-21
申请号:KR1019970703780
申请日:1995-12-07
Applicant: 포스 애널리터컬 에이/에스
Inventor: 안데르센한스빌레뫼스
Abstract: PCT No. PCT/DK95/00492 Sec. 371 Date May 13, 1997 Sec. 102(e) Date May 13, 1997 PCT Filed Dec. 7, 1995 PCT Pub. No. WO96/18089 PCT Pub. Date Jun. 13, 1996A method is suggested for obtaining information on the electromagnetic spectrum of a sample, the method comprising (a) generating a plurality of substantially identical signals, (b) determining the shape of a first number of the signals by performing a first number of scans of a first range of signal width, (c) determining the shape of a second number of the signals by performing a second number of scans of a second range of signal width, the second range being comprised by the first range and comprising a portion of the first range in which the signals have maximum absolute amplitude, (d) combining data from the first number of scans and the second number of scans so as to obtain data corresponding to the shape of the signals, and (e) performing a mathematical transformation of the combined data so as to obtain the information on the electromagnetic spectrum of the sample. According to this method, the electromagnetic spectrum-and especially an absorption spectrum for use in quantitative analysis of the sample-may be obtained faster than is possible using prior art methods.
Abstract translation: PCT No.PCT / DK95 / 00492 Sec。 371日期1997年5月13日 102(e)日期1997年5月13日PCT申请日1995年12月7日PCT Pub。 WO96 / 18089 PCT Pub。 日期1996年6月13日建议一种用于获得关于样品的电磁谱的信息的方法,该方法包括(a)产生多个基本上相同的信号,(b)通过执行一个或多个信号来确定第一数量的信号的形状 (c)通过执行信号宽度的第二范围的第二扫描次数来确定第二数量的信号的形状,第二范围由第一范围包括,以及 包括其中信号具有最大绝对振幅的第一范围的一部分,(d)组合来自第一扫描数目和第二扫描数目的数据,以便获得对应于信号形状的数据,以及(e) 执行组合数据的数学变换以获得关于样本的电磁波谱的信息。 根据该方法,可以比使用现有技术的方法更快地获得电磁谱(并且尤其是用于定量分析样品的吸收光谱)。
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公开(公告)号:TWI572992B
公开(公告)日:2017-03-01
申请号:TW104121749
申请日:2015-07-03
Applicant: ASML荷蘭公司 , ASML NETHERLANDS B. V.
Inventor: 席恩 阿曼帝 , SINGH, AMANDEV , 皮勒曼 漢瑞克 皮杜斯 瑪利亞 , PELLEMANS, HENRICUS PETRUS MARIA , 華那爾 派翠克 , WARNAAR, PATRICK
IPC: G03F7/20
CPC classification number: G03F7/70491 , G01J3/2823 , G01J3/45 , G01N21/4788 , G01N2201/06113 , G03F7/70625 , G03F7/70633
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