公开(公告)号：KR100634451B1

公开(公告)日：2006-10-16

申请号：KR1020050002280

申请日：2005-01-10

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 배병재 ,  임지은 ,  정연규

IPC: H01L21/205

CPC classification number: C23C16/45589 ,  C23C16/45563 ,  C23C16/45565 ,  C23C16/45591 ,  C30B35/00 ,  Y10T117/10

Abstract: 본 발명은 증착 장치에 관한 것으로, 증착 장치는 가스 공급부와 지지대가 설치된 챔버를 가진다. 가스 공급부는 공정가스가 도입되는 공간을 제공하고, 공정가스를 웨이퍼 상으로 분사하는 분사부재 및 상술한 공간 내에 설치되어 공간 내에서 공정가스를 확산시키는 확산부재를 가진다. 분사부재는 증착률 향상 등을 위해 웨이퍼와의 거리가 가깝게 되도록 배치된다. 또한, 상술한 공간 내에는 공정가스가 확산되는 영역을 제한하는 차단부재가 제공되어, 다양한 크기의 웨이퍼에 대해 높은 증착율로 증착공정을 수행할 수 있다.
증착, 확산부재, 차단부재, 분사부재

Abstract translation: 本发明涉及一种沉积设备，其中该沉积设备具有设置有气体供应部分和支撑件的腔室。 气体供应部分具有用于将处理气体喷射到晶片上的喷射构件，以及安装在上述空间中用于将处理气体扩散到该空间中的扩散构件。 喷射构件被设置为与晶片的距离接近以提高沉积速率。 此外，上述空间设置有用于限制处理气体扩散区域的阻挡构件，使得可以以高沉积速率对各种尺寸的晶片执行沉积处理。

公开(公告)号：KR1020150102365A

公开(公告)日：2015-09-07

申请号：KR1020140024145

申请日：2014-02-28

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 장휘찬 ,  김태수 ,  정현수 ,  최상화 ,  윤상식 ,  김신 ,  김진희 ,  정연규

IPC: A47L9/28 ,  A47L9/04 ,  A47L11/24

CPC classification number: A47L9/2826 ,  A47L9/009 ,  A47L9/0477 ,  A47L9/14 ,  A47L9/2868 ,  A47L2201/04

Abstract: 본 발명은 로봇청소기에 관한 것이다.
본 발명의 일 측면은 전방에 형성되는 제1하우징과 제1하우징의 후방에 형성되는 제2하우징을 포함하는 본체, 제1하우징에 설치되며 바닥의 먼지를 쓸어 담도록 구성되는 브러시 유닛, 제2하우징에 설치되며 브러시 유닛으로 유입된 먼지를 저장하도록 구성되는 집진 유닛, 본체를 구동하며 제2하우징에 집진 유닛의 횡방향에 위치하도록 결합되는 구동 유닛, 제2하우징에 설치되며 집진 유닛의 후방에 위치하도록 결합되는 전원 유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 로봇청소기를 제공한다.
본 발명의 실시예에 따르면 집진통의 용량과 배터리의 용량을 늘림과 동시에 로봇청소기의 소형화가 가능하다.

Abstract translation: 机器人清洁器技术领域本发明涉及一种机器人清洁器。 根据本发明的一个方面，本发明包括：主体，其具有形成在前侧的第一壳体和形成在第一壳体的后侧上的第二壳体; 安装在所述第一壳体中并且被构造成扫掠地板的刷子单元; 灰尘收集单元，安装在所述第二壳体中，并且构造成存储引入到所述刷单元中的灰尘; 驱动单元，其操作所述主体，所述驱动单元联接成沿着所述集尘单元的水平方向定位到所述第二壳体; 以及安装在第二壳体中的动力单元，其联接以定位在集尘单元的后侧。 根据本发明的实施例，本发明能够提高集尘容器的容量和电池的容量，并且能够最小化。

公开(公告)号：KR1020140123174A

公开(公告)日：2014-10-22

申请号：KR1020130039847

申请日：2013-04-11

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 김병찬 ,  윤상식 ,  김경수 ,  김동원 ,  소제윤 ,  정연규

IPC: A47L9/28 ,  B25J13/08 ,  B25J9/16 ,  G05D1/02

CPC classification number: A47L9/28 ,  A47L9/009 ,  A47L9/2805 ,  A47L2201/04 ,  G01S7/4813 ,  G01S7/4815 ,  G01S17/48 ,  G01S17/936 ,  G05D1/0225 ,  G05D1/0238 ,  G05D1/0242 ,  G05D1/0246 ,  G05D2201/0215

Abstract: 본 발명은 발광부에서 발광된 광이 센서 창의 내측면에 의해 반사되어 로봇 청소기의 전방의 장애물이 오감지되는 것을 방지함으로써 장애물을 정확하게 감지할 수 있는 센서 모듈 및 로봇 청소기에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시예에 따른 로봇 청소기는, 바닥면의 이물질을 제거하는 청소유닛 및 모터로부터 동력을 전달받아 회전하는 휠 유닛을 포함하는 본체, 상기 본체의 상부를 커버하는 커버, 상기 본체에 장착되어 장애물을 감지하는 장애물 감지센서를 포함하는 센서모듈 및 상기 센서모듈의 일측에 구비되는 센서창을 포함하고, 상기 센서모듈은, 상기 센서창을 통과해 외부로 광을 조사하는 발광소자, 상기 발광소자로부터 발광된 광이 장애물에 의해 반사되어 입사되는 수광 반사경 및 상기 발광소자와 상기 수광 반사경 사이에 게재되어 상기 발광소자로부터 발광된 광이 상기 센서창의 내측 표면에서 반사되어 상기 수광 반사경로 입사되는 것을 차단하는 차광부를 포함한다.

Abstract translation: 传感器模块和机器人清洁器技术领域本发明涉及一种传感器模块和机器人清洁器，其中，当从发光部分发射的光被反射时，传感器模块能够通过防止障碍物被错误检测来精确地感测机器人清洁器前面的障碍物 通过传感器窗口的内表面。 根据本发明的实施例的机器人清洁器包括：主体，具有清洁单元，其从地板除去异物，并且当从电动机接收电力时具有轮单元旋转; 覆盖主体的上侧的盖子; 传感器模块安装在主体上，并具有用于感测障碍物的障碍物传感器; 并且所述传感器窗口安装在所述传感器模块的一侧，其中所述传感器模块包括：发光元件，其通过所述传感器窗口向外部发光; 光接收反射器，在从发光元件发射之后接收由障碍物反射的光; 以及插入在发光元件和受光反射器之间的遮光部，并且当光被传感器窗的内表面反射时，防止从发光元件发射的光被发射到光接收反射器。

公开(公告)号：KR1020130113726A

公开(公告)日：2013-10-16

申请号：KR1020120036139

申请日：2012-04-06

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 윤상식 ,  진희원 ,  김병찬 ,  정연규 ,  최상화

IPC: A47L9/28 ,  A47L9/04 ,  B25J9/16 ,  B25J13/08

CPC classification number: A47L7/02 ,  A47L9/04 ,  A47L9/0494 ,  A47L11/24 ,  A47L11/4011 ,  A47L11/4038 ,  A47L11/4072 ,  A47L2201/04 ,  A47L2201/06

Abstract: PURPOSE: A robot cleaner and a control method thereof are provided to determine abnormal operation of an auxiliary cleaning unit based on the results detected by a second detection part and to control the operation of the auxiliary cleaning unit according to the determined results. CONSTITUTION: A robot cleaner comprises a main body, a first detection part (60), an auxiliary cleaning unit (100), a second detection part (300), and a control part (200). The main body drives on a floor. The first detection part detects obstacles approaching to the main body. The auxiliary cleaning unit is mounted on the main body to be drawn into and out from the main body. The second detection part detects the operation of the auxiliary cleaning unit. The control part determines abnormal operation of the auxiliary cleaning unit based on the results detected by the second detection part and controls the operation of the auxiliary cleaning unit according to the determined results. [Reference numerals] (100) Auxiliary cleaning part; (200) Control part; (30) Main brush unit; (300) Second detection part; (40) Driving unit; (60) First detection part; (80) Input unit

Abstract translation: 目的：提供一种机器人清洁器及其控制方法，用于基于由第二检测部检测出的结果来确定辅助清洁单元的异常操作，并根据确定的结果控制辅助清洁单元的操作。 构成：机器人清洁器包括主体，第一检测部分（60），辅助清洁单元（100），第二检测部分（300）和控制部分（200）。 主体驱动在地板上。 第一检测部分检测靠近主体的障碍物。 辅助清洁单元安装在主体上以被吸入和移出主体。 第二检测部检测辅助清洁单元的操作。 控制部基于由第二检测部检测出的结果来确定辅助清洁单元的异常操作，并且根据确定的结果控制辅助清洁单元的操作。 （附图标记）（100）辅助清洁部件; （200）控制部分; （30）主刷单元; （300）第二检测部分; （40）驾驶单位; （60）第一检测部; （80）输入单元

公开(公告)号：KR100660550B1

公开(公告)日：2006-12-22

申请号：KR1020050086433

申请日：2005-09-15

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 임동현 ,  배병재 ,  임지은 ,  유동철 ,  정연규

IPC: H01L27/115 ,  H01L21/8247 ,  H01L27/04 ,  H01L21/31