公开(公告)号：KR1020090034577A

公开(公告)日：2009-04-08

申请号：KR1020070099886

申请日：2007-10-04

Applicant: 국민대학교산학협력단

Inventor： 정재일 ,  임홍재

IPC: H01L21/68 ,  H01L21/677

CPC classification number: B23Q3/186 ,  B23Q3/08 ,  B23Q5/28 ,  G05B19/402 ,  H01L21/68714 ,  Y10S414/136

Abstract: A precision transfer mechanism and nano positioning stage using the same are provided to consecutively arrange the servo motor and piezo actuator and to extend the stroke range of the transport mechanism. The servo motor(2) is arranged in the fixed end. The first linear guide is driven by the servo motor. The piezo actuator(8) is arranged in the first linear guide. The piezo actuator generates the fine displacement in the transfer direction of the first linear guide. The second linear guide is arranged in the end part of the piezo actuator. The second linear guide is transferred by the servo motor and displacement about the fixed end.

Abstract translation: 提供了使用其的精密传送机构和纳米定位台，以连续地布置伺服电机和压电致动器并延长传送机构的行程范围。 伺服马达（2）布置在固定端。 第一直线导轨由伺服电机驱动。 压电致动器（8）布置在第一线性引导件中。 压电致动器在第一线性引导件的传送方向上产生精细位移。 第二直线导轨布置在压电致动器的端部中。 第二直线导轨由伺服电机传递并围绕固定端移动。

公开(公告)号：KR1020090019112A

公开(公告)日：2009-02-25

申请号：KR1020070083296

申请日：2007-08-20

Applicant: 국민대학교산학협력단

Inventor： 임홍재 ,  성상준 ,  주재환 ,  장시열 ,  정재일 ,  신동훈

IPC: G06F9/455 ,  G06T15/00 ,  B82Y10/00

CPC classification number: G06F17/5009 ,  B82Y10/00 ,  G06F8/315 ,  G06F8/34 ,  G06F17/16

Abstract: A simulation system of the virtual equipment by 3D image processing and method are provided to verify the reliability of the equipment control software by using the virtual equipment. The simulation system of the virtual equipment through 3D image processing comprises the view class processing unit(100), and the model class processing unit(200) and dialog box class processing unit(300). The view class processing unit manages the graphics window in the screen. The model class processing unit is connected to the view class processing unit. The model class processing unit produces or deletes the object and supervises the command mounting actuator or the sensor to the generated object. The virtual equipment simulator is connected to the model class processing unit processes.

Abstract translation: 通过3D图像处理和方法提供虚拟设备的仿真系统，通过虚拟设备验证设备控制软件的可靠性。 通过3D图像处理的虚拟设备的仿真系统包括视图类处理单元（100），模型类处理单元（200）和对话框类处理单元（300）。 视图类处理单元管理屏幕中的图形窗口。 模型类处理单元连接到视图类处理单元。 模型类处理单元生成或删除对象，并将命令安装执行器或传感器监控到生成的对象。 虚拟设备模拟器连接到模型类处理单元处理。

公开(公告)号：KR1020090010771A

公开(公告)日：2009-01-30

申请号：KR1020070074136

申请日：2007-07-24

Applicant: 서울과학기술대학교 산학협력단 ,  국민대학교산학협력단

Inventor： 장동영 ,  양희남 ,  김동환 ,  임홍재

IPC: H01J37/26

Abstract: A stage unit of the miniature scanning electron microscope is provided to drive the stage for the sample loading to the X-axis, the Y-axis, the Z-axis and the rotational direction with minimum size. A chamber door(10) opens and closes the sample chamber. A support base(20) enters and leaves into/from the sample chamber while opening and shutting the sample chamber by the chamber door. The X-Y translation stage(30) is moved to the X-Y axis comparing to the support base. A sample holder(40) moves up and down to Z axial direction comparing to the X-Y translation stage and rotates comparing to the Z-axis. Z shaft driving part(50) moves the sample holder up and down to the Z-axis direction.

Abstract translation: 提供微型扫描电子显微镜的级单元，以最小尺寸驱动用于样品加载到X轴，Y轴，Z轴和旋转方向的载物台。 室门（10）打开和关闭样品室。 支撑基座（20）在通过室门打开和关闭样品室时进入和离开样品室。 与支撑基座相比，X-Y平移台（30）移动到X-Y轴。 样品架（40）与X-Y平移台相比上下移动Z轴方向，与Z轴相比旋转。 Z轴驱动部50将样品架上下移动到Z轴方向。

公开(公告)号：KR101336607B1

公开(公告)日：2013-12-05

申请号：KR1020100082896

申请日：2010-08-26

Applicant: 서울과학기술대학교 산학협력단 ,  국민대학교산학협력단

Inventor： 김동환 ,  정광오 ,  오세규 ,  김승재 ,  임홍재

IPC: H01J37/28 ,  H01J37/24 ,  H01J37/244

Abstract: 본 발명은 기존의 주사 전자 현미경(SEM:Scanning Electron Microscope)이 촬영 후, 출력되는 SEM 이미지가 AD컨버터를 통해 아날로그신호에서 디지털신호로 변환되는 과정에서 불특정한 잡음으로 인해 에러가 발생되어 SEM 이미지가 선명하지 않게 표출되기 때문에 SEM 이미지 판독이 어려운 문제점을 개선하고자, 이차전자 검출기 (SED; secondary electron detector)(10), AD 컨버터부(20), SEM 이미지 제어부(30)에 포토멀티플리어(PMT : photomultiplier)신호발생부(40), 디더신호생성모듈(50)이 포함되어 구성됨으로서, 디더 신호를 통해 ADC의 인코더 전달함수의 차동 비선형성으로 인한 왜곡과 양자화 왜곡을 줄임으로써 스퓨리어스 프리 동적 범위를 향상시킬 수 있고, 이로 인해 ADC과정에서 발생하는 백색 잡음을 최소화시킬 수 있는 디더신호생성모듈을 이용한 SEM 이미지노이즈 제거장치 및 방법을 제공하는데 그 목적이 있다.

公开(公告)号：KR101286565B1

公开(公告)日：2013-07-22

申请号：KR1020110143445

申请日：2011-12-27

Applicant: 국민대학교산학협력단

Inventor： 장영수 ,  강병하 ,  이성우 ,  임홍재

IPC: B60P3/20 ,  F25D11/04

Abstract: 본 발명에 따른 발효식품용 냉장컨테이너는, 냉동 사이클을 이루어 컨테이너 본체 내부로 냉기를 공급하는 냉기 공급 유닛과, 상기 컨테이너 본체의 내벽을 따라 구비되고 상기 냉기 공급 유닛의 냉매 중 일부가 유입되어 증발하는 냉각 코일을 포함함으로써, 상기 냉기 공급 유닛으로부터 차가운 공기가 공급됨과 아울러 상기 냉각 코일에 의해 상기 컨테이너 본체의 내벽이 냉각될 수 있기 때문에, 상기 컨테이너 본체 내부 전체를 균일한 온도로 유지할 수 있는 효과가 있다.

公开(公告)号：KR101095984B1

公开(公告)日：2011-12-19

申请号：KR1020100082904

申请日：2010-08-26

Applicant: 서울과학기술대학교 산학협력단 ,  국민대학교산학협력단

Inventor： 김동환 ,  양경선 ,  오세규 ,  임홍재

IPC: H01J37/26 ,  H01J37/20 ,  G01N35/10

Abstract: PURPOSE: An automatic sample exchange apparatus for a scanning electron microscope is provided to reduce switching time by being rotated in a state in which a sample is put and to accurately fix the location center of a sample. CONSTITUTION: A sample is put on a rotation sample holder device(20) and rotated. A slide holder transfer device(30) slides the rotation sample holder device to a specific location. A multi controlling element(40) revolves the rotation sample holder device. The multi controlling element adjusts a slide section of the slide holder transfer device and fixes the lens center axis of a sample holder. An actuator drives a step motor(60). The step motor transfers the slide holder transfer device. A step motor controlling part controls the step motor. A voltage adjusting part adjusts voltage which is provided to the actuator.

Abstract translation: 目的：提供一种用于扫描电子显微镜的自动样品更换装置，通过在样品放置的状态下旋转以减少切换时间并精确地固定样品的位置中心。 构成：将样品放在旋转样品架（20）上并旋转。 滑动架传送装置（30）将旋转样品架装置滑动到特定位置。 多重控制元件（40）围绕旋转样品保持器装置旋转。 多重控制元件调整滑动架传送装置的滑动部分并固定样品架的透镜中心轴。 致动器驱动步进电机（60）。 步进电机传送滑块保持架传送装置。 步进电机控制部分控制步进电机。 电压调节部分调节提供给致动器的电压。

公开(公告)号：KR101025288B1

公开(公告)日：2011-03-29

申请号：KR1020090011637

申请日：2009-02-12

Applicant: 서울과학기술대학교 산학협력단 ,  국민대학교산학협력단

Inventor： 김동환 ,  김승재 ,  오세규 ,  임홍재

IPC: H01L21/027 ,  B82Y40/00

Abstract: 본 발명은 전자빔 리소그래피 장치의 나노 스테이지에 관한 것으로서, 진공챔버에 출입가능하게 설치되는 한편 스테이지를 X,Y,Z축 방향으로 이동 및 회전시키는 스테이지유닛과, 스테이지 측으로 전자빔을 주사하는 전자주사유닛을 포함하는 전자빔 리소그래피 장치에 있어서, 상기 스테이지유닛의 스테이지 상에는 시료가 구비되는 나노 스테이지가 설치되고, 상기 나노 스테이지는 미세 이동되어 시료를 디플렉션 왜곡이 가장 작은 영역으로 이동시키기 위한 압전소자로 구성된 것을 특징으로 하여, 시료를 나노 스테이지의 미세 이동을 통해 디플렉션 왜곡이 가장 작은 영역으로 이동하여 미소패턴을 연속적으로 생성할 수 있도록 한다.
전자빔, 리소그래피, 나노 스테이지, 압전소자

公开(公告)号：KR1020090027845A

公开(公告)日：2009-03-18

申请号：KR1020070092978

申请日：2007-09-13

Applicant: 광운대학교 산학협력단 ,  국민대학교산학협력단

Inventor： 김대흠 ,  이동현 ,  임홍재

IPC: C09J163/00 ,  C09J9/02 ,  B82B3/00

CPC classification number: C09J11/00 ,  C08K9/06 ,  C09J9/00 ,  C09J161/06 ,  C09J163/10

Abstract: A preparation method of non-conductive adhesives for chip-stacking is provided to prevent the chip crack and to minimize the degradation of adhesive strength due to low permittivity, heat resistance and small coefficient of thermal expansion by adding nano fumed silica. A preparation method of non-conductive adhesives for chip-stacking containing non-conductive particles of nano size comprises a step for forming thermosetting resin by mixing liquid phenol novolac A type resin 50~70 wt% and semi-solid phenol novolak resin 30~50 wt%, an stirring the resin mixture in organic solvent; a step for mixing the non-conductive particles of nano size that is surface-modified with a silane coupling agent for preventing the aggregation, and methyl ethyl ketone, and mixing the mixture with an imidazole-based curing agent 5 ~ 15 pph per thermosetting resin and epoxy resin; a step for performing ultra sonication for even dispersion; a step for removing impurities from the mixture; and a step for molding the mixture in a film shape.

Abstract translation: 提供了用于芯片堆叠的非导电粘合剂的制备方法，以防止芯片裂纹，并且通过加入纳米热解法二氧化硅，由于低介电常数，耐热性和小的热膨胀系数导致的粘合强度的降低最小化。 包含纳米尺寸的非导电颗粒的芯片堆叠的非导电粘合剂的制备方法包括通过混合液体苯酚酚醛清漆A型树脂50〜70重量％和半固体苯酚酚醛清漆树脂30〜50来形成热固性树脂的步骤 在有机溶剂中搅拌树脂混合物; 将表面改性的纳米尺寸的非导电颗粒与用于防止聚集的硅烷偶联剂混合的步骤和甲基乙基酮，并将混合物与咪唑类固化剂混合5〜15pph /热固性树脂 和环氧树脂; 执行超声处理以均匀分散的步骤; 从混合物中除去杂质的步骤; 以及将该混合物成型为薄膜状的步骤。

公开(公告)号：KR1020090027800A

公开(公告)日：2009-03-18

申请号：KR1020070092884

申请日：2007-09-13

Applicant: 광운대학교 산학협력단 ,  국민대학교산학협력단

Inventor： 박재영 ,  이승재 ,  임홍재

IPC: H03H7/12

CPC classification number: H03H7/12 ,  H03H7/0115 ,  H03H7/17 ,  H03H9/46

Abstract: A band-pass filter using a lumped passive element for selectively filtering a use frequency band is provided to improve a pass property and a band-stop property by inserting a parasitic inductance component to a parallel resonator. A band-pass filter includes a first parallel resonator and a second parallel resonator(13). The first parallel resonator comprises an inductor(L3) and a capacitor(C3), is serially connected between an input port(10) and an output port(11), and has a band-stop property. The second parallel resonator comprises an inductor(L1) and a capacitor(C1), and improves the band-stop property in an image frequency band.

Abstract translation: 提供了使用集中无源元件用于选择性地滤波使用频带的带通滤波器，以通过将并联谐振器插入寄生电感分量来改善通过特性和带阻特性。 带通滤波器包括第一并联谐振器和第二并联谐振器（13）。 第一并联谐振器包括电感器（L3）和电容器（C3），串联连接在输入端口（10）和输出端口（11）之间，具有阻带特性。 第二并联谐振器包括电感器（L1）和电容器（C1），并且改善了图像频带中的阻带特性。