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公开(公告)号：KR1020160093900A
公开(公告)日：2016-08-09
申请号：KR1020150014798
申请日：2015-01-30
Applicant: 한국과학기술연구원
CPC classification number: G01N27/30 , B82B1/001 , B82B3/0019
Abstract: 센싱전극은, 기판및 필라멘트(filament)가위치하는반응챔버에, 수소및 탄화소수를포함하는원료기체를주입하는단계; 상기기판을 850도내지 930도의온도로가열하는단계; 상기필라멘트를가열하여상기원료기체를활성화하는단계; 및활성화된상기원료기체로부터, 가열된상기기판상에전극층을형성하는단계에의해제조될수 있다. 상기전극층은, 그래핀(graphene) 층및 상기그래핀층에삽입되며상호연결된(inter-connected) 다이아몬드나노플레이크(diamond nanoflake)들로이루어진다. 다이아몬드나노플레이크들의상호연결에의해전도성이향상되어, 센싱전극의전기화학적성능이향상될수 있다.
Abstract translation: 可以制造感测电极，其包括：将包括氢和烃的源气体注入到基板和灯丝所在的反应室中的步骤; 在850-930摄氏度的温度下加热衬底的步骤; 通过加热灯丝来激活源气体的步骤; 以及在被加热的基板上形成电极层的步骤。 电极层由石墨烯层和插入到石墨烯层中的相互连接的金刚石纳米片形成。 通过金刚石纳米片之间的互连改善了电导率，并且能够提高感测电极的电化学性能。
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公开(公告)号：KR101575854B1
公开(公告)日：2015-12-10
申请号：KR1020140085341
申请日：2014-07-08
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: H01L31/054 , H01L21/027 , H01L31/18
CPC classification number: Y02E10/50 , H01L31/054 , H01L21/027 , H01L31/18
Abstract: 태양전지용웨이퍼구조체는초박형웨이퍼; 및광 흡수를증가시키기위해상기초박형웨이퍼의표면에주기적으로배치된복수의나노구조체를포함하되, 상기나노구조체는디스크의형상을가진다. 또한, 태양전지용웨이퍼구조체의제조방법은초박형웨이퍼의표면에에치(etch) 마스크또는금속촉매박막을형성하는단계; 상기마스크또는금속촉매박막이형성된상기초박형웨이퍼를에칭하는단계; 및상기에치마스크또는금속촉매박막을제거함으로써, 상기초박형웨이퍼의표면에주기적으로배치된복수의나노구조체를형성하는단계;를포함하되, 나노리소그라피(nanolithography)를이용하며, 상기나노구조체는디스크의형상을가진다.
Abstract translation: 用于太阳能电池的晶片结构包括超薄型晶片和周期性地布置在超薄型晶片的表面上以增加光吸收的多个纳米结构。 纳米结构呈盘状。 此外，制造太阳能电池的晶片结构的方法包括：在超薄型晶片的表面上形成蚀刻掩模或金属催化剂薄膜的步骤; 蚀刻其上形成有掩模或金属催化剂薄膜的超薄型晶片的步骤; 以及通过去除蚀刻掩模或金属催化剂薄膜来形成周期性地设置在超薄型晶片的表面上的多个纳米结构的步骤。 使用纳米光刻制造晶片结构; 并且纳米结构是盘的形状。
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公开(公告)号：KR101427710B1
公开(公告)日：2014-08-13
申请号：KR1020120137651
申请日：2012-11-30
Applicant: 한국과학기술연구원
Abstract: 다이아몬드 파우더(powder)의 제조 방법은, 기판상에 다이아몬드를 포함하는 시드(seed) 입자를 형성하는 단계; 기판 및 필라멘트가 위치하는 반응 챔버에 원료 기체를 주입하는 단계; 기판을 가열하는 단계; 필라멘트를 가열하여 원료 기체를 활성화시키는 단계; 가열된 필라멘트를 이용하여 시드 입자를 기판으로부터 분리하는 단계; 및 활성화된 원료 기체를 이용하여, 기판으로부터 분리된 시드 입자상에 다이아몬드를 성장시키는 단계를 포함할 수 있다. 다이아몬드 파우더의 제조 방법에 의하여, 기체로부터의 입자 합성(gas-to-particle synthesis) 빙식으로 다이아몬드 파우더를 제조할 수 있다.
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24.发明授权나노 결정질 다이아몬드를 이용한 감쇠전반사형 도파로 모드 공진 센서 및 나노 결정질 다이아몬드로 이루어진 도파로의 제조 방법 有权使用纳米金刚石的衰减总反射型波形谐振传感器和制造纳米晶金刚石波导的方法
公开(公告)号：KR101391179B1
公开(公告)日：2014-05-08
申请号：KR1020120110684
申请日：2012-10-05
Applicant: 한국과학기술연구원
Abstract: 감쇠전반사(attenuated total reflection; ATR)형도파로모드공진센서는, 시료와접촉하도록구성되며나노결정질다이아몬드(nanocrystalline diamond; NCD)로이루어지는도파로층을포함하여구성될수 있다. ATR형도파로모드공진센서에입사된입사광에의해도파로층에정상파가생성되는입사광의입사각도를측정할수 있다. NCD로이루어진도파로는, 탄화수소를포함하는원료기체를사용한열 필라멘트화학기상증착(Hot Filament Chemical Vapor Deposition) 공정에의하여형성될수 있다. 이때, 기판의온도, 필라멘트와기판사이의거리및 원료기체에서탄화수소의비율중 하나이상을조절함으로써 NCD의결정립크기를제어할수 있다.
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公开(公告)号：KR101320620B1
公开(公告)日：2013-10-23
申请号：KR1020120037503
申请日：2012-04-10
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: C23C16/44 , C23C16/448 , C30B29/04
CPC classification number: C23C16/27 , C23C16/271 , C23C16/463
Abstract: 본 발명은 화학기상증착 공정을 통해 다이아몬드를 합성함에 있어서 기판 온도의 상승을 억제함과 동시에 다이아몬드 합성 기체 또는 이온의 활성화 정도를 향상시킴으로써 다이아몬드의 성장속도를 증가시킬 수 있는 다이아몬드 합성을 위한 화학기상증착 장치 및 이를 이용한 다이아몬드 합성 방법에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 다이아몬드 합성을 위한 화학기상증착 장치는 화학기상증착 공정이 진행되는 챔버와, 상기 챔버 내에 구비되며, 다이아몬드의 성장 공간을 제공하는 기판 및 상기 기판 상부의 이격된 위치에 구비되는 열차단 구조물을 포함하여 이루어지며, 상기 열차단 구조물은 전구체 가스가 이동될 수 있는 개구부를 구비하는 것을 특징으로 한다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020130114994A
公开(公告)日：2013-10-21
申请号：KR1020120037503
申请日：2012-04-10
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: C23C16/44 , C23C16/448 , C30B29/04
CPC classification number: C23C16/27 , C23C16/271 , C23C16/463
Abstract: PURPOSE: A chemical vapor deposition device for a diamond composition and a diamond composition method using the same are provided to suppress an increase on substrate temperature and to improve the extent of activation of a diamond composition gas or ion at the same time. CONSTITUTION: A chemical vapor deposition device for a diamond composition includes a chamber in which a chemical vapor deposition process is progressed; a substrate formed inside the chamber and provides a space for the growth of a diamond; and a heat insulation structure formed at a position spaced from the top of the substrate. The heat insulation structure includes an opening in which a precursor gas can be moved. A filament of a high melting point is arranged on an upper space of the chamber. The heat insulation structure is arranged between the filament and the substrate. [Reference numerals] (AA) High melting point filament; (BB) Substrate; (CC) Water-cooling block
Abstract translation: 目的：提供一种用于金刚石组合物的化学气相沉积装置和使用其的金刚石组合物方法，以抑制衬底温度的升高并且同时改善金刚石组合物气体或离子的活化程度。 构成：用于金刚石组合物的化学气相沉积装置包括其中进行化学气相沉积工艺的室; 形成在所述室内的衬底，并提供用于生长金刚石的空间; 以及形成在与基板的顶部间隔开的位置处的隔热结构。 隔热结构包括可以移动前体气体的开口。 高熔点的细丝布置在腔室的上部空间上。 隔热结构设置在灯丝与基板之间。 （附图标记）（AA）高熔点丝; （BB）基材; （CC）水冷块
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公开(公告)号：KR101047983B1
公开(公告)日：2011-07-13
申请号：KR1020080075318
申请日：2008-07-31
Applicant: 한국과학기술연구원
CPC classification number: C23C16/26 , B82Y30/00 , C01B32/20 , C01P2002/78 , Y10T428/13 , Y10T428/261 , Y10T428/298 , Y10T428/2982
Abstract: 본 발명은 준 안정 상태의 새로운 적층 구조를 갖는 AA' 적층 흑연 및 그 제조 방법에 관한 것으로서, 탄소 원자가 육각형으로 연결되어 형성된 육각 고리가 연속되어 한 층을 이루는 그라핀이 둘 이상 적층되되, 적층 방향에서 볼 때, 제1 층 (A 층)의 육각 고리 안에 제2 층 (A' 층)의 육각 고리를 형성하는 두 개의 탄소 원자가 위치하고, 제2 층의 육각 고리 안에 제1 층의 육각 고리를 형성하는 두 개의 탄소 원자가 위치하는 AA' 적층 구조를 갖는 것을 특징으로 하는 AA' 적층 흑연을 제공한다. 이러한 AA' 적층 흑연은 층간 거리가 약 3.44 Å로서 기존에 순수 흑연의 유일한 결정으로 알려진 AB 적층 흑연의 층간 거리 (3.35 Å)보다 크므로, 고유의 물리 화학적 특성을 갖는다.
그라핀, 흑연, AA' 적층, AB 적층Abstract translation: Doedoe发明层压涉及一种“叠置石墨，并与亚稳的新层叠结构制造AA的方法，碳原子数是相继形成六边形连接，六边形环或多个石墨烯两者形成单个层，所述层叠方向 如从，形成第二层中的第一层（A层）的六方晶环式（A“层）的六角环中的位于两个碳原子看，形成第一层的六边形环在所述第二层的六边形环 具有两个碳原子的AA'堆叠结构位于与AA'堆叠结构相同的平面上。 这些大的A-A“层叠石墨层间距离为约3.44比被称为纯石墨的在现有的，具有下列物理化学其自己的属性的唯一确定的石墨层叠体AB的层间距（3.35 A）。
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公开(公告)号：KR1020100086527A
公开(公告)日：2010-08-02
申请号：KR1020090005767
申请日：2009-01-23
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: C04B35/52 , C04B35/565 , C04B35/584
CPC classification number: C04B41/85 , C04B35/573 , C04B35/591 , C04B41/0054 , C04B41/5002 , C04B2235/3418 , C04B2235/428 , C04B2235/945 , C04B2235/9646 , C04B2235/9669
Abstract: PURPOSE: A diamond film coated ceramic body and a manufacturing method thereof are provided to remove one of two phases from the surface of a processed ceramic body for improving the roughness of the surface of the ceramic body. CONSTITUTION: A manufacturing method of a diamond film coated ceramic body comprises the following steps: obtaining a ceramic body by molding and sintering a mixture composition containing a ceramic particle phase and a matrix phase; removing the matrix phase from the surface of the ceramic body to form a surface layer with micro irregularities; and coating the diamond film on the surface of the ceramic body. The removing step is either a chemical etching or a mechanical etching.
Abstract translation: 目的：提供一种金刚石膜涂覆陶瓷体及其制造方法，以从加工陶瓷体的表面除去两相之一，以改善陶瓷体表面的粗糙度。 构成：金刚石膜涂覆陶瓷体的制造方法，包括以下步骤：通过模制和烧结含有陶瓷颗粒相和基质相的混合物组合物来获得陶瓷体; 从陶瓷体的表面去除基体相以形成具有微小凹凸的表面层; 并将金刚石膜涂覆在陶瓷体的表面上。 去除步骤是化学蚀刻或机械蚀刻。
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公开(公告)号：KR1020100023638A
公开(公告)日：2010-03-04
申请号：KR1020080082512
申请日：2008-08-22
Applicant: 한국과학기술연구원
CPC classification number: C09C1/44 , B82Y30/00 , B82Y40/00 , C01B32/184 , C01B32/19 , C01B2204/04 , C01B2204/06 , C01P2002/77
Abstract: PURPOSE: A method for manufacturing a graphene ribbon is provided to obtain massive graphene ribbon which is a high functional carbon material using a simple process. CONSTITUTION: A method for manufacturing a graphene ribbon includes graphene ribbon laminate(2) which cuts a graphite material(1)which spirally grows along a longitudinal axis and decomposes the graphite material into a short ribbon-shaped graphene. The graphene ribbon laminate has a turbostratic laminate or a AA' laminating structure. In a AA' laminated structure, neighboring two carbon atoms which form a hexagonal ring of a second graphene layer(A' layer) are located on a virtual line of a hexagonal ring of a first graphene layer(A layer).
Abstract translation: 目的：提供一种制造石墨烯带的方法，以使用简单的工艺获得大量石墨烯带，其是高功能碳材料。 构成：用于制造石墨烯带的方法包括石墨烯层压板（2），其切割沿着纵向轴线螺旋生长的石墨材料（1），并将石墨材料分解成短的带状石墨烯。 石墨烯带层压板具有涡旋层压板或AA'层压结构。 在AA'层压结构中，形成第二石墨烯层（A'层）的六边形环的相邻两个碳原子位于第一石墨烯层（A层）的六边形环的虚拟线上。
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公开(公告)号：KR100899355B1
公开(公告)日：2009-05-27
申请号：KR1020070116932
申请日：2007-11-15
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: H01L21/3065
CPC classification number: H01J37/3497 , H01J37/3435
Abstract: 본 발명은 플라스마 증착 장치 및 방법에 관한 것으로, 직류 전원(방전) 플라스마 증착 공정에 의해 다이아몬드를 비롯한 물질을 증착함에 있어 고융점 금속재질의 음극표면에 균열을 생기는 현상을 방지하며, 실리콘 등의 반도체 기판을 사용할 경우 반도체 기판의 손상을 방지하여 균일하고 손상이 없는 상태로 박막을 증착할 수 있는 이점이 있다.
플라스마 증착, 박막 증착, 힛업(heatup)
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