-
公开(公告)号：KR101262269B1
公开(公告)日：2013-05-08
申请号：KR1020110079483
申请日：2011-08-10
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: H01L21/027 , H01L21/66
Abstract: 본발명은마스크패턴검사용 3차원영상획득시스템및 그방법에관한것으로, 극자외선(Extreme Ultra-Violet, EUV)을방사하는광원부와, 상기광원부로부터방사된극자외선을반사하여집광하는오목거울과, 상기오목거울에의해집광된극자외선을측정대상마스크를향하여반사하는반사거울과, 상기측정대상마스크를안착시키는스테이지와, 상기스테이지의일측에구비되며, 상기측정대상마스크의전체이미지를스캔할수 있도록상기스테이지를 X축, Y축및 Z축방향으로이동시키기위한이동수단과, 상기측정대상마스크의 3차원높이정보를획득할수 있도록상기스테이지의 X축및 Y축중 적어도하나의축을기준으로일정각도좌/우측방향으로틸팅(tilting)시키기위한틸팅수단과, 상기측정대상마스크로부터반사된회절이미지를획득하는 CCD(Charged Coupled Device) 카메라와, 상기 CCD 카메라로부터획득된회절이미지를역 고속퓨리에변환(Inverse Fast Fourier Transform, IFFT)을수행하여상기측정대상마스크의패턴이미지를복원함과아울러상기이동수단및 상기틸팅수단의동작을제어하기위한구동제어신호를출력하는제어장치를포함함으로써, 극자외선(EUV) 광원으로만들어진차세대반도체공정에서사용되는 3차원구조의마스크패턴에존재하는미세결함(Defect) 등을효과적으로검사할수 있다.
-
公开(公告)号：KR1020120125895A
公开(公告)日：2012-11-19
申请号：KR1020110043627
申请日：2011-05-09
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: G01N27/414 , G01N27/416
Abstract: PURPOSE: An automatic measuring system of a multi-sensor is provided to automatically process a probe pin inspection, an individual sensor inspection and electrical property measurement of a multi-sensor. CONSTITUTION: An automatic measuring system(100) of a multi-sensor comprises a voltage supply unit(110), a current and resistance measurement unit(120), a relay unit(130), a multiplexer unit(140), and a controller(150). The voltage supply unit supplies voltage for detection through a probe(52). The current and resistance measurement unit measures the current or resistance of individual sensors or individual probes. The relay unit switches on/off terminals of the individual sensors and individual probes when supplying voltage to a multi-sensor or receiving measurement signals from the multi-sensor. The multiplexer unit selects one among a plurality of the sensors in order to measure the current of the individual sensor while in the state that a voltage supply to the individual sensors is not cut off. The controller receives an input of a user, thereby controlling the voltage supply unit, the current and resistance measurement unit, the relay unit, and the multiplexer unit, or a controlling device of a probe station. [Reference numerals] (110) Voltage supply unit; (120) Current and resistance measuring unit; (130) Relay unit; (140) Multi-flexible unit; (150) Controller; (160) Semiconductor variable analyzer; (83) Probe chuck fixing arm controlling device; (85) Sensor transferring arm controlling device; (87) Cleaning pad transferring arm controlling device; (AA) PCB circuit
Abstract translation: 目的：提供多传感器的自动测量系统，以自动处理多针传感器的探针检测，单个传感器检测和电气性能测量。 构成：多传感器的自动测量系统（100）包括电压供应单元（110），电流和电阻测量单元（120），中继单元（130），多路复用器单元（140）和控制器 （150）。 电压供应单元通过探头（52）提供用于检测的电压。 电流和电阻测量单元测量各个传感器或单个探头的电流或电阻。 当向多传感器提供电压或从多传感器接收测量信号时，继电器单元接通各个传感器和各个探头的接通/断开端子。 多路复用器单元选择多个传感器中的一个，以便在对各个传感器的电压供应不被切断的状态下测量各个传感器的电流。 控制器接收用户的输入，从而控制电压供应单元，电流和电阻测量单元，中继单元和多路复用器单元或探测台的控制设备。 （附图标记）（110）供电单元; （120）电流和电阻测量单元; （130）继电器单元; （140）多功能单元; （150）控制器; （160）半导体可变分析仪; （83）探头卡盘固定臂控制装置; （85）传感器臂控制装置; （87）清洁垫传送臂控制装置; （AA）PCB电路
-
公开(公告)号：KR1020120122179A
公开(公告)日：2012-11-07
申请号：KR1020110040199
申请日：2011-04-28
Applicant: 한국과학기술연구원
CPC classification number: G01D11/30 , G01N33/0004
Abstract: PURPOSE: A probe station for a multi-sensor is provided to replace a probe chuck of an assembly form including a probe socket when the replacement of the probe chuck is necessary, thereby easily replace the probe chuck. CONSTITUTION: A probe station for a multi-sensor comprises a lower body(20), an upper body(10), a probe chuck(50), a probe elevating unit(30), and a sensor support plate(60). The upper body is closed and opened by being connected to the lower body with a hinge. The probe chuck is fixed so that a probe(52) is extended downwardly. The probe chuck is joined to the upper body so that the probe is exposed to the lower part of the upper body. The probe elevating unit elevates the probe chuck and is installed in the upper body. A sensor seating groove is formed in the lower part of the probe chuck in the lower body when the upper body is closed with respect to the lower body. The sensor supporting plate forms the bottom surface of the sensor seating groove and is installed to be touch to the probe.
Abstract translation: 目的：当需要更换探头卡盘时，提供用于多传感器的探测台来替换包括探针插座的组件形式的探头卡盘，从而可以方便地更换探头卡盘。 构成：用于多传感器的探测台包括下体（20），上体（10），探头卡盘（50），探头升降单元（30）和传感器支撑板（60）。 通过用铰链连接到下身，上身被封闭并打开。 探针卡盘被固定，使得探针（52）向下延伸。 探头卡盘与上体接合，使得探头暴露于上身的下部。 探头升降单元升高探头卡盘，并安装在上身上。 当上身相对于下身体关闭时，传感器安置槽形成在下体中的探头卡盘的下部。 传感器支撑板形成传感器安置槽的底面，并安装成与探头接触。
-
公开(公告)号：KR1020110135138A
公开(公告)日：2011-12-16
申请号：KR1020100054881
申请日：2010-06-10
Applicant: 한국과학기술연구원
CPC classification number: C23C14/243 , C23C14/12 , C23C14/14 , C23C14/26
Abstract: PURPOSE: A side emitting type linear evaporation source, a manufacturing method thereof, and a linear evaporator are provided to uniformly evaporate materials on a large-size substrate. CONSTITUTION: A side emitting type linear evaporation source comprises a Pyrolytic Boron Nitride crucible(10). A first heating unit(20), multiple side discharging units, a first protection film, and an insulation unit. The top of the PBN crucible is opened to accept materials. The first heating unit is evaporated on the outer surface of the PBN crucible. Patterns suitable for heating are formed on the first heating unit. The side discharging units are formed by passing through the side surface of the PBN crucible and the first heating unit. The first protection film is formed on the inner surface of the PBN crucible and the surface of the side discharging units. The insulating unit electrically insulates the first heating unit from the first protection film.
Abstract translation: 目的：提供侧面发射型线性蒸发源，其制造方法和线性蒸发器以均匀蒸发大尺寸基板上的材料。 构成：侧面发射型线性蒸发源包括热解氮化硼坩埚（10）。 第一加热单元（20），多个侧排出单元，第一保护膜和绝缘单元。 打开PBN坩埚的顶部接受材料。 第一加热单元在PBN坩埚的外表面上蒸发。 适于加热的图案形成在第一加热单元上。 侧排出单元通过穿过PBN坩埚和第一加热单元的侧表面而形成。 第一保护膜形成在PBN坩埚的内表面和侧排出单元的表面上。 绝缘单元将第一加热单元与第一保护膜电绝缘。
-
公开(公告)号：KR101092376B1
公开(公告)日：2011-12-09
申请号：KR1020100093366
申请日：2010-09-27
Applicant: 한국과학기술연구원
Abstract: PURPOSE: A method for observing a target object and an optical device thereof are provided to observe a target object using a phase difference of lights which have vibration directions of different magnetic fields. CONSTITUTION: A light generating unit(110) applies first and second light signals, which are vertically polarized, to a target object through one light path. A reflective light processing unit(130) forms an image per wavelength of a target object. A reflective mirror(120) transmits first and second reflective signals to the reflective light processing unit. An image observing unit(160) provides an image by wavelength to a user.
Abstract translation: 目的：提供用于观察目标物体的方法及其光学装置，以使用具有不同磁场的振动方向的光的相位差观察目标物体。 构成：光产生单元（110）通过一个光路向对象物体施加垂直极化的第一和第二光信号。 反射光处理单元（130）每个目标对象的波长形成图像。 反射镜（120）将第一和第二反射信号传输到反射光处理单元。 图像观察单元（160）通过波长向用户提供图像。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR101085953B1
公开(公告)日：2011-11-22
申请号：KR1020100040571
申请日：2010-04-30
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: H01L31/04
CPC classification number: Y02E10/542 , Y02P70/521
Abstract: 유리기판 위에 전도성막을 형성하고 그 위에 염료 분자가 흡착된 나노 반도체 산화물 입자를 전극 소재로 사용하는 염료감응형 태양전지 및 그의 제조 방법이 개시된다. 본 발명의 염료감응형 태양전지는 홈(구멍)이 형성된 전도성막의 표면에 부착되는 반도체 입자들 및 이들 상에 적층되는 반도체 입자들을 상기 홈 내 또는 홈 상부에 구비하는 나노 산화물 전극층을 포함한다. 이때 홈의 반경은 20 마이크로미터 이하일 수 있고, 홈의 깊이는 20 마이크로미터 이상일 수 있다. 홈은, 벽 구조, 격벽 구조, 기둥 구조 중 어느 하나이다.
이러한 염료감응형 태양전지는, 유리기판 위에 전도성막을 입히고, 전도성막에 적어도 하나의 홈(구멍)을 형성한 후, 홈 내 또는 홈의 상부까지 나노 산화물 전극층을 형성함으로써, 제조 가능하다. 또는, 유리기판 위에 적어도 하나의 홈(구멍)을 형성하고, 홈의 측면 및 홈의 하부에 전도성막을 입힌 후(홈의 기둥 상부에 전도성막을 추가적으로 입힐 수도 있음), 홈 내 또는 홈의 상부까지 나노 산화물 전극층을 형성함으로써, 제조 가능하다.-
公开(公告)号：KR1020110057604A
公开(公告)日：2011-06-01
申请号：KR1020090114068
申请日：2009-11-24
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: C23C14/24
Abstract: PURPOSE: A heater-integrated molecular beam evaporation source for vacuum deposition, a manufacturing method thereof, and an evaporator using the same are provided to minimize the thermal load of a vacuum system by controlling the temperature of a heater to be similar to the temperature of a crucible. CONSTITUTION: A heater-integrated molecular beam evaporation source for vacuum deposition comprises a PBN(Pyrolytic Boron Nitride) crucible(10), a first heater(20), and a first protective film. The PBN crucible accepts materials. The first heater is deposited on the outer surface of the PBN crucible and forms a pattern proper for heating without influence of magnetic field on a specimen. The first protective film is deposited on the inner surface of the PBN crucible to protect the crucible from the specimen easy to adhere to PBN and partially removed for insulation from the first heater.
Abstract translation: 目的：提供一种用于真空沉积的加热器集成分子束蒸发源，其制造方法和使用其的蒸发器，以通过将加热器的温度控制为与加热器的温度相似来最小化真空系统的热负荷 一个坩埚 构成：用于真空沉积的加热器集成分子束蒸发源包括PBN（热解氮化硼）坩埚（10），第一加热器（20）和第一保护膜。 PBN坩埚接受材料。 第一个加热器沉积在PBN坩埚的外表面上，并形成适合加热的图案，而不影响样品上的磁场。 第一保护膜沉积在PBN坩埚的内表面上，以保护坩埚容易粘附到PBN上，并部分地从第一加热器去除绝缘。
-
公开(公告)号：KR100587519B1
公开(公告)日：2006-06-08
申请号：KR1020030023559
申请日：2003-04-15
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: H01S3/10
Abstract: 본 발명은 편광유지 레이저 공진기를 이용한 펄스진폭 균일화방법에 관한 것으로서, 더 상세하게는 편광모드에 의한 불안정성이 없는 편광유지 레이저 공진기를 이용하여 광변조기 대역폭보다 높은 반복율의 레이저 펄스를 얻을 수 있는 유리 고조 모드록킹에서 발생하는 펄스진폭의 불균일성을 제거함으로써 추가적인 펄스진폭 균일화 장치 없이 기존 광변조기의 변조지수의 최적화만을 통하여 펄스진폭 균일화를 구현할 수 있는 방법에 관한 것이다.
본 발명은, 편광유지 특성을 갖는 광학부품과 광섬유로 구성되는 레이저 공진기를 이용, 유리 고조 모드록킹을 하여 변조주파수의 정수배인 레이저 펄스열을 얻되, 상기 광학부품 중에서 광변조기에 인가하는 전기변조신호의 출력을 최적화하여 펄스진폭이 균일한 유리 고조 모드록킹된 펄스를 얻음을 특징으로 한다.
균일화, 유리 고조 모드록킹, 레이저 공진기, 편광유지-
公开(公告)号：KR100537039B1
公开(公告)日：2005-12-16
申请号：KR1020030064638
申请日：2003-09-18
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: G02F3/00
Abstract: 본 발명은 반도체 광증폭기의 이득포화현상 특성을 가지는 인버터 원리를 이용하여 전광 AND 논리소자를 구현하는 방법에 관한 것으로서, 하나의 반도체 광증폭기(SOA2)에는 일정한 주기의 클락신호(CLOCK)가 제1 조사신호로서 제1 펌프신호( )와 함께 입사되어 이득변조된 출력값(부울리안 )이 얻어지고, 다른 하나의 반도체 광증폭기(SOA1)에는 제2 조사신호( )와 함께 상기 이득변조된 출력값(부울리안 )이 제2 펌프신호로서 입사되어 AND 신호(
-
公开(公告)号：KR100458283B1
公开(公告)日：2004-11-26
申请号：KR1020010059368
申请日：2001-09-25
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: G02F3/00
Abstract: PURPOSE: An apparatus for realizing an electric light NAND logic element using a semiconductor optical amplifier is provided to be easily combined with other single logic elements for controlling all optical system with only optical signals. CONSTITUTION: A pulse generator(100) generates light pulses. A DFB-LD(Distributed Feedback Laser Diode)(102) has input continuous laser light signals. A first optical divider(104) divides output light of the DFB-LD. An optical modulator(106) modulates the output light from the first optical divider. An optical delay(112) obtains quarter time delay of the output light. An attenuator(108) controls the strength of the output light. A MUX(110) multiplexes the output light of the attenuator. An EDFA(Erbium-Doped Fiber Amplifier)(116) adds the output light of the MUX and the attenuator for amplifying to a pump signal. A tunable laser diode(120) has continuous wave irradiation signals. A second optical divider(122) divides the output light of the tunable laser diode at a ratio of 50 to 50. A semiconductor optical amplifier(124) amplifies the pump signal and the continuous wave irradiation signals for gain-saturating and wavelength-converting the signals. An optical filter(126) filters tunable output light of the semiconductor optical amplifier. An optical signal analyzer(128) detects and analyzes the tunable output light of the optical filter.
Abstract translation: 目的：提供一种用于实现使用半导体光学放大器的电光NAND逻辑元件的装置，以容易地与其他单个逻辑元件组合，以仅用光学信号控制所有光学系统。 构成：脉冲发生器（100）产生光脉冲。 DFB-LD（分布式反馈激光二极管）（102）具有输入连续的激光信号。 第一分光器（104）分割DFB-LD的输出光。 光调制器（106）调制来自第一分光器的输出光。 光学延迟（112）获得输出光的四分之一时间延迟。 衰减器（108）控制输出光的强度。 MUX（110）复用衰减器的输出光。 EDFA（掺铒光纤放大器）（116）将MUX和用于放大的衰减器的输出光加到泵浦信号上。 可调激光二极管（120）具有连续波照射信号。 第二分光器（122）将可调激光二极管的输出光以50至50的比例进行分割。半导体光放大器（124）放大泵浦信号和连续波照射信号，以增益饱和和波长转换 信号。 滤光器（126）过滤半导体光放大器的可调输出光。 光信号分析器（128）检测并分析滤光器的可调输出光。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
231
records
(took 0.028 seconds)
