公开(公告)号：KR1020080110863A

公开(公告)日：2008-12-19

申请号：KR1020087026061

申请日：2007-03-23

Applicant: 사이머 엘엘씨

Inventor： 다스파라슈피. ,  호프만토마스 ,  레이강

IPC: H01S3/03 ,  H01S3/10

CPC classification number: H01S3/0057 ,  G03F7/7055 ,  H01S3/225

Abstract: A gas discharge laser system producing a laser output pulse and a method of operating such a system is disclosed which may comprise a pulse stretcher which may comprise a laser output pulse optical delay initiating optic directing a portion of the laser output pulse along a laser system output pulse optical axis and diverting a portion of the output pulse into an optical delay having an optical delay path and which may comprise a plurality of confocal resonators in series aligned to deliver an output of the optical delay to the laser output pulse optical delay initiating optic; an optical axis alignment mechanism comprising an radial mirror positioning mechanism operable to position the output of the optical delay to the align with the portion of the laser output pulse transmitted along the optical axis of the portion of the laser system output pulse transmitted by the laser output pulse optical delay initiating optic. ® KIPO & WIPO 2009

Abstract translation: 公开了一种产生激光输出脉冲的气体放电激光器系统和这种系统的操作方法，其可以包括脉冲展宽器，其可以包括激光输出脉冲光学延迟启动光学器件，以将激光输出脉冲的一部分沿激光系统输出 脉冲光轴并将输出脉冲的一部分转换成具有光学延迟路径的光学延迟，并且可以包括串联对准的多个共焦谐振器，以将光学延迟的输出传递到激光输出脉冲光学延迟启动光学元件; 光轴对准机构，其包括径向镜定位机构，其可操作以将光学延迟的输出定位成与激光输出脉冲的沿激光输出脉冲发射的激光系统输出脉冲部分的光轴传输的部分对准 脉冲光学延迟启动光学器件。 ®KIPO＆WIPO 2009

公开(公告)号：KR100681817B1

公开(公告)日：2007-02-12

申请号：KR1020017014296

申请日：2000-04-25

Applicant: 사이머 엘엘씨

Inventor： 호프만토마스 ,  호웨이제임즈케이. ,  섀넌로버트에이. ,  우자츠도프스키리차드씨. ,  왓슨톰에이. ,  웹카일알.

IPC: H01S3/03

Abstract: 레이징 가스 혼합물를 재순환시키기 위한 접선 팬(200)-컷오프 어셈블리는 단부에서 단부로 단계식으로 원주상 위치에 있어 변동하는 블레이드 부재(264)및/또는 테이퍼진 양극 어셈블리(120)를 가지고 있다. 블레이드 부재들(264)의 수는 양 단부 사이에서 일정하거나 또는 변동될 수 있다. 블레이드 부재들(264)의 원주상 위치는 양 단부 사이에서 단조적으로 또는 가역적으로 변화될 수 있다. 블레이드 부재(264)는 허브 부재(262)의 수 및 배치를 최적으로 선택함으로써 강화되어 팬의 고유 진동수를 제어한다. 접선 팬을 형성하는 방법은 주조 및 고형 블록으로부터의 기계가공을 포함한다. 모놀리식 구조부가 전형적으로 전자빔 용접에 의해 결합될 수 있다. 주조, 용접 및 기계가공 공정은 어떠한 부가적인 오염물도 도입시키지 않고 진행된다. 생산된 접선 팬은 기계적 강성, 정밀한 공차 및 낮은 오염물 농도를 가진다. 블레이드 부재(264)는 날개형 형상으로 형성될 수 있다.
방전 레이저 장치, 접선 팬-컷오프 어셈블리, 접선 팬, 블레이드 부재, 허브 부재, 컷오프 부재

公开(公告)号：KR100561957B1

公开(公告)日：2006-03-21

申请号：KR1020007003849

申请日：1998-09-25

Applicant: 사이머 엘엘씨

Inventor： 호프만토마스 ,  이시하라도시히코 ,  다스팔라시피. ,  에르소브알렉산더아이.

IPC: H01S3/225

CPC classification number: G03F7/70025 ,  G03F7/70041 ,  G03F7/70558 ,  G03F7/70575 ,  H01S3/02 ,  H01S3/03 ,  H01S3/036 ,  H01S3/08009 ,  H01S3/0971 ,  H01S3/225 ,  H01S3/2251 ,  H01S3/2256

Abstract: 본 발명은 향상된 에너지량 제어 및 재생력을 가지며, 약 500 내지 2000Hz의 범위에 있는 속도로 펄스를 만들 수 있는 초협대역 펄스 엑시머 레이저를 제공한다. 산소 및 무거운 노블 가스(KrF 레이저를 위한 크세논 또는 라돈, 또는 ArF 레이저를 위한 크립톤, 크세논, 또는 라돈)로 이루어진 미소량의 안정화된 첨가제가 가스 혼합물에 첨가된다. 수행된 테스트는 약 30ppm의 크세논을 KrF 레이저에 첨가함으로써 에너지 안정도에서 본질적인 향상을 보여준다. 테스트는 약 6-10ppm의 Xe 또는 40ppm의 Kr을 첨가함으로써 ArF 레이저의 향상된 성능을 보여준다. 바람직한 실시예에서, 초협대역폭은 플루오르 부분압력을 0.10%로 줄이고, 출력커플러의 반사율을 25%보다 크게 증가시킴으로써 KrF 레이저상에서 이루어진다. 바람직한 실시예에서, 종래기술의 라인 협소화 모듈에서 사용된 종래기술의 용융된 실리카 빔 확산 프리즘은 플루오르화 칼슘 프리즘으로 대체된다.
프리즘, 레이저, 크세논, 노블 가스, 플루오르, 초협대역, 파장, 에너지, 라인 협소화 모듈, 전원장치, 반사율

公开(公告)号：KR1020040111584A

公开(公告)日：2004-12-31

申请号：KR1020047017931

申请日：2003-05-05

Applicant: 사이머 엘엘씨

Inventor： 룰존에이. ,  호프만토마스 ,  모톤리차드지. ,  브라운다니엘제이.더블유. ,  프로이로프블라디미르비. ,  트린쵸우크페도르 ,  이시하라도시히코 ,  어쇼프알렉사더아이. ,  위택크리스챤제이.

IPC: H01S3/03 ,  H01L21/027

CPC classification number: H01S3/225 ,  G03F7/70025 ,  H01S3/036 ,  H01S3/041 ,  H01S3/08009 ,  H01S3/09702 ,  H01S3/2258 ,  H01S3/2333 ,  H01S3/2308

Abstract: 모듈러 고반복율 자외선 가스 방전 레이저를 위한 자동 레이저 가스제어가 개시되었다. 이 레이저 가스는 레이저 시스템의 동작 수명을 통해 F
2 소비율을 모니터링하기 위한 기술, 모니터 및 프로세서를 포함한다. 이들 소비율은 소망하는 범위내에 레이저 반사 품질을 유지하기 위해 필요한 F
2 주입을 결정하기 위해 알고리즘으로 프로그램된 프로세서에 의해 사용된다. 바람직한 실시예는 2-챔버 MOPA 레이저 시스템을 위한 F
2 제어를 포함한다.

公开(公告)号：KR100421275B1

公开(公告)日：2004-03-09

申请号：KR1020017002622

申请日：1999-08-04

Applicant: 사이머 엘엘씨

Inventor： 호프만토마스 ,  호웨이제임즈케이 ,  샤논로버트에이. ,  우자즈도우스키리차드씨. ,  왓슨톰에이. ,  웨브알.카일

IPC: H01S3/22

CPC classification number: H01S3/036 ,  G03F7/708 ,  H01S3/225

Abstract: An electric discharge laser apparatus including a tangential fan comprising a laser chamber comprising a laser gas, at least two longitudinal electrodes configured to produce electric discharges defining a discharge region in said gas, a tangential fan for circulating said laser gas said fan defining a rotation axis and a circumference substantially concentric with said rotation axis and fan structure comprising a plurality of blade members disposed proximate to said circumference, a plurality of hub members supporting said blade members and defining fan blade segments, characterized by said blade members and said hub members being machined as a monolithic unit from a single blank of a selected material.

Abstract translation: 一种包括切向风扇的放电激光装置，该切向风扇包括包含激光气体的激光腔室，至少两个纵向电极，被配置为产生在所述气体中限定出放电区域的放电，用于使所述激光气体循环的切向风扇，所述风扇限定旋转轴线 以及与所述旋转轴基本上同心的圆周，并且所述风扇结构包括设置在所述圆周附近的多个叶片构件，支撑所述叶片构件并限定风扇叶片段的多个毂构件，其特征在于，所述叶片构件和所述毂构件被加工 作为选定材料的单个空白单块单元。

公开(公告)号：KR1020020012633A

公开(公告)日：2002-02-16

申请号：KR1020027000721

申请日：2000-06-29

Applicant: 사이머 엘엘씨

Inventor： 베소셀레허브에이. ,  이시하라도시히코 ,  호프만토마스

IPC: H01S3/22

Abstract: 본 발명은 향상된 에너지량 제어 및 재생력을 가지며, 약 500 내지 2000Hz의 범위에 있는 펄스율로 펄스를 만들 수 있는 초협대역 펄스 엑시머 레이저를 제공한다. 산소 및 무거운 불활성 가스(KrF 레이저를 위한 크세논 또는 라돈, 또는 ArF 레이저를 위한 크립톤, 크세논, 또는 라돈)로 이루어진 미소량의 안정화된 첨가제가 가스 혼합물에 첨가된다. 수행된 테스트는 약 30ppm의 크세논을 KrF 레이저에 첨가함으로써 에너지 안정도에서 본질적인 향상을 보여준다. 테스트는 약 6-10ppm의 Xe 또는 40ppm의 Kr을 첨가함으로써 ArF 레이저의 향상된 성능을 보여준다. 바람직한 실시예에서, 초협대역폭은 플루오르 부분압력을 0.10%로 줄이고, 출력커플러의 반사율을 25%보다 크게 증가시킴으로써 KrF 레이저상에서 이루어진다. 바람직한 실시예에서, 종래기술의 라인 협소화 모듈에서 사용된 종래기술의 용융된 실리카 빔 확산 프리즘은 플루오르화 칼슘 프리즘으로 대체된다(부재 번호가 없는 도면-명세서 참조).