布线基板以及布线基板的制造方法

    公开(公告)号:CN117528903A

    公开(公告)日:2024-02-06

    申请号:CN202310967075.6

    申请日:2023-08-02

    Abstract: 本发明提供布线基板以及布线基板的制造方法,布线基板包含绝缘性和电特性优异的微细布线。实施方式的布线基板(1)包含绝缘层(33)和形成在绝缘层(33)的表面(33a)上且包含多个布线图案(11)的导体层(24)。导体层的与绝缘层相反的一侧的表面(24a)为研磨面,多个布线图案的最小的布线宽度为5μm以下,多个布线图案的各布线图案彼此的最小间隔为7μm以下,多个布线图案(11)各自的纵横比为2.0以上且4.0以下,导体层(24)由上层(2b)和下层(2a)构成,该上层(2b)由镀覆膜构成,该下层(2a)直接形成在绝缘层(33)的表面(33a)上并且是上层(2b)的镀覆膜的晶种层,下层(2a)的厚度(T1)相对于导体层(24)的厚度(T)的比率为2.5%以下。

    布线基板
    22.
    发明公开
    布线基板 审中-公开

    公开(公告)号:CN117412469A

    公开(公告)日:2024-01-16

    申请号:CN202310849436.7

    申请日:2023-07-12

    Abstract: 本发明提供布线基板,其包含高纵横比的布线。实施方式的布线基板具有:第1积层部(10),其形成在芯基板(100)的第1面(F1)上,包含第1导体层(12);第2积层部(20),其形成在芯基板的第2面(F2)上,包含第2导体层(22);第3积层部(30),其形成在第1积层部上,包含第3导体层(32);以及第4积层部(40),其形成在第2积层部上,包含第4导体层(42)。第3导体层所包含的布线的布线宽度和布线间距离的最小值小于第1、第2和第4导体层所包含的布线的布线宽度和布线间距离的最小值,第3导体层所包含的布线的布线宽度的最小值为3μm以下,并且布线间距离的最小值为3μm以下,纵横比为2.0以上且4.0以下,上表面为研磨面。

    布线基板以及布线基板的制造方法

    公开(公告)号:CN116193710A

    公开(公告)日:2023-05-30

    申请号:CN202211488100.4

    申请日:2022-11-25

    Inventor: 古谷俊树

    Abstract: 本发明提供布线基板以及布线基板的制造方法,该布线基板平坦性优异且具有微细布线。实施方式的布线基板具有第1导体层(11)、覆盖第1导体层(11)的第1层间绝缘层(13)、第2导体层(21)以及贯通第1层间绝缘层(13)并将第1导体层(11)和第2导体层(21)连接的第1过孔导体(14),第1层间绝缘层(13)包含第1绝缘层(101)和第2绝缘层(102),在第1绝缘层(101)的与第1导体层(11)相反的一侧的表面上局部地形成有布线层(110),布线层(110)所包含的布线的纵横比为2.0以上且6.0以下,第1导体层(11)和第2导体层(21)所包含的布线的纵横比为1.0以上且2.0以下。

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