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公开(公告)号：KR1020020075475A
公开(公告)日：2002-10-05
申请号：KR1020010015394
申请日：2001-03-24
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: G01P5/08
Abstract: PURPOSE: A gas flow rate distribution anemometer is provided, which obtains a flow rate distribution at a scanned plane as scanning vertically to a direction of the flow rate by extending a sensor arrangement and visualizes it. CONSTITUTION: According to an apparatus for measuring a flow rate distribution of a gas, metal lines(11) are arranged serially, and a current line(12a,12b) is connected to both ends of the above metal line and flows a current to the metal lines. And lead lines(13) are connected to the above metal lines with a constant gap. The anemometer measures a spatial flow rate distribution by detecting a voltage difference between adjacent lead lines as flowing a constant current to the metal line through the above current line.
Abstract translation: 目的：提供一种气体流量分布风速计，其通过延伸传感器装置并使其可视化而获得扫描平面上的流量分布，垂直扫描流量方向。 构成：根据用于测量气体的流量分布的装置，金属线（11）被串联布置，并且电流线（12a，12b）连接到上述金属线的两端，并将电流流向 金属线。 并且导线（13）以一定间隙连接到上述金属线。 风速计通过检测相邻引线之间的电压差来测量空间流量分布，使得通过上述电流线将恒定电流流向金属线。
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公开(公告)号：KR101850895B1
公开(公告)日：2018-04-20
申请号：KR1020170000559
申请日：2017-01-03
Applicant: 한국표준과학연구원
CPC classification number: H01J37/32082 , H01J37/32174 , H01J37/3244 , H01J37/32458 , H01J37/32715 , H01J37/32834 , H05H1/46
Abstract: 본발명의일 실시예에따른플라즈마발생장치는플라즈마발생부를포함한다. 상기플라즈마발생부는, 구형또는타원체형의케비티를구비한다. 상기플라즈마발생부는상기케비티에 RF 전력을공급받아전자가되튐공진하여플라즈마를생성한다. 상기케비티는외부공간과서로연통되도록플라즈마추출홀을포함한다.
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公开(公告)号：KR101370326B1
公开(公告)日：2014-03-05
申请号：KR1020120086404
申请日：2012-08-07
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본 발명은 증발 증착 장치를 제공한다. 이 장치는 기판을 포함하는 진공 챔버, 진공 챔버의 외부에 배치되고 증발 물질을 수납하는 도가니, 도가니를 유도 가열하는 제1 유도 코일, 제1 유도 코일에 AC 전력을 인가하는 제1 AC 전원, 도가니에 형성된 제1 개구부와 진공 챔버에 형성된 제2 개구부를 연결하는 도전성 가이드 파이프, 가이드 파이프를 감싸고 가이드 파이프를 유도 가열하는 제2 유도 코일, 및 제2 유도 코일에 AC 전력을 인가하는 제2 AC 전원을 포함한다.
Abstract translation: 本发明提供了一种蒸发沉积设备。 根据权利要求1的交流电源的用于施加第一感应线圈的设备，交流电源用于加热所述第一感应线圈被设置在真空室的外部，将含有基体和诱导的坩埚，用于容纳蒸发材料的坩埚的真空室中，在坩埚 所述第一开口和所述第二感应线圈与导电的导引管连接形成在真空腔室中的第二开口，围绕该引导管感应加热引导管，并且所述第二的第二交流电源施加交流电源至在所形成的感应线圈供给 它包括。
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公开(公告)号：KR101355817B1
公开(公告)日：2014-02-05
申请号：KR1020120074726
申请日：2012-07-09
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본 발명은 전자기 부양 금속 박막 증착 장치 및 전자기 부양 금속 박막 증착 방법을 제공한다. 이 장치는 플라즈마 생기지 않도록 배기되는 챔버, 챔버에 형성된 관통홀 주위에 장착된 유전체 튜브, 유전체 튜브를 감싸는 전자기 부양 코일, 전자기 부양 코일에 RF 전력을 제공하는 RF 전원, 유전체 튜브가 배치되는 평면보다 낮은 위치에서 챔버의 내부에 배치된 기판 홀더, 및 기판 홀더 상에 배치되는 기판을 포함한다. 전자기 부양 코일은 서로 연속적으로 연결된 상부 전자기 부양 코일과 하부 전자기 부양 코일을 포함하고, 상부 전자기 부양 코일에 흐르는 전류의 방향과 하부 전자기 부양 코일에 흐르는 전류의 방향은 서로 반대이다. 전자기 부양 코일은 유전체 튜브 내부에 배치된 금속 시료를 전자기력을 이용하여 부양하면서 가열하고, 금속 시료는 증발하여 중력 방향으로 이동하여 기판에 금속 박막을 형성한다.
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公开(公告)号：KR101353348B1
公开(公告)日：2014-01-24
申请号：KR1020120041339
申请日：2012-04-20
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: B82B3/00 , B01J19/08 , C23C16/515
Abstract: 본 발명은 나노 입자 합성 장치 및 나노 입자 합성 방법을 제공한다. 이 나노 입자 합성 장치는 유전체 튜브, 유전체 튜브의 주위에 감긴 전자기 부양 코일, 전자기 부양 코일에 의하여 부양되고 가열되어 증발하고 전자기 부양 코일의 중심 영역에 배치된 도전성 원료 물질, 전자기 부양 코일에 전력을 공급하는 부양 전원, 유전체 튜브의 일단에 배치되고 유전체 튜브 내부에 제1 가스를 공급하는 제1 가스 공급부, 유전체 튜브의 타단에 연결된 공정 챔버, 공정 챔버의 내부에 배치된 RF 전극, 및 RF 전극에 RF 전력을 공급하여 플라즈마를 형성하는 공정 RF 전원을 포함한다. 부양 코일에 의하여 가열된 도전성 원료 물질이 증발하여 생성된 제1 나노입자는 공정 챔버로 이동하여 플라즈마에 의하여 처리된다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR101352496B1
公开(公告)日：2014-01-24
申请号：KR1020120043580
申请日：2012-04-26
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: H05H1/24 , H05H1/46 , H01L21/205
Abstract: 본 발명은 플라즈마 발생 장치 및 플라즈마 발생 방법을 제공한다. 이 플라즈마 발생 장치는 전기적으로 접지된 통 형상의 방전 챔버, 방전 챔버 내에 배치된 적어도 하나의 전자방출 수단, 및 방전 챔버의 중심 영역에 배치되고 양의 제1 전압이 인가된 중심 전극을 포함한다.
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27.发明授权수축성 다공성 물질을 밀봉한 유연한 밀봉재의 내부압력 및 진공도 측정 장치 그리고 그 장치를 이용한 내부압력 및 진공도 측정방법 有权方法和用于测量内部压力的装置，密封组件的真空包括多孔或弹性材料
公开(公告)号：KR101256051B1
公开(公告)日：2013-04-18
申请号：KR1020110096964
申请日：2011-09-26
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 수축성 다공성 물질을 밀봉한 유연한 밀봉재 내부의 압력 및 진공도 측정 장치 그리고 그 장치를 이용한 압력 및 진공도 측정방법에 대한 것이다. 보다 상세하게는, 수축성 다공성 물질을 밀봉한 유연한 밀봉재의 내부 압력 측정방법에 있어서, 밀폐된 용기 내부공간에 수축성 다공성물질과 상기 수축성 다공성물질을 수축된 상태로 유지시키는 유연한 재질의 포장재를 갖는 제1밀봉재 샘플을 투입하는 단계; 압력조절수단에 의해 상기 용기 내부 압력이 설정된 제1초기압력이 되도록 하는 단계; 절개 수단에 의해 상기 제1밀봉재 샘플을 절개하는 단계; 압력센서가 상기 용기 내부의 제1압력 변화량을 측정하는 단계; 상기 용기에서 상기 제1밀봉재 샘플을 제거하고, 상기 용기의 내부공간에 상기 제1밀봉재 샘플과 동일한 내체적와 내부압력을 갖는 제2밀봉재 샘플을 투입하는 단계; 압력조절수단에 의해 상기 용기 내부 압력이 설정된 제2초기압력이 되도록 하는 단계; 절개 수단에 의해 상기 제2밀봉재 샘플을 절개하는 단계; 압력센서가 상기 용기 내부의 제2압력 변화량을 측정하는 단계; 및 분석수단이 상기 제1압력 변화량 및 상기 제2압력변화량으로부터 상기 제1밀봉재 샘플과 상기 제2밀봉재 샘플의 내부압력 및 내체적을 분석하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 수축성 다공성 물질을 밀봉한 유연한 밀봉재의 내부 압력 측정방법 및 장치에 관한 것이다.
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公开(公告)号：KR101235796B1
公开(公告)日：2013-02-21
申请号：KR1020100093538
申请日：2010-09-28
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본 발명은 투시창 세정 장치, 투시창 세정 방법, 및 공정 모니터링 방법을 제공한다. 이 투시창 세정 장치는 투시창을 포함하는 진공 용기, 진공 용기의 내부 또는 외부에 배치되어 진공 용기의 내부에 플라즈마를 발생시키는 플라즈마 발생 수단, 투시창의 외부에 배치된 전극, 및 전극에 전력을 인가하는 전원을 포함한다. 플라즈마는 투시창을 충격하여 투시창의 내부 측면에 부착된 부산물을 제거한다.
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公开(公告)号：KR1020110064349A
公开(公告)日：2011-06-15
申请号：KR1020090120897
申请日：2009-12-08
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: PURPOSE: A thermal conductivity measuring device is provided to minimize volume by using thermoelectric elements. CONSTITUTION: A thermal conductivity measuring device comprises a lower temperature keeping unit, an upper temperature keeping unit, a heater, a lower heat flow measurement unit(250) and an upper heat flow measurement unit(270). The lower temperature keeping unit is arranged on the upper temperature keeping unit. The heater is arranged on the lower temperature keeping unit and generates heat flow. The lower heat flow measurement unit is arranged on the heater and measures the heat flow delivered to a work piece. The heater and lower heat flow measurement unit are composed of thermoelectric elements.
Abstract translation: 目的：提供热导率测量装置，通过使用热电元件使体积最小化。 构成：热导率测量装置包括较低温度保持单元，上保温单元，加热器，下热流测量单元（250）和上热流测量单元（270）。 较低温度保持单元布置在上部温度保持单元上。 加热器布置在较低温度保持单元上并产生热流。 下部热流测量单元布置在加热器上并测量传递到工件的热流。 加热器和下热量测量单元由热电元件组成。
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公开(公告)号：KR1020110048092A
公开(公告)日：2011-05-11
申请号：KR1020090104757
申请日：2009-11-02
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: PURPOSE: An out-gassing measuring device and an out-gassing measuring method are provided to measure the amount of out-gassing by measuring the pressure of both sides of an orifice. CONSTITUTION: An out-gassing measuring device comprises a transparent tube(120), an infrared heating unit(110), a main chamber(130), a secondary chamber(140), an orifice(150), a discharge unit(145) and a secondary vacuum system(142). The transparent tube is formed from a material transmitting infrared rays. The infrared heating unit heats samples(170) in the transparent tube using infrared rays. The main chamber is connected to one end of the transparent tube. The secondary chamber is connected to the main chamber. The orifice is arranged between the main and secondary chambers and controls flow-rate conductance. The discharge unit is connected to the secondary chamber to discharge air from the main and secondary chambers.
Abstract translation: 目的：提供排气测量装置和排气测量方法，通过测量孔口两侧的压力来测量排气量。 构成：排气测量装置包括透明管（120），红外加热单元（110），主室（130），次室（140），孔（150），排放单元（145） 和二次真空系统（142）。 透明管由透射红外线的材料形成。 红外加热单元使用红外线加热透明管中的样品（170）。 主室连接到透明管的一端。 次级室连接到主室。 孔口布置在主室和次室之间，并控制流速电导。 排放单元连接到次室以从主室和次室排出空气。
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